電子情報分野
研究室名
機能半導体デバイス研究室
研究室スタッフ
沼田　敏典 （教授） 　
研究室タイトル
未来の課題克服に貢献する新たな半導体デバイス技術の探求
研究室概略
AIやIoTの台頭により半導体はさらなる高性能・低消費電力化が求められます。未来の課題克服に貢献する技術提案を目標に、トランジスタに新材料・機能を融合するなど、新たな半導体デバイス技術の可能性を探求します。
主な研究テーマ
・半導体トランジスタ新規技術の研究
・高性能半導体デバイス新規材料の研究
個別研究テーマ

  • 強誘電体ゲート絶縁膜トランジスタおよび薄膜材料の研究

    沼田　敏典

    2023年度 - 現在

    　詳細

    従来のシリコンMOSトランジスタの高性能化のため、ゲート絶縁膜に強誘電体膜を用いたトランジスタの研究開発を行う。そのための薄膜材料の探索やトランジスタ試作評価を進める。

    成果：

    2023年度
    2024年1月に着任して研究室を開設。本テーマに関わる研究を進めるため、成膜原料ガス分解特性装置の仕様を策定した。