2024/10/24 更新

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ササキ　ミノル
佐々木　実
Minoru Sasaki
所属
大学院工学研究科 機械システム分野 マイクロメカトロニクス研究室 教授   
学位
博士(工学) （ 名古屋大学 ）
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研究分野

  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 計測工学

  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学  / マイクロ加工、立体へのフォトリソグラフィ

  • ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム

主な研究論文

  • Bipolar Electrostatic Driving of Isolated Micro-Resonator for Sensing High Voltage of Battery Output with Resolution

    N. Nobunaga, S. Kumagai, M. Sasaki,

    Int. J. Automation Tech.   16 ( 4 )   464 - 470   2022年

    Respiration Monitoring During 6-min Walk Using Wearable Sensor Measuring Capacitance Built Across Skin

    M. Karita, S. Kumagai, M. Sasaki

    Jpn. J. Appl. Phys.   61 ( SA1010 )   2022年

    Patterning vertical sidewall for optical assembly

    T. Yamamoto, H. Kubo, S. Kumagai, S. Saito, F. Sahara, K. Wasa, M. Sasaki

    J. Optical Microsystems   1 ( 2 )   023501   2021年

    フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成　― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ―

    佐々木実, 弓削英翔, 鈴木大瑛

    日本塑性加工学会論文誌「塑性と加工」   60 ( 702 )   195 - 202   2019年7月

    Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass

    T.-T.-N. Nguyen, M. Sasaki, H. Odaka, T. Tsutsumi, K. Ishikawa, M. Hori

    J. Appl. Phys.   125   063304   2019年

学歴

  • 名古屋大学   工学研究科

所属学協会

  • 電気学会

  • 精密工学会主催 10th ICPE校閲委員会

  • 精密工学会 東北支部

  • 精密工学会

  • 日本磁気学会

  • 日本機械学会 東北支部 情報・知能・精密機器部門 代議員

  • 日本機械学会

  • 日本塑性加工学会

  • 応用物理学会

  • 光集積技術フィージビリティ調査委員会

  • 光集積化ナノ計測システム技術調査専門委員会

  • SPIE Micromachining and Microfabrication

  • IEEE (The Institute of Electrical and Electronics Engineers)

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委員歴

  • 国際会議ISPlasma2025/IC-PLANTS2025 組織委員会   組織委員長  

    2023年5月 - 2025年5月   

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    団体区分：学協会

  • 令和５年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 総合研究会   実施責任者  

    2023年6月 - 2023年7月   

    　 詳細

    豊田工業大学にて開催
    https://www.iee.jp/smas/esoken2023/

  • 電気学会センサ・マイクロマシン部門   副部門長  

    2023年5月 - 2025年5月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • 令和３年度電気学会全国大会（2021.3.9-11 電気学会初のオンライン開催）   11グループ主査  

    2020年6月 - 2021年6月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • 令和２年度センサ・マイクロマシン部門 総合研究会 2020.7.6-7（電気学会E部門初のオンライン研究会）   実施責任者  

    2019年10月 - 2020年10月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • 電気学会E部門   マイクロマシン・センサシステム技術委員会 委員長  

    2018年4月 - 2023年5月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

    委員長

  • MDPI Micromachines   Guest Editor of Special Issue for Advanced MEMS/NEMS Technology  

    2017年 - 2018年12月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • 応用物理学会 集積化MEMS研究会   プログラム編集委員 シンポジウム企画委員  

    2016年4月 - 2020年3月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers 2017)   Technical Program Committee  

    2016年 - 2017年6月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • 電気学会 センサ・マイクロマシン部門 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 共同主催   日本・台湾国際交流シンポジウム コーディネータ  

    2015年9月 - 2016年10月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • 8th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2016)   Technical Program Committee  

    2015年 - 2016年6月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma) / the International Conference on PLAsma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS)   Organizing Committee, Program Committee  

    2014年4月 - 現在   

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    団体区分：学協会

  • The 28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015)   Executive Technical Program Committee  

    2014年 - 2015年4月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • IEEE of International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics   General Chair  

    2011年8月 - 2013年8月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • International Conference on Solid State Devices and Materials   Program Committee  

    2007年10月 - 2018年9月   

    　 詳細

    団体区分：学協会

  • 光集積化ナノ計測システム技術調査専門委員会   幹事  

    2005年   

    　 詳細

    団体区分：学協会

    光集積化ナノ計測システム技術調査専門委員会

  • SPIE Micromachining and Microfabrication   Program Committee  

    2002年   

    　 詳細

    団体区分：学協会

    SPIE Micromachining and Microfabrication

  • 精密工学会 東北支部   商議員, 幹事  

    2002年   

    　 詳細

    団体区分：学協会

    精密工学会 東北支部

  • 精密工学会主催 10th ICPE   校閲委員会委員  

    2000年   

    　 詳細

    団体区分：学協会

    精密工学会主催 10th ICPE校閲委員会

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研究テーマ

  • MEMS応用プラズマ技術

    佐々木　実

    2017年度 - 現在

    　詳細

    大気圧プラズマの特徴と、MEMS微細加工の技術を生かし、微小なマイクロプラズマ光源を実現する。例えば、5Wで点灯する誘導結合型プラズマ（ICP）の真空紫外光源、細胞のような小さなサンプルをトラップするインターフェース機能付きプラズマ源を実現した。真空封止したガスチャンバにて、電力を加えるだけで大気圧プラズマを点灯できることも確認した。
    　また、誘導結合型の大気圧プラズマに浮遊電極を初めて導入することで、点灯し易くなり、省エネで高密度なプラズマ源の実現につながった。これはサイズの大きなプラズマ源としても有効である。

    成果：

    2023年度
    花粉を扱う実験において、孤立した花粉を500µm間隔で配列する操作に有効な、MEMSノズル素子を改良した。具体的には、角部にアールを入れて、細胞が機械的にダメージを受け難く、かつ気流を円滑にすることで花粉トラップの効率を高める効果を狙うものである。

    2022年度
    プラズマ処理水が、花粉の発芽を促進する効果が得られた。花粉を扱う実験において、孤立した花粉を500µm間隔で配列する操作に有効な、MEMSノズル素子と合わせて研究した。これは名古屋大学の田中宏昌教授と進めた。

  • マイクロセンサとマイクロアクチュエータ

    佐々木　実

    2017年度 - 現在

    　詳細

    微細加工を応用して新しい、マイクロセンサやマイクロアクチュエータを創る。例えば、～10Vの低電圧で動作する静電駆動型マイクロミラーが実現できる。原理的工夫は、マイクロミラーを数100nm厚の薄い紐状ねじれバネで支えることでバネ定数を小さくしたことである。但し、静電引力がミラーの上下変位ではなく回転運動を生じるように、紐をピンと張って上下方向には硬く、回転には柔らかさを保つようにした。アモルファスから結晶化したポリシリコン膜を利用し、大きな張力と温度安定性を実現した。また、静電アクチュエータの性質を利用して、高電圧バッテリの出力を測定する絶縁型電圧センサ、人の皮膚の性質を利用したウェアラブル型の呼吸センサの研究を手掛けている。

    成果：

    2023年度
    引き続き、ギャップ1.5μmを持つMEMS静電アクチュエータのデバイス試作を続けた。別に、フレキシブル基板に、サーモパイルセンサを用意した温感センサを製作した。これはロボットの指などに実装するもので、人間など対象物と接した場合に、熱流を測定することで判断するためのデバイスである。

    2022年度
    レジスト膜のシートを応用した研究とも関係するが、MEMS静電アクチュエータの櫛歯構造を電極ギャップ1.5µmにて行うなど微細パターンを転写するのにも有効である発展が得られた。上記ギャップは、通常のマスク露光では転写を安定してえることが難しいサイズであり、パッシェンカーブからは放電を避けて電界を高くするのに有利な寸法である。

  • 焦点深度の限界を超える潜像法による立体のフォトリソグラフィ加工

    佐々木　実

    2014年度 - 現在

    　詳細

    通常は平面基板にしか適用できないフォトリソグラフィ加工を、レンズ曲面や機械部品に代表される立体に適用可能にする。微細な形状が100万個程度多数並ぶ、マイクロテクスチャなどを実現する技術となる。

    成果：

    2021年度
    科学技術交流財団 R2年度採択の共同研究推進事業「三次元フォトリソグラフィ加工技術の開発」にて、立体のフォトリソグラフィ加工そのものと、その実施のための装置類を開発した。

    2022年度
    立体のフォトリソグラフィ加工を進めるために必須となるのが、レジスト膜の貼付け装置である。小片基板向けの貼付け装置を、民間企業と協力して開発した。

    2023年度
    立体のフォトリソグラフィ加工を進めるために必須となるレジスト膜の貼付け装置を、民間企業と協力して開発した。更に、大企業１社と技術活用のための共同研究を進めた。

論文

  • MEMS nozzle for dry-capturing lily pollens in array and fixing on culture media for plasma bio-applications 査読

    Qingyang Liu, Sachiko Sugiyama, Gang Han, Takayoshi Tsutsumi, Hiromasa Tanaka, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 62 (2023)   62   SN1015   2023年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   記述言語：英語   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IOP publishing  

    DOI： 10.35848/1347-4065/acfb17

  • シリコンハードマスクを用いたステンレス鋼のドライエッチング 査読

    Han Gang, 佐々木　実

    電気学会論文誌E   142 ( 10 )   259 - 265   2022年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • 超電導電力貯蔵装置を小型化するコイル向け全長100m級スパイラル溝形成 査読

    佐々木　実, 盧柱亨 **, 高井治 **, 元廣友美 **

    電気学会論文誌E   142 ( 5 )   78 - 84   2022年5月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Bipolar Electrostatic Driving of Isolated Micro-Resonator for Sensing High Voltage of Battery Output with Resolution 査読

