Updated on 2025/12/08

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Toshinori Numata
 
Organization
Graduate School of Engineering Department of Advanced Science and Technology Electronics and Information Engineering Functional Semiconductor Devices Professor   
Degree
博士(工学) ( 2006.3   大阪大学 )

Research Areas

  • Manufacturing Technology (Mechanical Engineering, Electrical and Electronic Engineering, Chemical Engineering) / Electric/electronic material engineering

Main research papers

  • SPICE-based performance analysis of Trigate silicon nanowire CMOS circuits

    C. Tanaka*, M. Saitoh*, K. Ota*, K. Uchida*, and T. Numata

    IEEE Transactions on Electron Devices   60 ( 4 )   1451   2013.4.1

    Threshold voltage control by substrate bias in 10-nm-diameter tri-gate nanowire MOSFET on ultrathin BOX

    K. Ota*, M. Saitoh*, C. Tanaka*, and T. Numata

    IEEE Electron Device Letters   34 ( 2 )   187   2013.2.1

    Impact of mechanical stress on gate tunneling currents of germanium and silicon p-type metal-oxide-semiconductor field-effect transistors and metal gate work function

    Y. S. Choi*, T. Numata, T. Nishida*, R. Harris*, and S. E. Thompson*

    Journal of Applied Physics   103   064510   2008.3.24

    Performance Enhancement of Partially and Fully Depleted Strained-SOI MOSFETs

    T. Numata, T. Irisawa*, T. Tezuka*, J. Koga*, N. Hirashita*, K. Usuda*, E. Toyoda*, Y. Miyamura*, A. Tanabe*, N. Sugiyama*, and S. Takagi*

    IEEE Transactions on Electron Devices   53 ( 5 )   1030   2006.5.1

    Device Design For Subthreshold Slope and Threshold Voltage Control in Sub-100-nm Fully Depleted SOI MOSFETs

    T. Numata and S. Takagi*

    IEEE Transactions on Electron Devices   51 ( 12 )   2161   2004.12.1

Research History

  • Toyota Technological Institute   Graduate School of Engineering Department of Advanced Science and Technology Electronics and Information Engineering Functional Semiconductor Devices   Professor

    2024.1

  • Yokohama National University

    2023.4 - 2023.12

  • Tokyo City University

    2021.4 - 2023.12

  • キオクシア(株)   グループ長

    2019.4 - 2023.12

  • 東芝メモリ(株)   参事

    2017.4 - 2019.3

  • Tokyo City University

    2015.4 - 2018.3

  • Interuniversity Microelectronics Centre (imec)   On-siete Manager

    2012.5 - 2015.3

  • University of Florida   Visiting Schalar

    1997.7 - 1998.12

  • (株)東芝   研究開発センター   研究員

    1997.4 - 2017.4

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Education

  • Osaka University

    1995.4 - 1997.3

  • Osaka University

    1991.4 - 1995.3

Professional Memberships

  • Institute of Electical and Electronics Engineers (IEEE)

  • 応用物理学会

Committee Memberships

  • 国立研究開発法人 科学技術振興機構   日ASEAN科学技術・イノベーション協働連携事業 アドバイザー  

    2025.3 - 2026.3   

  • 公益社団法人 応用物理学会   2025年国際固体素子・材料コンファレンス 論文委員  

    2025.1 - 2025.12   

  • 次世代電子デバイスのための誘電体 薄膜-科学と技術に関する2025 年国際ワークショップ   プログラム委員会委員  

    2024.9 - 2025.11   

Research theme

  • Research and development of quantum sensor utilizing SiC MOS structurer

    岩田 直高, VILLAMIN Maria Emma (転出・退職), 沼田 敏典, 大下 祥雄

    2024

  • Study on ferroelectric FETs and thin film materials

    沼田 敏典, 大下 祥雄

    2023

     More details

    Outcome:

    2024
    Ga2O3 film was deposited on a silicon substrate by ALD in our university. Non-ferroelectric thin Ga2O3 was formed, and CV characteristics of MOS capacitor was demonstrated.

    2023
    He joined the institute and open his research laboratory in January 2024. In order to study on this research, he created the specification of a thin-film-deposition device with controlling materials.

Papers

  • Slit-loaded coplanar waveguide for color-center spin qubits Reviewed

    Haruko Toyama, Kosuke Tahara, Taro Ikeda, Hiroya Tanaka, Atsushi Miura, Shin-ichi Tamura, Maria Emma Villamin, Toshinori Numata, Naotaka Iwata, Yuichi Yamazaki, Takeshi Ohshima, Katsuhiro Kutsuki, Hideo Iizuka

    Physical Review Applied   24   054042   2025.11

     More details

    Publishing type:Research paper (scientific journal)  

    DOI: https://doi.org/10.48550/arXiv.2506.16128

Presentations

  • SiO2/SiC界面におけるカラーセンターのエネルギー準位についての評価

    井上 雄太、中河西 翔、沼田 敏典

    シリコン系半導体ニューフロンティア研究会  ( 豊田工業大学 )   2025.11 

     More details

    Event date: 2025.11

    Presentation type:Oral presentation (general)  

