所属
大学院工学研究科 電子情報分野 機能半導体デバイス研究室 教授
学位
博士（工学）
（
2006年3月
大阪大学
）
ヌマタ トシノリ
沼田 敏典
Toshinori Numata
研究分野
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ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学
主な研究論文
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SPICE-based performance analysis of Trigate silicon nanowire CMOS circuits
C. Tanaka*, M. Saitoh*, K. Ota*, K. Uchida*, and T. Numata
IEEE Transactions on Electron Devices 60 ( 4 ) 1451 2013年4月1日
Threshold voltage control by substrate bias in 10-nm-diameter tri-gate nanowire MOSFET on ultrathin BOX
K. Ota*, M. Saitoh*, C. Tanaka*, and T. Numata
IEEE Electron Device Letters 34 ( 2 ) 187 2013年2月1日
Impact of mechanical stress on gate tunneling currents of germanium and silicon p-type metal-oxide-semiconductor field-effect transistors and metal gate work function
Y. S. Choi*, T. Numata, T. Nishida*, R. Harris*, and S. E. Thompson*
Journal of Applied Physics 103 064510 2008年3月24日
Performance Enhancement of Partially and Fully Depleted Strained-SOI MOSFETs
T. Numata, T. Irisawa*, T. Tezuka*, J. Koga*, N. Hirashita*, K. Usuda*, E. Toyoda*, Y. Miyamura*, A. Tanabe*, N. Sugiyama*, and S. Takagi*
IEEE Transactions on Electron Devices 53 ( 5 ) 1030 2006年5月1日
Device Design For Subthreshold Slope and Threshold Voltage Control in Sub-100-nm Fully Depleted SOI MOSFETs
T. Numata and S. Takagi*
IEEE Transactions on Electron Devices 51 ( 12 ) 2161 2004年12月1日
経歴
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豊田工業大学 大学院工学研究科 電子情報分野 機能半導体デバイス研究室 教授
2024年1月 - 現在
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横浜国立大学 非常勤講師
2023年4月 - 2023年12月
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東京都市大学 非常勤講師
2021年4月 - 2023年12月
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キオクシア(株) グループ長
2019年4月 - 2023年12月
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東芝メモリ(株) 参事
2017年4月 - 2019年3月
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東京都市大学 非常勤講師
2015年4月 - 2018年3月
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Interuniversity Microelectronics Centre (imec) On-siete Manager
2012年5月 - 2015年3月
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University of Florida Visiting Schalar
1997年7月 - 1998年12月
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(株)東芝 研究開発センター 研究員
1997年4月 - 2017年4月
学歴
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大阪大学 工学研究科 電子工学専攻
1995年4月 - 1997年3月
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大阪大学 工学部 電子工学科
1991年4月 - 1995年3月
所属学協会
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Institute of Electical and Electronics Engineers (IEEE)
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応用物理学会
委員歴
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国立研究開発法人 科学技術振興機構 日ASEAN科学技術・イノベーション協働連携事業 アドバイザー
2025年3月 - 2026年3月
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公益社団法人 応用物理学会 2025年国際固体素子・材料コンファレンス 論文委員
2025年1月 - 2025年12月
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次世代電子デバイスのための誘電体 薄膜-科学と技術に関する2025 年国際ワークショップ プログラム委員会委員
2024年9月 - 2025年11月
研究テーマ
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SiC MOS構造を用いた量子センサの研究開発
岩田 直高, VILLAMIN Maria Emma （転出・退職）, 沼田 敏典, 大下 祥雄
2024年度 - 現在
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強誘電体ゲート絶縁膜トランジスタおよび薄膜材料の研究
沼田 敏典, 大下 祥雄
2023年度 - 現在
論文
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Slit-loaded coplanar waveguide for color-center spin qubits 査読
Haruko Toyama, Kosuke Tahara, Taro Ikeda, Hiroya Tanaka, Atsushi Miura, Shin-ichi Tamura, Maria Emma Villamin, Toshinori Numata, Naotaka Iwata, Yuichi Yamazaki, Takeshi Ohshima, Katsuhiro Kutsuki, Hideo Iizuka
Physical Review Applied 24 054042 2025年11月
講演・口頭発表等
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SiO2/SiC界面におけるカラーセンターのエネルギー準位についての評価
井上 雄太、中河西 翔、沼田 敏典
シリコン系半導体ニューフロンティア研究会 ( 豊田工業大学 ) 2025年11月