    Naoki Nobunaga*, Shinya Kumagai*, Minoru Sasaki

    International Journal of Automation Technology   61 ( 4 )   464 - 470   2022年4月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Fuji Technology Press  

  • Deposition of PFCs Films on Die with Microstructures using CF4 Gas 査読

    Gang Han*, Masaya Watanabe*, Seiya Fujita*, Minoru Sasaki

    14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 15th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science   07P-33   2022年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Fine Grating on Thin Metal Wire or Foil Filament for Controlling Its Thermal Radiation 査読

    Yuta Yamada*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

    The 13th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT2021) and The 3rd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity (APSTP2021)   2021年11月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Uniform resist film on chip substrate prepared by bonding film coated on sheet 査読

    Tomoya Onuki*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

    2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration   6P - 08   2021年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Respiration monitoring during 6 min walk using wearable sensor measuring capacitance built across skin 査読

    Momoko Karita*, Shinya Kumagai **, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   61   SA1010   2021年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Microtextured die using silicon stencil mask for micro-machining of stainless steel 査読

    Han Gang, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   61 ( SA )   SA1012   2021年8月 （   ISSN:0021-4922 ）

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • 赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定 査読

    畠垣 知弥*, 熊谷 慎也 **, 佐々木　実

    電気学会論文誌E   141 ( 7 )   265 - 266   2021年7月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • FINE PATTERNING ON 3D SAMPLE WITH CURVATURE AND DEPTH USING RESIST SHEET WITH LATENT IMAGE 査読

    Takayuki Kuroyanagi*, Shigenori Saito **, Minoru Sasaki

    The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, B6-6A4   521 - 524   2021年6月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Estimation of the Electricity Storage Volume Density of Compact SMESs of a New Concept Based on Si Microfabrication Technologies 査読

    Tomoyoshi Motohiro **, Minoru Sasaki, Joo-Hyong Noh **, Osamu Takai **

    Magnetochemistry   7 ( 3 )   44   2021年3月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：MDPI (Basel, Switzerland)  

  • Patterning vertical sidewall for optical assembly 査読

    Taichi Yamamoto*, Hironori Kubo*, Shinya Kumagai **, Shigenori Saito **, Fumitaka Sahara **, Minoru Sasaki

    Journal of Optical Microsystems   1 ( 2 )   023501   2021年2月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：SPIE  

  • Structure-Based Huge Hard-Spring Torsional Resonator Coupled with Thermal Bending for Infrared Sensor 査読

    Masaki Okamoto*, Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai **, Minoru Sasaki

    電気学会論文誌E   140 ( 9 )   240 - 245   2020年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • 一細胞に非熱平衡プラズマを照射するPlasma-on-Chipデバイス：誘電体バリア放電方式による動作特性の改善 査読

    熊谷慎也 **, 小林未明 **, 清水鉄司 **, 佐々木　実

    電気学会論文誌C   140 ( 4 )   452 - 456   2020年4月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Formation of spherical Sn particles by reducing SnO2 film in floating wire-assisted H2/Ar plasma at atmospheric pressure 査読

    Thi-Thuy-Nga Nguyen **, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi **, Hidefumi Odaka **, Kenji Ishikawa **, Masaru Hori **

    Scientific Reports, Article number 17770   10   17770   2020年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Springer Nature Limited  

  • Novel gratings for astronomical observation 査読

    Noboru Ebizuka **, Takayuki Okamoto **, Masahiro Takeda **, Takuya Hosobata **, Yutaka Yamagata **, Minoru Sasaki, Ichi Tanaka **, Takashi Hattori **, Shinobu Ozaki **, Wako Aoki **

    CEAS Space Journal   s12567 - 019   2019年11月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Springer  

  • Estimation of electricity storage capacity of compact SMESs composed of stacks of Si-wafers loaded with superconducting thin film coils in spiral trenches formed by MEMS process 査読

    Y. Ichiki **, A. Ichiki **, T. Hioki **, Minoru Sasaki, J.-H. Noh **, O. Takai **, H. Honma **, T. Motohiro **

    Journal of Physics: Conf. Series   1293   012058   2019年9月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IOP Publishing  

  • フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成　― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ― 査読

    佐々木　実, 弓削英翔*, 鈴木大瑛*

    塑性と加工   60 ( 702 )   192 - 202   2019年7月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：日本塑性加工学会  

  • Electrostatically Driven Isolated Voltage Sensor. 査読

    グエン ハイ ミン, Minoru Sasaki

    MSS.マイ クロマシン・センサシステム研究会   23 - 26   2019年2月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム合同研究会 鉄道、センサ技術一般  

  • Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass 査読

    Minoru Sasaki, T.-T.-N. Nguyen*, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

    Journal of Applied Physics   125   063304   2019年2月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Batch Fabrication of Nano-Gap Electrode Array Using Photo-Patterning and Resist UV-curing 査読

    グエン ハイ ミン, Mako Kumeuchi*, Shinya Kumagai*, Kenji Ishikawa*, Masaru Hori*, Minoru Sasaki

    電気学会論文誌E   139 ( 1 )   27 - 28   2019年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass 査読

    Minoru Sasaki

    Journal of Applied Physics   125   063304   2019年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：AIP Publishing  

  • Grating Fabrication for Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton. 査読

    グエン ハイ ミン, Minoru Sasaki

    DPS 2018 Proseeding of international sumposium of dry process.   237 - 238   2018年11月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：DPS 2018 Proseeding of international sumposium of dry process.  

  • Fabrication of 3-stepped Spiral Trench with Smooth Sidewall at Nano-level to Deposit Superconducting Material for Energy Storage 査読

    Minoru Sasaki, Che-Wei Hsu*, Yasuhiro Suzuki*, Tatsumi Hioki*, Joo-hyong Noh*, Osamu Takai*, Hideo Watanabe*, Hideyuki Doy*, Tomoyoshi Motohiro*

    International Journal of Nanotechnology   15 ( 11/12 )   858 - 872   2018年11月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Inderscience Publishers  

  • Respiratory Motion Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin in Daily Activities 査読

    Makie Terazawa*, Momoko Karita*, Shinya Kumagai*, Minoru Sasaki

    Micromachines   9 ( 11 )   543   2018年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：MDPI (Basel, Switzerland)  

  • Optofluidic Device for Measuring Cell Response Against Mechanical Stimulation. 査読

    Motohide Yoshimi*, Shinya Kumagai*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials.   667 - 668   2018年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Processing thin-film membrane and dry etching release of torsional resonator for uncooled infrared sensor 査読

    Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018)   08aB02O   2018年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • A Novel Designed High-Density Atmospheric Pressure Inductively Coupled Plasma Remotely Generated at the Downstream Side of a Quartz Tube Using a Floating Wire 査読

    Thi-Thuy-Nga Nguyen **, Minoru Sasaki, Hidefumi Odaka **, Takayoshi Tsutsumi **, Kenji Ishikawa **, Masaru Hori **

    Proceedings of International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018)   2018年3月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Lifted Bottom of Microfluidic Channel for Cell Absorption Spectroscopy Using Optical Fibers 査読

    Minoru Sasaki

    Sensors and Materials   29 ( 3 )   273 - 280   2018年3月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：MYU K.K.  

  • PATTERNING VERTICAL SIDEWALL USING STANDARD ALIGNER 査読

    Kenji Wasa **, Shigenori Saito **, Fumitaka Sahara **, Minoru Sasaki

    The 31th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2018)   475 - 478   2018年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IEEE  

  • Replacement of NbN by YBa2Cu3O7-δ in Superconducting Thin Film Coil in a Spiral Trench on a Si-Wafer for Compact SMESs 査読

    Yushi Ichiki **, Kazuhiro Adachi **, Yasuhiro Suzuki **, Masami Kawahara **, Akihisa Ichiki **, Tatsumi Hioki **, Che-Wei Hsu*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Tomoyoshi Motohiro*

    Proceedings of the 30th International Symposium on Superconductivity (ISS2017) EDP2-10   2017年12月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Insulated Voltage Sensor Using Resonator Withstanding Higher Voltage 査読

    Y. Wada*, N. Nobunaga*, Shinya Kumagai , H. Ishihara*, M. Ishii*, Minoru Sasaki

    Proceedings of the 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017)   8P - 7   2017年11月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO2 Gas Sensing 査読

    Hiroki Ishihara **, Katsuya Masuno **, Makoto Ishii **, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Materials 2017, 10, 1085   10 ( 9 )   1085   2017年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：MDPI (Basel, Switzerland)  

    DOI： 10.3390/ma10091085

  • Respiratory Sensor Continuously Attached on the Abdomen 査読

    M. Terasawa*, M. Karita*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Extended Abstracts of the 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017), F-2-02   265 - 266   2017年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics  

  • Cu Thin Film Polyimide Heater for Nerve-Net Tactile Sensor 査読

    Yusuke Suganuma **, Minoru Sasaki, Takahiro Nakayama **, Masanori Muroyama **, Yutaka Nonomura **

    Proceedings of Eurosensors 2017   1 ( 4 )   303   2017年9月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：MDPI AG, Basel, Switzerland  

    DOI： 10.3390/proceedings1040303

  • Uncooled Infrared Sensor Using Torsional Resonator and Electrostatic Detection 査読

    Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai , Kyu Chang Park **, Minoru Sasaki

    2017 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2017)   2017年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IEEE  

    DOI： 10.1109/OMN.2017.8051492

  • Photolithography Based Nano-Gap Formation Realized by Additional Pattern Transfer on UV-Cured Resist 査読

    グエン ハイ ミン, M. Kumeuchi*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24), Optical MEMS and Nanophotonics II, Th2G-06   2017年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Plasma cell treatment device Plasma-on-Chip: Monitoring plasma-generated reactive species in microwells 査読

    Jun-Seok Oh **, Shinya Kojima*, Minoru Sasaki, Akimitsu Hatta **, Shinya Kumagai

    Scientific Reposrts   7   41953   2017年2月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Springer Nature  