  • GeチャネルMOSFETのデバイス設計検討

    松田 小町、髙橋 淳、中河西 翔、沼田 敏典

    シリコン系半導体ニューフロンティア研究会  ( 豊田工業大学 )   2025.11 

     More details

    Event date: 2025.11

    Presentation type:Oral presentation (general)  

  • Ga2O3薄膜形成におけるALD成膜原料および成膜温度の影響

    新海 翔大、早水 一朗、中河西 翔、沼田 敏典

    シリコン系半導体ニューフロンティア研究会  ( 豊田工業大学 )   2025.11 

     More details

    Event date: 2025.11

    Presentation type:Oral presentation (general)  

  • SiO2/SiC低温プロセスにおける欠陥抑制手法の検討

    齊藤 祐希、中河西 翔、沼田 敏典

    シリコン系半導体ニューフロンティア研究会  ( 豊田工業大学 )   2025.11 

     More details

    Event date: 2025.11

    Presentation type:Oral presentation (general)  

  • 固体量子センサの社会実装に向けた特化型テストベッド開発-デバイス診断技術への応用-

    田村 伸一?、吉田 翔太朗、岸田 裕司

    SIP第3期「先進的量子技術基盤の社会課題への応用促進」とBRIDGE量子関連施策連携 公開シンポジウム2025  ( イイノホール&カンファレンスセンター(東京都千代田区) )   2025.10 

     More details

    Event date: 2025.10

    Presentation type:Poster presentation  

  • SnO2 Thin Film as In-Free Transparent Conductive Oxide and Electron Transport Layer Deposited by Low-Temperature ALD International conference

    Masaki Ando, Yoshio Ohshita, Toshinori Numata, Hyunju Lee, Hideaki Machida, Takuya Minowa, Atsushi Ogura

    42nd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (EUPVSEC2025)  ( Bilbao Exhibition Center, Spain )   2025.9 

     More details

    Event date: 2025.9

    Presentation type:Poster presentation  

  • カラーセンタのスピン制御のための小型マイクロ波導波路の開発

    遠山 晴子、田原 康佐、池田 太郎、田中 宏哉、三浦 篤志、田村 伸一、Villamin Maria Emma、沼田 敏典、岩田 直高、山崎 雄一、大島 武、朽木 克博、飯塚 英男

    第86回応用物理学会秋季学術講演会  ( 名城大学天白キャンパス&オンライン )   2025.9 

     More details

    Event date: 2025.9

    Presentation type:Oral presentation (general)  

  • 新規Sn原料を用いたMOALD-SnO2膜の評価

    安藤 昌輝、大下 祥雄、沼田 敏典、Lee Hyunju、町田 英明、小椋 厚志

    第86回応用物理学会秋季学術講演会  ( 名城大学天白キャンパス&オンライン )   2025.9 

     More details

    Event date: 2025.9

    Presentation type:Oral presentation (general)  

  • 低消費電力スマートデバイスに向けたMOSトランジスタ技術の開発

    沼田 敏典

    第16回スマートエネルギー技術研究センターシンポジウム  ( 豊田工業大学 豊田喜一郎記念ホール )   2024.10 

     More details

    Event date: 2024.10

    Presentation type:Symposium, workshop panel (nominated)  

  • Novel Sn CVD Precursor for Depositing SnO2 Thin Film as Transparent Conductive Oxide International conference

    Yoshio Ohshita, Toshinori Numata, Atsushi Ogura*, Hyunju Lee*, Hideaki Machida*

    41st European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (EUPVSEC2024)  ( Austria Center Vienna, Vienna, Austria )   2024.9 

     More details

    Event date: 2024.9

    Presentation type:Poster presentation  

  • Low temperature ALD of SnO2 thin film as In-free electron transport layer International conference

    Takuya Minowa*, Yoshio Ohshita, Toshinori Numata, Hyunju Lee*, Hideaki Machida*, Masaki Ando*, Atsushi Ogura*

    31st Workshop on Crystalline Silicon Solar Cells and Modules: Materials and Processes  ( Beaver Run Resort, Breckenridge, Colorado, USA )   2024.7 

     More details

    Event date: 2024.7

    Presentation type:Poster presentation  

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Social Activities

  • 令和7年度サイエンス体験プログラム 春日井高校

    Role(s): Lecturer

    2025.10

     More details

    Type:Visiting lecture

  • 第38回 半導体プロセス実習・講習会

    Role(s): Lecturer

    2025.9

     More details

    Type:Seminar, workshop

  • あいちSTEAM教育推進事業 知の探究講座 2025年度「スマホを支えるミクロの世界と信号処理技術」見えないところで働く電子部品、半導体

    Role(s): Lecturer

    2025.7

     More details

    Type:Research consultation

  • 第37回 半導体プロセス実習・講習会

    Role(s): Lecturer

    2024.9

     More details

    Type:Seminar, workshop