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GeチャネルMOSFETのデバイス設計検討
松田 小町、髙橋 淳、中河西 翔、沼田 敏典
シリコン系半導体ニューフロンティア研究会 ( 豊田工業大学 ) 2025年11月
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Ga2O3薄膜形成におけるALD成膜原料および成膜温度の影響
新海 翔大、早水 一朗、中河西 翔、沼田 敏典
シリコン系半導体ニューフロンティア研究会 ( 豊田工業大学 ) 2025年11月
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SiO2/SiC低温プロセスにおける欠陥抑制手法の検討
齊藤 祐希、中河西 翔、沼田 敏典
シリコン系半導体ニューフロンティア研究会 ( 豊田工業大学 ) 2025年11月
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固体量子センサの社会実装に向けた特化型テストベッド開発－デバイス診断技術への応用－
田村 伸一？、吉田 翔太朗、岸田 裕司
SIP第３期「先進的量子技術基盤の社会課題への応用促進」とBRIDGE量子関連施策連携 公開シンポジウム2025 ( イイノホール＆カンファレンスセンター（東京都千代田区） ) 2025年10月
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SnO2 Thin Film as In-Free Transparent Conductive Oxide and Electron Transport Layer Deposited by Low-Temperature ALD 国際会議
Masaki Ando, Yoshio Ohshita, Toshinori Numata, Hyunju Lee, Hideaki Machida, Takuya Minowa, Atsushi Ogura
42nd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (EUPVSEC2025) ( Bilbao Exhibition Center, Spain ) 2025年9月
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カラーセンタのスピン制御のための小型マイクロ波導波路の開発
遠山 晴子、田原 康佐、池田 太郎、田中 宏哉、三浦 篤志、田村 伸一、Villamin Maria Emma、沼田 敏典、岩田 直高、山崎 雄一、大島 武、朽木 克博、飯塚 英男
第86回応用物理学会秋季学術講演会 ( 名城大学天白キャンパス＆オンライン ) 2025年9月
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新規Sn原料を用いたMOALD-SnO2膜の評価
安藤 昌輝、大下 祥雄、沼田 敏典、Lee Hyunju、町田 英明、小椋 厚志
第86回応用物理学会秋季学術講演会 ( 名城大学天白キャンパス＆オンライン ) 2025年9月
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Si上GaAs成膜における歪緩和過程のその場X線回折測定
早川祥太, 安河内唯人, 小島信晃, 大下祥雄
第16回スマートエネルギー技術研究センターシンポジウム ( 豊田工業大学 豊田喜一郎記念ホール ) 2024年10月
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Novel Sn CVD Precursor for Depositing SnO2 Thin Film as Transparent Conductive Oxide 国際会議
Yoshio Ohshita, Toshinori Numata, Atsushi Ogura*, Hyunju Lee*, Hideaki Machida*
41st European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (EUPVSEC2024) ( Austria Center Vienna, Vienna, Austria ) 2024年9月
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Low temperature ALD of SnO2 thin film as In-free electron transport layer 国際会議
Takuya Minowa*, Yoshio Ohshita, Toshinori Numata, Hyunju Lee*, Hideaki Machida*, Masaki Ando*, Atsushi Ogura*
31st Workshop on Crystalline Silicon Solar Cells and Modules: Materials and Processes ( Beaver Run Resort, Breckenridge, Colorado, USA ) 2024年7月
担当科目（学内） ※授業フィードバックは学内ネットワークからのみ閲覧可能です。
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2025 電子回路工学
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2025 機能半導体デバイスセミナー２
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2025 機能半導体デバイスセミナー４
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2025 電気回路工学２
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2025 電気回路工学１
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2025 機能半導体デバイスセミナー３
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2025 機能半導体デバイスセミナー１
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2025 微分積分学１および演習
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2024 機能半導体デバイスセミナー２
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2024 電子回路工学
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2024 機能半導体デバイスセミナー４
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2024 機能半導体デバイスセミナー３ 授業フィードバック
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2024 微分積分学１および演習 授業フィードバック
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2024 機能半導体デバイスセミナー１ 授業フィードバック
社会貢献活動
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令和7年度サイエンス体験プログラム 春日井高校
役割：講師
2025年10月
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第38回 半導体プロセス実習・講習会
役割：講師
2025年9月
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あいちSTEAM教育推進事業 知の探究講座 2025年度「スマホを支えるミクロの世界と信号処理技術」見えないところで働く電子部品、半導体
役割：講師
2025年7月
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第37回 半導体プロセス実習・講習会
役割：講師
2024年9月