  • Diffraction Gratings for the Latest Visible and Infrared Astronomical Observations 査読

    Noboru Ebizuka **, Takayuki Okamoto **, Miyuki Uomoto **, Takehito Shimatsu **, Minoru Sasaki, Andrea Bianco **, Chris Packham **, Wako Aoki **

    日本赤外線学会誌   26 ( 2 )   32 - 39   2017年2月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Lifted Bottom of microfluidic Channel for Cell Absorption Spectroscopy Using Optical Fibers 査読

    Motohide Yoshimi*, Shinya Kumagai , Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    Sensors and Materials   29 ( 3 )   273 - 280   2017年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：MYU Tokyo  

  • Light-absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical sidewalls 査読

    Shinya Kumagai , Hironori Kubo **, Minoru Sasaki

    Journal of Micromechanics and Microengineering   27 ( 025016 )   1 - 9   2017年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IOP  

  • Outline Fine Pattern Generation Using Partial UV Curing of Photoresist 査読

    Takuya Iwamoto*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    電気学会論文誌E   137 ( 1 )   44 - 45   2017年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Complete Fabrication of a Traversable 3um Thick NbN Film Superconducting Coil with Cu plated layer of 42m in Length in a Spiral Three-Storied Trench Engraved in a Si Wafer of 76.2 mm in Diameter Formed by MEMS Technology 査読

    Y. Suzuki **, N. Iguchi **, K. Adachi **, A. Ichiki **, T. Hioki **, C.-W. Hsu*, R. Sato*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Tomoyoshi Motohiro **

    IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series   897   012019   2017年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IOP  

  • MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化 査読

    和田祐樹*, 延永尚記*, 熊谷　慎也, 石原裕己 **, 石居真 **, 佐々木　実

    電気学会論文誌E   137 ( 8 )   239 - 244   2017年

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Plasma-on-chip device for stable irradiation of cells cultured in media with a low-temperature atmospheric pressure plasma 査読

    Tomohiro Okada*, Chun-Yao Chang*, Mime Kobayashi **, Tetsuji Shimizu +*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    Archives of Biochemistry and Biophysics   605   11 - 18   2016年4月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Elsevier  

  • Frequency Response Based Analysis of Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin 査読

    Makie Terasawa*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   55 ( 4 )   04EM13   2016年4月

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    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Design of microplasma electrodes for plasma-on-chip devices 査読

    C.-Y. Chang 台湾 中興大*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , G.-J. Wang 台湾 中興大*

    J. Phys. D: Appl. Phys.   49   155203   2016年3月

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    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IOP Publishing  

  • Liquid Immersion Angled Exposure for 3D Photolithography 査読

    Takafumi Hosono*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    電気学会論文誌E   136 ( 3 )   90 - 91   2016年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media 査読

    Shinya Kumagai , C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   55 ( 1S )   01AF01   2015年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IOP  

  • Collecting biological samples for accurate optical absorption spectroscopy 査読

    Yuichiro Matsuura*, Shinya Kumagai , Dinghuan Deng*, Yasutake Ohishi*, Minoru Sasaki

    M&BE8 2015   2015年6月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Micromechanical IR thermal detector using torsional oscillation: Improvement of resonator profile for high sensitivity 査読

    Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai , Ichiro Yamashita*, Yukiharu Uraoka*

    Japanese Journal of Applied Physics   54 ( 04 )   04DE07   2015年4月

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    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Micromechanical IR thermal detector using torsional oscillation: Improvement of resonator profile for high sensitivity 査読

    ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai , Ichiro Yamashita NAIST*, Yukiharu Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   54   04DE07   2015年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics  

  • Effect of Shielding a Floating Electrode on the Power Efficiency of a Micro-plasma VUV Light Source 査読

    Ryoto Sato 豊田工業大学*, Daisuke Yasumatsu 豊田工業大学*, Shinya Kumagai , Masaru Hori 名古屋大学*, Minoru Sasaki

    電気学会論文誌E   135 ( 3 )   114 - 115   2015年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Thermocouples fabricated on trench sidewall in micro fluidic channel bonded with film cover 査読

    Takahiro Yamaguchi 豊田工大*, Masahiro Shibata 豊田工大*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   54   030219   2015年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • THERMOCOUPLES ON TRENCH SIDEWALL IN CHANNEL FRONTING ON FLOWING MATERIAL 査読

    Minoru Sasaki, Masahiro Shibata マイクロメカトロニクス*, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    The 28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015)   841 - 844   2015年1月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • A microfluidic chip for generating reactive plasma at gas-gas interface formwd in laminar flow 査読

    Masahiro Hashimoto 豊田工大*, Katsuki Tsukasaki 豊田工大*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   54 ( 1 )   01AA09   2015年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Localized plasma irradiation through a micronozzle for individual cell treatment 査読

    Ryutaro Shimane マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Hiroshi Hashizume Meijo University*, Takayuki Ohta Meijo University*, Masafumi Ito Meijo University*, Masaru Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   53   11RB03   2014年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Multiple-height microstructure fabricated by deep reactive ion etching and soft resist masks combined with UV curing 査読

    Minoru Sasaki, R Sato マイクロメカトロニクス*, T Sawada マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    IOP Publishing Journal of Physics: Conference Series   518   012012   2014年6月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：26th International Symposium on Plasma Sciences for Materials (SPSM26)  

  • A Novel Infrared Detector Using Highly Nonlinear Twisting Vibration 査読

    Minoru Sasaki, Tatsuya Yamazaki 豊田工大*, Shouhei Ogawa 豊田工大*, Shinya Kumagai

    Sensors and Actuators   A212   165 - 172   2014年6月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • A Novel Infrared Detector Using Highly Nonlinear Twisting Vibration 査読

    Tatsuya Yamazaki マイクロメカトロニクス*, Shouhei Ogawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Sensors and Actuators: A   2014年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Elsevier  

  • Etching Profile Control of Alignment Spring for Combining MEMS Micro-Channel Device and Optical Fibers 査読

    Minoru Sasaki, Hikaru IIMURA マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, Yasutake Ohishi, Shinya Kumagai

    Proceedings of the 12th Asia Pacific Physics Conference JPS Conf. Proc.   015071   2014年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：JPS  

  • Improving the Quality Factor of Polycrystalline Si Thin-Film Micromechanical Resonator by Metal-Induced Lateral Crystallization Using Biomineralized Ni Nanoparticles 査読

    Shinya Kumagai , 冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, Minoru Sasaki

    Applied Physics Letters   103 ( 22 )   223103   2013年11月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：American Institute of Physics  

  • An atmospheric pressure inductively coupled microplasma source of vacuum ultraviolet light 査読

    Ryoto Sato*, Daisuke Yasumatsu*, Shinya Kumagai , Keigo Takeda*, Masaru Hori*, Minoru Sasaki

    Sensors and Actuators A: Physical   2013年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Elsevier  

  • Micro-Channel Device for Spectrum Measurement Using Optical Fiber Aligned with Bias Spring with Reversely Tapered Profile. 査読

    Hikaru Iimura*, ディンハン　デン, Shinya Kumagai , Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    Optical MEMS and Nanophotonics (OMN)   93 - 94   2013年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Local micro-plasma irradiation using MEMS nozzles 査読

    Minoru Sasaki, 堀勝 名古屋大学*, Shinya Kumagai

    Proceedings of the 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science   P - H11   2013年2月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Theoretical Electromagnetic Field Calculation of a Floating Metal Wire for Inductively Coupled Micro Plasma Using Spiral Coil 査読

    ユン キヨル, Keisuke Fujisaki, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 1 )   01AA02   2013年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：Japanese Journal of Applied Physics  

  • A MICROPLASMA CHIP FOR VUV LIGHT SOURCE 査読

    佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 安松大輔 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 堀勝 名古屋大学*, Minoru Sasaki

    Proceeding of MEMS 2013   705 - 708   2013年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Non-Contact Voltage Measurement Using a Micro-Resonator 査読

    Satoshi Hasegawa*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   133 ( 8 )   354 - 358   2013年

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Micro-Oscillator for Non-Contact Voltage Sensing 査読

    Minoru Sasaki, 長谷川聡 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    Proceedings of the 19th International Display Workshops, MEET1-4   1419 - 1422   2012年12月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Minimising plasma irradiation area by micronozzle device towards single-cell treatment 査読

    島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 堀勝 名古屋大学*, Minoru Sasaki

    Micro & Nano Letters   7 ( 12 )   1210 - 1212   2012年12月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IET Digital Library  

  • Improving Crystallinity of Thin Si Film for Low-Energy-Loss Micro-/Nano-Electromechanical Systems Devices by Metal-Induced Lateral Crystallization Using Biomineralized Ni Nanoparticles 査読

    Shinya Kumagai , Hiromu Murase*, Syusuke Miyachi*, Nobuaki Kojima,Yoshio Ohshita, Masafumi Yamaguchi, Ichiro Yamashita*, Yukiharu Uraoka*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 11 )   11PA03   2012年11月 （   ISSN:1347-4065 ）

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics  

  • Wearable Capacitive Breathing Sensor 査読

    クンドゥスブラタクマル マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Wearable Capacitive Breathing Sensor   386 - 387   2012年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Infra-Red Absorption Spectrum Measurement Combining Si Microfluidic Trench and Supercontinuum Light from Fiber 査読

    大羽祥平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 川島浩靖 光機能物質*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    Extended Abstracts of the 2012 International Conference on Solid State Devices and Materials   370 - 371   2012年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Controlling Crystallized Domain Positions in Poly-Si Film by using Ni Ferritin for Low Energy Loss and High Efficiency MEMS/NEMS Devices 査読

    冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 山下一郎 奈良先端大*, 浦岡行治 奈良先端大*, Minoru Sasaki

    Extended Abstracts of the 2012 International Conference on Solid State Devices and Materials   1091 - 1092   2012年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Molecular Measurement Based on Infra-Red Absorption Spectrum Using Supercontinuum Light from Fiber 査読

    大羽祥平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 川島 浩靖 光機能物質*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    Proceeding of Optical MEMS & Nano Photonics Conference 2012   89 - 90   2012年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Molecular Measurement Based on Infra-Red Absorption Spectrum Using Supercontinuum Light from Fiber. 査読

    S. Ohba*, S. Kumagai*, H. Kawashima*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    Conferemce Digest (CD-ROM)   89 - 90   2012年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • A Spatial Light Modulator Fabricated with Bionano-Crystallized Poly-Si film 査読

    Shinya Kumagai , 冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, 宮地修輔 マイクロメカトロニクス*, 山下一郎 奈良先端大*, 浦岡行治 奈良先端大*, Minoru Sasaki

    Proceeding of Optical MEMS & Nanophotonics   128 - 129   2012年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Micro-Power Source of Si Photo Cells Connected across Vertical Sidewalls for Light Receiving and High Voltage Generation 査読

    山本太一 マイクロメカトロニクス*, 久保裕慎 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceeding of Optical MEMS &　Nanophotonics Conference   140 - 141   2012年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Analysis of Hard Spring Effect of Tense Poly-Si Torsion Bar of Micromirror 査読

    クンドゥ スブラタ クマル マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 藤島正幸 東北大学*, 羽根一博 東北大学*, Minoru Sasaki

    Proceeding of Optical MEMS & Nanophotonics Conference   162 - 163   2012年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Macro Model Study for Nonlinear Spring of Tense Torsion Bar in Gap-Closing Type Electrostatic Micromirror 査読

    Gyu Il Shim マイクロメカトロニクス*, Ryoichi Mimoto マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Journal of Mechanics Engineering and Automation   2 ( 7 )   446 - 454   2012年7月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：David publishing  

  • SURFACE FLATNESS OF DRUM-TYPE AND COLUMN-TYPE MICROMIRRORS IN STATIC AND DYNAMIC CONDITIONS 査読

    クンドゥ スブラタ クマル, 疋田晃義 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies   ac12000140   2012年7月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • A MICRO NOZZLE DEVICE TOWARDS PLASMA TREATMENT OF A CELL 査読

    島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 堀勝 名古屋大学*, Minoru Sasaki

    The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies   ac12000186   2012年7月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Infrared collecting lens having millimeter-size diameter integrated with Si photo cell 査読

    青沼拓朗 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    電気学会論文誌E   132-E ( 5 )   119 - 126   2012年5月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Investigation of Optical Flatness of Stretched Membrane Drum-Type Micromirror 査読

    クンドゥ スブラタ クマル, Akiyoshi Hikita*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Journal of Lightwave Technology   30 ( 10 )   1377 - 1385   2012年5月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IEEE/OSA  

  • 3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil 査読

    Keisuke Fujisaki, ユン キヨル, Minoru Sasaki

    ISPlasma2012   2012年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Photoresist Spray Coating Using a Shield Plate with an Aperture for Uniform Deposition onto Trench-Type Three-Dimensional Microdevice Structures 査読

    Shinya Kumagai , Fukuda Naoya*, Tajima Hisayoshi*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   51   02BL04   2012年2月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Wireless Driving of a Micromirror Device by Electoromagnetic Excitation Tuned to Mechanical Resonance of Rotation 査読

    Shinya Kumagai , Ohnishi Narimune*, Minoru Sasaki

    Journal od Advanced Design, Systems, and Manufacturing   6 ( 1 )   179 - 188   2012年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • 3-D WIRING ACROSS VERTICAL SIDEWALLS OF SI PHOTO CELLS FOR SERIES CONNECTION AND HIGH VOLTAGE GENERATION 査読

    Shinya Kumagai , T. Yamamoto*, H. Kubo*, Minoru Sasaki

    The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (2012.1.31, Paris, France), Oral Session IV - Fabrication   60 - 63   2012年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IEEE  

  • Floating Wire for Enhancing Ignition of Atmospheric Pressure Inductively Coupled Microplasma 査読

    Shinya Kumagai , Asano Hirotaka*, Hori Masaru Nagoya University*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   51   01AA01   2012年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Selective Ashing of Resist Layer Combined with UV Curing 査読

    Shinya Kumagai , Akiyoshi Hikita*, Takuya Iwamoto*, Takashi Tomikawa*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 1 )   01AB04   2012年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：The Japan Society of Applied Physics  

  • Evaluation of Stress Concentration and Deformation of Drum-Type Micromirror 査読

    Minoru Sasaki, S. K. Kundu*, A. Hikita*, S. Kumagai*

    Proceedings of the 18th International Display Workshops, MEET5-3 (2010.12.8, Nagoya, Japan)   2   1223 - 1226.   2011年12月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：Society for Information Display  

  • Multi-Wavelength Selective IR Emission Using Surface Plasmon Polaritons for Gas Sensing 査読

    Katsuya Masuno*, Takahiro Sawada*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Photonics Technology Letters   23 ( 22 )   1661 - 1663   2011年11月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：IEEE  

  • Dynamic Deformation of Stretched Membrane in Drum-Type Micromirror 査読

    Subrata Kumar Kundu*, Akiyoshi Hikita*, Shinya Kumagai*, Minoru Sasaki

    Proceedings of 2011 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   2011年11月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IEEE  

  • Flow Analysis of Photoresist Spray Coating towards Improving Coverage on Three-Dimensional Structures 査読

    Shinya Kumagai , Tajima Hisayoshi*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   50   2011   2011年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Flow Analysis of Photoresist Spray Coating towards Improving Coverage 査読

    Shinya Kumagai , 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   50   106501   2011年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Novel Atmospheric Pressure Inductively Coupled Micro Plasma Source 査読

    Shinya Kumagai , Matsuyama Hiroki*, Yokoyama Yoshihiro*, Hori Masaru*, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   50   08JA02   2011年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Enhanced Contrast of Wavelength-Selective Mid-Infrared Detectors Stable against Incident Angle and Temperature Changes 査読

    Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 田代　孝二, Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   50   037201 - 1   2011年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Ignition characteristics of planer micro-plasma source using floating sheet electrode 査読

    Y. YOKOYAMA*, H. MATSUYAMA*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1-005A   57   2011年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Light-Weighted Micromirror Fabricated Using Stacked Photoresist Masks Realized by UV Curing 査読

    A. Hikita*, T. Iwamoto*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of the 4th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science   O-06   2011年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • UV curing of photoresist for MEMS processes 査読

    T. IWAMOTO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P3-093-LNA   Late News p.17   2011年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Multiple-height Microstructure Fabricated by ICP-RIE and Masking Layers Using Only Photoresists 査読

    A. HIKITA*, T. IWAMOTO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P2-009A   101   2011年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Reflection-type wavelength-selective infrared emitter using surface plasmon polaritons 査読

    Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    OPTICS LETTERS   36 ( 3 )   376 - 378   2011年1月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Proposal of High-Density Packaging Construction and Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall Using Spray Coating Technology 査読

    Morii Hiroki*, Oohira Fumikazu*, Suzuki Takaaki*, Terao Kyohei*, Minoru Sasaki, Ochi Toshihiko*, Yuzuriha Asumi*, Wani Katsuhito*

    電気学会論文誌E   131 ( 1 )   40 - 44   2011年1月

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Infrared collecting lens having millimeter-size diameter integrated with Si photo cell 査読

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , Takuro Aonuma*

    電気学会論文誌E   132 ( 5 )   2011年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）   出版者・発行元：電気学会  

  • Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror 査読

    Shouhei Ogawa*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of the 17th International Display Workshops, MEET2-3   1581 - 1584   2010年12月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Patient Monitoring Outside the Hospital 査読

    Katsuya Masuno*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of 2010 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   429 - 434   2010年11月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Source with Floating Electrode 査読

    Shinya Kumagai , Hiroki Matsuyama*, Masaru Hori*, Minoru Sasaki

    Bulletin of American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, CTP206   52   2010年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Enhanced Contrast of Wavelength Selective Mid-IR Detector Stable against Temperature Change 査読

    Masuno Katsuya*, Kumagai Shinya*, Tashiro Kohji*, Hori Masaru*, Minoru Sasaki

    Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, PO-19   137 - 138   2010年10月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IEEE/LEOS  

  • Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module 査読

    Katsuya Masuno*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, G-8-4   1174 - 1175   2010年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source towards Portable Spectrometry System 査読

    Kumagai Shinya*, Matsuyama Hiroki*, Hori Masaru*, Minoru Sasaki

    Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, G-8-3   1172 - 1173   2010年9月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Absorbent liquid immersion angled exposure for 3D Photolithography 査読

    Hironori Kubo*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, M4-4   39 - 40   2010年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IEEE/LEOS  

  • Large-size Infrared Reflow Microlens Based on Stacked Layers 査読

    Takuro Aonuma*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, W1-5   93 - 94   2010年8月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：IEEE/LEOS  

  • Contrast Enhancement of Wavelength-Selective Detection of Mid-Infrared Using Localized Atmospheric-Pressure Plasma Treatment 査読

    Katsuya Masuno マイクロメカトロニクス*, 田代　孝二, Masaru Hori*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Japanese Journal of Applied Physics   49   04DL18 - 1   2010年4月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Characteristics of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil 査読

    H. ASANO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1-003A   56   2010年3月

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Buckled Bridges Using Film Stress for Three-Dimensional Structures, -Effects of lateral designs to vertical profiles and dynamic characteristics- 査読

    Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane*, Danick Briand*, Wilfried Noell*, Nicolaas F. de Rooij*

    IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering   5 ( 2 )   131 - 136.   2010年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device 査読

    Takuro AONUMA*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Motoki TABATA*, Kazuhiro HANE*

    Japanese Journal of Applied Physics   48 ( 4 )   04C191   2009年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Tensile Thin Film for MEMS Devices 査読

    Minoru Sasaki

    Taiwan-Japan Bilateral Symposium on Research of Nanotechnology   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Microactuator Using Tensile Thin Film 査読

    Minoru Sasaki

    2009 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Three-dimensional photolithography based on spray coating of photoresist 査読

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    3rd SJTU-Ritsumeikan University Micro/Nano Science and Technology Symposium   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • 温度依存性の少ない分光機能集積型赤外線ディテクタ 査読

    桝野雄矢*,熊谷　慎也 ,佐々木　実

    第56回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集   ( 3 )   1029   2009年

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si 査読

    Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

    IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics   15 ( 5 )   1455 - 1462   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device 査読

    Takuro AONUMA*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Motoki TABATA*, Kazuhiro HANE*

    Japanese Journal of Applied Physics   48 ( 4 )   04C191   2009年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Atmospheric Pressure Plasma for Localized Material Deposition on IR Sensor 査読

    K. MASUNO*, 田代　孝二, M. HORI*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2010) Poster, PB065C   209   2009年

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Extending Rotation Range Confirmed by Macro Model of Gap-closing Type Electrostatic Micromirror Controlling Non-linearity of Torsion Bar 査読

    沈　規一, Ryoichi Mimoto*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    Proceedings of The 16th International Display Workshops (IDW ’09) ), MEMS5-3   1501 - 1504   2009年

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Nanomachining combined with bulk micromachining 査読

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    SECOND INTERNATIONAL WORKSHOP ON NANOTECHNOLOGY AND APPLICATION   135 - 139   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror 査読

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , Masayuki Fujishima*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

    Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials, J-6-3,   1328 - 1329   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Thermopile IR Detector Integrated with Wavelength Selective Filter Stable Against Temperature and Incident Angle Change 査読

    Masuno Katsuya*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, 田代　孝二

    Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials, P-11-8,   683 - 684   2009年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Liquid Immersion Angled Exposure for 3D Photolithography 査読

    Minoru Sasaki, Takafumi Hosono*, Shinya Kumagai

    2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics   75 - 76   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Wireless Driving of Micromirror Using Electromagnetic Induction 査読

    Minoru Sasaki, Narimune Ohnishi*, Shinya Kumagai , Kazuhiro Hane*

    2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics   11 - 12   2009年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Liquid immersion angled exposure technique for 3D photolithography 査読

    TAKAFUMI HOSONO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

    First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications   2008年

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Combination of LOCOS process and plasma Si etching using delayed mask for integrating sensor inside micromirror 査読

    Shinya Kumagai , T. Aonuma*, Minoru Sasaki, M. Tabata*, K. Hane*

    The 8th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop with Plasma Application Monodzukuri   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges 査読

    Minoru Sasaki, Satoshi Endou*, Kazuhiro Hane*

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • MEMS用アッシング装置に開発 査読

    岩本拓也*, 佐々木　実, 熊谷　慎也

    日本機械学会東海学生会、第４０回学生員卒業研究発表講演会 講演前刷集   116   29 - 30   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • ギャップクロージング型静電マクロミラーのマクロモデルよるpull-in現象解析 査読

    味元良一*, 佐々木　実, 熊谷　慎也

    日本機械学会東海学生会、第４０回学生員卒業研究発表講演会 講演前刷集   913   286 - 287   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Characteristics and Improved Design of Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device 査読

    T. Aonuma M1*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, M. Tabata 東北大学*, K. Hane 東北大学*

    Japanese Journal of Applied Physics   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates 査読

    Minoru Sasaki, Fuminori Bono*, Kazuhiro Hane*

    Japanese Journal of Applied Physics   47 ( 4S )   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress 査読

    Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

    Journal of Optics A: Pure and Applied Optics   10   044004   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側壁への配線形成技術 査読

    森井裕貴*, 大平文和*, 佐々木　実, 越智寿彦*, 杠明日美*, 和爾克人*

    第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム予稿集   A1-6   29 - 32   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • スプレーコーティングしたレジスト膜の評価方法の検証 査読

    田嶋久義*, 佐々木　実

    第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム予稿集   P-1-10   250 - 253   2008年

    　詳細

    担当区分：最終著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress 査読

    Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

    Journal of Optics A: Pure and Applied Optics   10   044004 - 8   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device 査読

    T.Aonuma M1*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, M.Tabata 東北大学*, H.Hane .東北大学*

    Extended Abstracts of the 2008 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS,   932 - 933   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching 査読

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , KAZUHIRO HANE*

    First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications   143   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress 査読

    Minoru Sasaki, K. Hane*, D. Briand*, W. Noell*, N. de Rooij*

    Proceedings of The 15th International Display Workshops, MEMS3-4   1337 - 1340   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Nonlinear Rotational Spring with Tension for Stabilizing Electrostatically Driven Micromirror 査読

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , K. Hane*

    2008 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Organized Session: SA-2: Actuators   225 - 230   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device 査読

    Takuro Aonuma*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*

    Extended Abstracts of the 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tsukuba, 2008,,   ( D-7-3 )   932 - 933   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control 査読

    Takuro Aonuma*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*

    Proceedings of the 7th International Conference on Machine Automation (ICMA2008)   279 - 282   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall using Spray Coating and Angled Exposure Technologies 査読

    H. Morii*, F. Oohira*, Minoru Sasaki, T. Ochi*, A. Yuzuriha*

    Final Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conference Optical MEMS and Nanophotonics, P30   156 - 157   2008年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si 査読

    Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

    Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conference Optical MEMS and Nanophotonics, P12   120 - 121   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Micromirror Using Thin Film Torsion Bar with Crystallization-Induced Stress 査読

    Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima*, Hideo Miura*, Kazuhiro Hane*

    The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs   149 - 152   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • 機器のヘルスモニタリング用ＭＥＭＳセンサについての考察 査読

    佐々木　実, 熊谷　慎也, 青沼　拓朗*, 上野 明*, 徐 超男 産業技術総合研究所*

    電気学会研究会資料   53 - 57   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）   出版者・発行元：社団法人電気学会  

  • Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges 査読

    Minoru Sasaki, Satoshi Endou*, Kazuhiro Hane*

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌   128 ( 6 )   271 - 276   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates 査読

    Minoru Sasaki, Fuminori BONO*, Kazuhiro HANE*

    Japanese Journal of Applied Physics   47 ( 4 )   3226 - 3231   2008年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR 査読

    Minoru Sasaki, Motoki Tabata Tohoku University*, Kazuhiro Hane Tohoku University*

    Digest of Technical Papers,   2151 - 2154   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Micromirror Using Stretched Thin Film for Lower Electrostatic Driving Voltage and Higher Resonant Frequency 査読

    Minoru Sasaki

    Proceedings of The 14th International Display Workshops, MEMS5-1 Invited   1399 - 1402   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures 査読

    Vijay Kumar SINGH*, Minoru Sasaki, Kazuhiro HANE*

    Japanese Journal of Applied Physics.Part 1   46 ( 9B )   6449 - 6453   2007年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure 査読

    Hayato Izumi*, Yohei Matsumoto*, Seiji Aoyagi*, Yusaku Harada*, Shoso Shingubara.*, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane*, Hiroshi Tokunaga*

    電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌   128-E ( 3 )   102 - 107   2007年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（学術雑誌）  

  • Anodic Wafer Bonding Realizing Ball Lens Assembly for Absolute Micro-encoder 査読

    Minoru Sasaki, Fuki Nakai*, Kazuhiro Hane*

    Proceedings of 1st International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration   387 - 388   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress 査読

    Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

    Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, MC3   27 - 28   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Passivated Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror 査読

    Minoru Sasaki, Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*

    Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, ThB2   193 - 194   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates 査読

    Minoru Sasaki, Fuminori Bono*, Kazuhiro Hane*

    Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, ,   ( D-2-2 )   88 - 89   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror 査読

    Minoru Sasaki, Shinya Yuki*, Kazuhiro Hane*

    Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, ,   ( D-2-4 )   92 - 93   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Development of MEMS Capacitive Sensor USING a MOSFET Structure 査読

    Hayato Izumi*, Yohei Matsumoto*, Seiji Aoyagi*, Yusaku Harada*, Shoso Shingubara*, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane*, Hiroshi Tokunaga*

    Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007, Po-26   254 - 258   2007年

    　詳細

    掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

  • Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress 査読

    Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

    Proceedings of 2007 IEEE LEOS Annual Meeting Conference, ThC2   709 - 710   2007年

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）  

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MISC

  • 焦点深度の限界を超える潜像法による立体のフォトリソグラフィ加工 招待

    佐々木実

    光アライアンス   35 ( 1 )   42 - 46   2024年1月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）  

  • 立体サンプルの加工をフォトリソグラフィで可能にする潜像法

    佐々木実

    クリーンテクノロジー   ( 11 )   31 - 35   2023年11月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）  

  • 焦点深度の限界を超える立体への三次元フォトリソグラフィ 招待

    佐々木実

    光技術コンタクト   61 ( 5 )   10 - 16   2023年5月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   記述言語：日本語   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（商業誌、新聞、ウェブメディア）  

  • 令和５年度センサ・マイクロマシン部門　総合研究会報告

    佐々木実

    電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   143 ( 12 )   NL12_4 - NL12_9   2023年12月

    　詳細

    担当区分：責任著者   記述言語：日本語   掲載種別：会議報告等  

    DOI： https://doi.org/10.1541/ieejsmas.143.NL12_4

  • 三次元フォトリソグラフィ 査読

    佐々木　実

    機能材料   2021年12月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：シーエムシー出版  

  • 微細加工技術を用いた超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発における表面処理技術 査読

    元廣 友美*, 佐々木　実, 盧 柱亨*

    工業材料   ( 2 )   66 - 74   2020年2月

    　詳細

    掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：日刊工業新聞社  

  • MEMSデバイスを活用した光源および分光分析素子 査読

    佐々木　実

    オプトロニクス   ( 2 )   2016年2月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：オプトロニクス社  

  • 太陽電池とMEMS技術 査読

    佐々木　実

    電気学会論文誌E   133 ( 9 )   230 - 236   2013年9月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：電気学会  

  • 国際会議報告16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2011 査読

    佐々木　実

    電気学会論文誌E部門   131 ( 12 )   1   2011年12月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：電気学会  

  • レジストプロセスの基本 査読

    佐々木　実

    電気学会論文誌E   131 ( 1 )   2 - 7   2011年1月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：電気学会  

  • ２０１０年秋季 第71回応用物理学関係連合講演会 シンポジウム 「反応性プラズマの制御による先進プロセッシング～板谷良平先生追悼シンポジウム～」報告 査読

    佐々木　実

    応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会会報   ( 53 )   20 - 22   2010年12月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会  

  • 研究室だより　豊田工業大学工学部機械システム分野マイクロメカトロニクス研究室 査読

    佐々木　実

    電気学会論文誌E   130 ( 10 )   505   2010年10月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：電気学会  

  • 第５回分科内招待講演「プラズマが拓く新概念応用の可能性」 査読

    佐々木　実

    プラズマエレクトロニクス分科会会報   ( 52 )   47   2010年7月

    　詳細

    担当区分：筆頭著者   掲載種別：記事・総説・解説・論説等（その他）   出版者・発行元：プラズマエレクトロニクス分科会  

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書籍等出版物

  • Metal Surface Micromachining

    佐々木　実（ 範囲: Chapter 6）

    Wiley-VCH Verlag GmbH  2021年4月 

    　詳細

    著書種別：学術書

  • Micro and Nano Fabrication Technology

    佐々木　実（ 範囲: Silicon Etching for Multiple-Height Microstructures）

    Springer, New York, USA  2018年6月  （ ISBN:978-981-13-0097-4 ）

    　詳細

    担当ページ：903-924   著書種別：学術書

  • 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用

    佐々木　実（ 範囲: 第2編 第9章 エッチング技術, pp.70-76 分担 佐々木実 ）

    （株）シーエムシー出版  2012年11月 

    　詳細

    著書種別：学術書

  • アクチュエータ研究開発の最前線

    山本晃生*, 佐々木　実（ 範囲: 第1編 第1章 静電アクチュエータ、分担 山本晃生、佐々木実 ）

    株式会社エヌ・ティー・エス（2011.8.8初版第一版発行）  2011年8月 

    　詳細

    担当ページ：17-24   著書種別：学術書

  • Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs

    佐々木　実（ 範囲: Part III, Micro Actuators, 11. High-Performance Electrostatic Micromirrors）

    Springer  2010年1月 

    　詳細

    担当ページ：117-128   著書種別：学術書

  • マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

    佐々木　実, 他*（ 範囲: 第6章 ドライとウェットエッチングの組み合わせ pp.267-272）

    シーエムシー出版  2009年10月  （ ISBN:978-4-7813-0167-9 ）

    　詳細

    著書種別：学術書

  • MEMS/NEMS工学全集

    佐々木　実, 他*（ 範囲: 3. 3. 3 光励起エッチング pp.335-339 3. 6. 4 平面層状構造から製作する立体構造 pp.378-391 3. 11. 2 レジスト膜を利用した立体加工 pp.498-508 4. 1. 1変調、増幅、フィルタリング、復調 pp.511-515 5.27.1 マイクロ光学系 pp.783-792）

    テクノシステム  2009年4月  （ ISBN:978-4-9247-2859-2 ）

    　詳細

    著書種別：学術書

  • Service Robotics and Mechatronics

    Takuro Aonuma*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*（ 範囲: Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control ）

    Springer  2009年  （ ISBN:978-1-8488-2693-9 ）

    　詳細

    担当ページ：299-303   著書種別：学術書

  • Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs

    佐々木　実, 他*（ 範囲: Part III, Micro Actuators, 11. Minoru Sasaki High-Performance Electrostatic Micromirrors, ）

    Springer  2009年  （ ISBN:978-1-8488-2990-9 ）

    　詳細

    担当ページ：117-128   著書種別：学術書

  • 微細転写・加工技術全集

    佐々木　実, 他*（ 範囲: 第4章 第3 [3]節「MEMS用途フォトリソグラフィプロセス」）

    技術情報協会  2008年8月  （ ISBN:978-4-8610-4248-5 ）

    　詳細

    担当ページ：381-396   著書種別：学術書

  • 次世代センサハンドブック

    佐々木　実, 他*（ 範囲: 第10章　アクチュエータ 10.3 静電アクチュエータ）

    培風館  2008年7月  （ ISBN:978-4-5630-6768-7 ）

    　詳細

    担当ページ： 399-407   著書種別：学術書

  • 講座ちょっとMEMS 第7回　アセンブリを支援するＭＥＭＳ構造（エレクトロニクス実装学会誌　第11巻第2号）

    佐々木　実, 羽根一博 東北大学*（ 範囲: エレクトロニクス実装学会誌Vol. 11, No. 2, Feb. 2008, PP.164-167）

    エレクトロニクス実装学会  2008年2月 

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    著書種別：学術書

  • 講座ちょっとMEMS 第6回　MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み（エレクトロニクス実装学会誌　第11巻第1号）

    佐々木　実, 羽根一博 東北大学*（ 範囲: エレクトロニクス実装学会誌Vol. 11, No. 1, Jan. 2008, PP.100-103）

    エレクトロニクス実装学会  2008年1月 

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    著書種別：学術書

  • 国際会議報告IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2007

    佐々木　実（ 範囲: 電気学会論文誌E, Vol.128, No.1 (2008) p.26）

    電気学会  2008年1月 

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    著書種別：学術書

  • Comprehensive Microsystems : Fundamentals,technology and applications

    Kazuhiro Hane*, Minoru Sasaki（ 範囲: 3.01 Optical systems: Micro-mirrors (Volume Three, PP.1-63)）

    Elsevier Science  2007年12月  （ ISBN:978-0-4445-2194-1 ）

    　詳細

    著書種別：学術書

  • MEMSマテリアルの最新技術

    佐々木　実（ 範囲: 第2章 MEMSの製作　1. レジスト塗布・露光技術 PP.84-93）

    シーエムシー出版  2007年11月  （ ISBN:978-4-8823-1968-9 ）

    　詳細

    著書種別：学術書

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講演・口頭発表等

  • Antibacterial micro-texture on roll surface for mass production 国際会議

    Taku Onda, Shinya Kumagai, Shigenori Saito, Minoru Sasaki

    16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 17th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Nagoya )   2024年3月 

    　詳細

    開催年月日： 2024年3月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Isolated Voltage Sensor Using Tuning Fork Resonator 国際会議

    Y. Usui, S. Kumagai, M. Sasaki

    44th International Symposium on Dry Process  ( Nagoya )   2023年11月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年11月

    会議種別：ポスター発表  

  • フォトリソグラフィと組み合わせるマイクロテクスチュア付き金型の創成技術 招待

    佐々木実

    第352回塑性加工シンポジウム 「トライボロジー技術と型表面微細テクスチャリング技術の最新動向」日本塑性加工学会（実行：東海支部）  ( 名古屋工業大学 )   2023年10月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年10月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • FLEXIBLE THERMOPILE-TYPE WARMTH SENSOR 国際会議

    Minoru Sasaki, Yoshiyuki Hata, Yae Ito

    The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems  ( Kyoto )   2023年6月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年6月

    会議種別：ポスター発表  

  • Respiration Sensor Measuring Capacitance Built Across Skin and Fine Patterning Technique on Flexible Film 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference  ( Tokushima )   2022年11月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Rounding MEMS nozzle corner for trapping pollens as microarray 国際会議

    Qingyang Liu, Hiromasa Tanaka, Minoru Sasaki

    16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 17th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Nagoya )   2024年3月 

    　詳細

    開催年月日： 2024年3月

    会議種別：ポスター発表  

  • Bipolar driving for accurate displacement control of electrostatic microactuator 国際会議

    Binchun Tsai, Kenzo Yamaguchi, Kuang-Jau Fann, Minoru Sasaki

    16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 17th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Nagoya )   2024年3月 

    　詳細

    開催年月日： 2024年3月

    会議種別：ポスター発表  

  • 花粉細胞アレイの同時培地固定

    杉山祥子, 劉慶陽, 韓剛, 佐々木実

    第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 熊本 )   2023年11月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年11月

    会議種別：ポスター発表  

  • 静電アクチュエータのための狭ギャップ構造形成

    片山徹哉, 斉藤誠法, 佐々木実

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023年6月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年6月 - 2023年7月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • リチウムイオン電池向けポーラス微細構造付きSi負極

    時吉純平, 原正則, 吉村雅満, 斉藤誠法, 佐々木実

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023年6月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年6月 - 2023年7月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 凹曲面への微細パターン転写における位置合わせと歪抑制

    久木野陽充, 斉藤誠法, 佐々木実

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023年6月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年6月 - 2023年7月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロール

    井坂太聞, 斉藤誠法, 佐々木実

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023年6月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年6月 - 2023年7月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 金型を目指したレンズ曲面への微細パターン転写とエッチング加工

    黒柳貴之、斉藤誠法、佐々木実

    2023年度塑性加工春季講演会テーマセッション1－Ⅱ【306】  ( 名古屋工業大学 )   2023年6月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年6月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 三次元フォトリソグラフィによる円筒面への微細抗菌パターン形成と圧延転写 招待

    恩田拓、熊谷慎也、斉藤誠法、佐々木実

    2023年度塑性加工春季講演会テーマセッション1－Ⅱ【307】  ( 名古屋工業大学 )   2023年6月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年6月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS nozzle for capturing lily pollen in array and fixing on culture media 国際会議

    Sachiko Sugiyama, Gang Han, Takayoshi Tsutsumi, Hiromasa Tanaka, Minoru Sasaki

    15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 16th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Gifu )   2023年3月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年3月

    会議種別：ポスター発表  

  • Deep micro-textured die realized by mutiple-patterning and etching for press-transferring water-repellent function to the fin of the heat exchanger 国際会議

    Seiya Fujita, Gang Han, Shigenori Saito, Minoru Sasaki

    15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 16th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Gifu )   2023年3月 

    　詳細

    開催年月日： 2023年3月

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • シリコン貫通格子の細線化 国際会議

    久野友滉*, Han Gang, 佐々木　実

    第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 14P4-D-3  ( 徳島 )   2022年11月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 三次元フォトリソグラフィ加工技術の話題提供 #1 国際会議

    佐々木　実

    「三次元リソグラフィと精密加工技術の融合」研究会  ( on line )   2022年7月  公益財団法人 科学技術交流財団

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • レジスト膜接合による曲⾯３次元リソグラフィの研究現況 国際会議

    佐々木　実

    電子実装工学研究所 接合界面創成技術研究会 第39回研究会  ( 名古屋およびオンライン )   2022年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 正・逆熱電効果を利⽤した薄膜デバイス 国際会議

    伊東⼋重*, 佐々木　実

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-22-043, pp.93-96  ( 金沢 )   2022年6月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • ⾚外線レンズ⽤モスアイ微細構造付き凹曲⾯⾦型 国際会議

    阪井拓*, 佐々木　実

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-22-028, pp.13-18  ( 金沢 )   2022年6月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 翼用リブレット形成のためのプレス金型曲面の微細加工 ―三次元フォトリソグラフィによる曲面加工― 国際会議

    池ヶ谷巧*, 佐々木　実

    2022年度塑性加工春季講演会[511] pp.183-184  ( on line )   2022年6月  日本塑性加工学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Solid Lubricant Film on Deep Micro-textured Die to Transfer Pyramidal Structure on Metal Element for Generating Lotus Effect 国際会議

    G. Han*, S. Fujita*, M. Watanabe*, Minoru Sasaki

    10th Asia-Pacific Conf. Transducers and Micro-Nano Technology, A0131, pp.51-52  ( on line )   2022年5月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Transferring Fine Pattern to Pipe Inner Wall for Reducing Flow Resistance 国際会議

    Masafumi Miyake*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

    10th Asia-Pacific Conf. Transducers and Micro-Nano Technology, A0148  ( on line )   2022年5月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 電力管理のための絶縁型MEMSリング電圧センサ 国際会議

    佐々木　実

    令和4年電気学会全国大会  ( オンライン )   2022年3月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Deposition of PFCs Films on Die with Microstructures using CF4 Gas 国際会議

    Gang Han*, Masaya Watanabe*, Seiya Fujita*, Minoru Sasaki

    14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials(ISPlasma2022)/ 15th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science(IC-PLANT2022)  ( Online )   2022年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 皮膚の性質を利用したウェアラブル呼吸センサと、曲面・立体への微細加工 招待 国際会議

    佐々木　実

    第34回マルチモーダルバイオイメージセンサ研究会  ( on line )   2021年11月  科学技術交流財団

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Fine Grating on Thin Metal Wire or Foil Filament for Controlling Its Thermal Radiation 国際会議

    Yuta Yamada*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

    The 13th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT2021) and The 3rd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity (APSTP2021)  ( Online )   2021年11月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Uniform resist film on chip substrate prepared by bonding film coated on sheet 国際会議

    Tomoya Onuki*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

    2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration  ( on line )   2021年10月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 超電導電力貯蔵装置を小型化するための100m超かつ平滑な渦巻溝形成 国際会議

    盧柱亨*, 高井治*, 元廣友美*, 佐々木　実

    令和3年度E部門総合研究会  ( オンライン )   2021年7月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • FINE PATTERNING ON 3D SAMPLE WITH CURVATURE AND DEPTH USING RESIST SHEET WITH LATENT IMAGE 国際会議

    Takayuki Kuroyanagi*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

    The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems  ( on line )   2021年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • LITHOGRAPHY ON NON-FLAT 3-D SURFACE 招待 国際会議

    佐々木　実

    The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Short Course 1: Key Technologies Available in Nanofabrication Centers Worldwide SC1-1T5  ( Online )   2021年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 国際会議

    山田雄大*, 佐々木　実

    2021年度塑性加工春季講演会  ( オンライン )   2021年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Respiration Sensing Measuring Capacitance Built Across Skin Stabilized Against Twisting Motion While Walking 国際会議

    Momoko Karita*, Shinya Kumagai 名城大学**, Minoru Sasaki

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Design of removal process of SnO2 on glass by H2/Ar plasma at atmospheric pressure and medium pressure 国際会議

    Thi-Thuy-Nga Nguyen 名古屋大学**, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi 名古屋大学**, Kenji Ishikawa 名古屋大学**, Masaru Hori 名古屋大学**

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Additional pattern etching of microtextured die for higher aspect ratio 国際会議

    Seiya Fujita*, Minoru Sasaki

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Microtextured Die Using Silicon Stencil Mask for Antibacterial Effect 国際会議

    Gang Han*, Minoru Sasaki

    13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • ウェアラブル呼気センサ 招待 国際会議

    佐々木　実

    第２ 回「新産業創出に向けたマイクロセンサデバイス 」 研究会  ( on line )   2020年12月  （公財） 科学技術交流財団　研究会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Respiration Sensor Sewn Inside Belly Band Measuring Capacitance Built Across Skin Allowing Walking Activity 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    31st IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science  ( on line )   2020年12月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Interactions of floating-wire-assisted atmospheric-pressure H2/Ar plasma with SnO2 film on glass substrate forming spherical Sn particles 国際会議

    Thi-Thuy-Nga Nguyen 名古屋大学**, Minoru Sasaki, Hidefumi Odaka AGC株式会社**, Takayoshi Tsutsumi 名古屋大学**, Kenji Ishikawa 名古屋大学**, Masaru Hori 名古屋大学**

    73rd Annual Gaseous Electronics Virtual Conference  ( Online )   2020年10月  American Physical Society

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • マイクロマシン・センサシステム技術委員会の活動について 国際会議

    佐々木　実

    令和2年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  ( Online )   2020年9月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    企画セッション：スマート社会・ライフサイエンス応用に向けたセンサ・マイクロマシンの研究動向
    1-A-p1-1

  • フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作 国際会議

    山田雄大*, 佐々木　実

    令和2年度E部門総合研究会  ( Online )   2020年7月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • マイクロテクスチャ付き金型を利用した熱交換器フィン材への超撥水構造形成 国際会議

    藤田聖也*, 佐々木　実

    令和2年度E部門総合研究会  ( Online )   2020年7月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • フォトリソグラフィ一括加工した微細パターン付き圧延ロールによるアルミ板の表面処理 国際会議

    弓削英翔*, 鈴木大瑛*, 佐々木　実

    令和２年電気学会全国大会  ( 予稿集のみ )   2020年3月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Microtextured die for forming super water-repellent structure 国際会議

    Seiya Fujita*, Minoru Sasaki

    International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya )   2020年3月  The Japan Society of Applied Physics

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR 国際会議

    Masaki Okamoto*, Tomoya Hatagaki **, Shinya Kumagai **, Minoru Sasaki

    International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya )   2020年3月  The Japan Society of Applied Physics

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工 招待 国際会議

    佐々木　実

    2019 年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム  ( 東京大学　武田先端知ビル )   2020年3月  微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • マイクロヒータを用いた波長選択赤外光源 国際会議

    纐纈真一*, Chang Yen-Wei*, 矢作秀賀*, 佐々木　実

    第17回赤外放射応用関連学会年会  ( 東京工科大学 蒲田キャンパス )   2020年1月  (一社)日本赤外線学会 ／ (一社)映像情報メディア学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • CELL TRAPPING AND MECHANICAL STIMULATION IN MICROFLUIDIC SENSOR COMBINED WITH OPTICAL FIBER COMPONENTS 国際会議

    Motohide Yoshimi **, Shinya Kumagai **, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    The 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)  ( Canada )   2020年1月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Estimatin of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Stacks of Si-wafers Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches formed by MEMS Process under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density 国際会議

    Tomoyoshi Motohiro **, Minoru Sasaki, Joo-Hyong Noh **, Osamu Takai **, Hideo Honma **

    The 32nd International Symposium on Superconductivity (ISS 2019)  ( Kyoto )   2019年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS-Approaches for Controlling Infrared Thermal Energy in Light Source and Detector 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2019)  ( Phan Thiet, Vietnam )   2019年11月  Institute for Nanotechnology, Vietnam National University - Ho Chi Minh City

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • MEMS-BASED INFRARED LIGHT SOURCE AND DETECTOR 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    3rd International Conference on Photonics Research (Inter Optics 2019)  ( Antalya, Turkey )   2019年11月  Kocaeli University, Laser Technologies Research and Application Center (LATARUM)

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • フォトリソグラフィ加工を用いたアルミ表面加工のための圧延ロール面への微細パターン転写 国際会議

    弓削英翔*, 鈴木大瑛*, 佐々木　実

    第70回塑性加工連合講演会  ( 日本大学 生産工学部 津田沼キャンパス )   2019年10月  一般社団法人日本塑性加工学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 微細加工した圧延ロールによるアルミ材の艶消しパターン転写 国際会議

    弓削英翔*, 鈴木大瑛*, 佐々木　実

    第80回応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大学　札幌キャンパス )   2019年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Wearable Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin Allowing Walking Motion 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    2019 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)  ( Nagoya )   2019年9月  The Japan Society of Applied Physics

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 容量計測型ウェアラブル呼吸センサと無線計測 国際会議

    寺澤槙恵 **, Subrata Kumar Kundu **, 熊谷慎也 **, 佐々木　実

    マイクロマシン・センサシステム／バイオ・マイクロシステム合同研究会   ( 機械振興会館 )   2019年8月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Photolithography fine patterning on mold surface for the metal scale of rotary encoder 国際会議

    Yuta Yamada*, Jiwang Yan **, Minoru Sasaki

    The 12th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT 2019)  ( Tokyo Big Sight Conference Tower, Japan )   2019年8月  日本塑性加工学会と中国、韓国、台湾の学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 金型曲面のフォトリソグラフィ微細加工 招待 国際会議

    佐々木　実

    (公財)金型技術振興財団　令和元年度　研究成果発表会（第１９回）  ( ホテルスプリングス幕張 )   2019年7月  (公財)金型技術振興財団

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 国際会議

    山田雄大*, 閻紀旺 **, 佐々木　実

    電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 東京工業大学すずかけ台キャンパス )   2019年7月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • SOLATED VOLTAGE SENSOR USING RING RESONATOR FOR BATTERY POWER MANAGEMENT 国際会議

    Naoki Nobunaga*, Shinya Kumagai*, Katsuya Masuno*, Hiroki Ishihara*, Makoto Ishii*, Minoru Sasaki

    The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019)  ( Berlin, Germany )   2019年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage 国際会議

    Minoru Sasaki, Y. Suzuki*, T. Hioki*, T. Motohiro*

    6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)  ( Kanazawa )   2019年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Over 100m Length Single Spiral Silicon Micro-Trench with 3-Step Smooth Sidewalls to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage 国際会議

    Minoru Sasaki, Y. Suzuki*, K. Adachi*, T. Hioki*, T. Motohiro*

    International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( 名古屋 )   2019年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Floating-wire-assisted atmospheric pressure plasma for high-speed and large-area glass treatment 国際会議

    T.-T.-N. Nguyen*, Minoru Sasaki, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

    International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( 名古屋 )   2019年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 波長選択赤外光源用マイクロヒータ 国際会議

    Y.-W. Chang*, 矢作秀賀*, H. M. Nguyen*, 佐々木　実

    電気学会全国大会  ( 北海道 )   2019年3月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 絶縁に適した静電駆動型MEMS電圧センサ 国際会議

    グエン ハイ ミン, 延永尚記*, 桝野雄矢*, 杉山洋貴*, 石居真*, 佐々木　実

    電気学会研究会 交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム 合同研究会  ( 名古屋 )   2019年2月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR 国際会議

    M. Okamoto*, T. Hatagaki*, S. Kumagai*, Minoru Sasaki

    The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2019)  ( 韓国 )   2019年1月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Grating Fabrication for Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton 国際会議

    S. Yahagi*, グエン ハイ ミン, S. Kumagai*, Minoru Sasaki

    The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)  ( 名古屋 )   2018年11月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Floating-Wire-Assisted Remote Generation of High-Density Atmospheric Pressure Inductively Coupled Plasma 国際会議

    T.-T.-N. Nguyen*, Minoru Sasaki, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

    The 71st Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2018)  ( Portland, USA )   2018年11月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Etching of glass by floating-wire assisted atmospheric pressure plasma 国際会議

    T.-T.-N. Nguyen*, Minoru Sasaki, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

    応用物理学会秋季学術講演会  ( 名古屋 )   2018年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 静電動作ねじり振動型非冷却赤外線センサ 国際会議

    畠垣知弥*, 熊谷慎也*, 佐々木　実

    応用物理学会秋季学術講演会  ( 名古屋 )   2018年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Optofluidic Device for Measuring Cell Response Against Mechanical Stimulation 国際会議

    M. Yoshimi*, S. Kumagai*, Y. Ohishi*, Minoru Sasaki

    2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018)  ( 東京 )   2018年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Wavelength Selective Plasmonic Grating for CO2 Gas Sensing Based on Nondispersive Infrared 国際会議

    S. Yahagi*, S. Kumagai*, K. Masuno*, M. Ishii*, Minoru Sasaki

    2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018)  ( 東京 )   2018年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 熱輻射を制御する表面機能付き金属細線ヒータの製作 国際会議

    山田雄大*, 佐々木　実

    マイクロマシン・センサシステム研究会  ( 奈良 )   2018年7月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for Gas Sensing 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2018)  ( Singapore )   2018年4月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサ 招待 国際会議

    佐々木　実

    第65回 応用物理学会春季学術講演会　特別シンポジウム  ( 早稲田大学⻄早稲田キャンパス )   2018年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 大気圧プラズマジェットによって生成されるOHラジカルの液体中での可視化 国際会議

    石川孝一*, 佐々木　実, 熊谷　慎也

    第65回応用物理学会春季学術講演会  ( 早稲田大学 )   2018年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 触覚熱流センサのための薄膜サーミスタ作製 国際会議

    菅沼雄介 **, 大橋祐也 **, 佐々木　実, 野々村裕 **

    平成30年 電気学会全国大会  ( 九州大学伊都キャンパス )   2018年3月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    予稿集 3-147 (2018.3.14-16) p.223

  • Measurement of Plasma-Generated Reactive Oxygen/Nitrogen Species in Liquid Delivered via a Microthrough-hole 国際会議

    Jun-Seok Oh **, Koichi Ishikawa*, Minoru Sasaki, Masafumi Ito **, Shinya Kumagai

    2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2)  ( 名城大学 )   2018年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Localized Plasma Treatment of Biological Sample Using MEMS Nozzle Device 国際会議

    Yuto Nakayama*, Ryutaro Shimane*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

    2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2)  ( 名城大学 )   2018年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Processing thin-film membrane and dry etching release of torsional resonator for uncooled infrared sensor 国際会議

    Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

    ISPlasma2018/IC-PLANTS2018  ( 名城大学 )   2018年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Visualization of plasma-generated reactive species delivered in liquid via a micro through-hole 国際会議

    Koichi Ishikawa*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

    ISPlasma2018/IC-PLANTS2018  ( 名城大学 )   2018年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Plasma-on-Chip: single-cell analysis using a non-thermal atmospheric pressure plasma 国際会議

    Shinya Kumagai, Mime Kobayashi **, Tetsuji Shimizu **, Minoru Sasaki

    The first International Workpshop by the 174th Committee JSPS "Symbiosis of Biology and Nanodevice"  ( 名城大学 )   2017年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS技術（曲面への反射防止微細パターン転写、他） 招待 国際会議

    佐々木　実

    第７回　可視赤外線観測装置技術ワークショップ  ( 京都大学　北部キャンパス　益川ホール )   2017年11月  国立天文台研究集会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Fabrication of Trench Having Smooth Sidewall at Nano-level 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA)  ( Phan Thiet, Vietnam )   2017年11月  Institute for Nanotechnology, Vietnam National University - Ho Chi Minh City

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 超電導電力貯蔵装置を小型化するための 渦巻溝形成と壁面の低スキャロップ化 国際会議

    許 哲瑋*, 熊谷　慎也, 佐々木　実, 鈴木 康広 **, 日置 辰視 **, 元廣 友美 **, 盧 柱亨 **, 高井 治 **

    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 広島県広島市 広島国際会議場 )   2017年11月  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 細胞サンプル搬送機能を持つプラズマ処理デバイス 国際会議

    柄﨑克樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第78回応用物理学会春季学術講演会  ( 福岡 )   2017年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • （Ｅ部門）-日本・台湾国際交流シンポジウムを中心として- 国際会議

    佐々木　実

    電気学会全国大会シンポジウム H3 学会の国際化に向けたビジョンと取り組み  ( 富山 )   2017年3月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • ウェアラブルセンサによる着席状態での呼吸計測 国際会議

    Kundu Suburata マイクロメカトロニクス*, 寺澤 槙恵 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第64回春季応用物理学学術講演会  ( パシフィコ横浜 )   2017年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Analyzing Activities of L929 Cells Irradiated with An Atmospheric Pressure Plasma 国際会議

    Shinya Kojima マイクロメカトロニクス*, Mime Kobayashi **, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    第64回春季応用物理学学術講演会  ( 横浜 )   2017年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Multi-Stepped Silicon Micro-Trenches with Smooth Sidewalls to Deposite Superconducting Material for Magnetic Energy Storage 国際会議

    シュ　ジャウェイ, Shinya Kumagai, Yasuhiro Suzuki Nagoya University*, Tatsumi Hioki Nagoya University*, Tomohiro Motoyoshi Nagoya University*, Minoru Sasaki

    ISPlasma2017/IC-PLANTS2017  ( 中部大学 )   2017年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Analysis of Plasma-Generated Reactive Species in Liquid 国際会議

    Yusuke Nakanishi*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    ISPlasma2017/IC-PLANTS2017  ( Chubu University )   2017年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • BIPOLAR ELECTROSTATIC DRIVING FOR HIGH-RESOLUTION ISOLATED BATTERY VOLTAGE SENSOR 国際会議

    Minoru Sasaki, Naoki Nobunaga マイクロメカトロニクス*, Hiroki Ishihara Yazaki Corporation*, Makoto Ishii Yazaki Corporation*, Shinya Kumagai

    The 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems  ( Las Vegas, USA )   2017年1月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 3次元フォトリソグラフィ（マイクロコイル形成などへの応用） 国際会議

    佐々木　実

    第４回日本磁気学会超高感度マイクロ磁気センサ専門研究会  ( 名古屋ビジネス・インキュベータ nabi / 白金 )   2016年11月  日本磁気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    第４回日本磁気学会超高感度マイクロ磁気センサ専門研究会テキスト pp.22-26

  • Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (III) 国際会議

    Y. Suzuki*, N. Iguchi*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki**, Tomoyoshi Motohiro, N. Sugimoto**, シュ　ジャウェイ, R. Sato**, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa**

    1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan   ( Kanazawa,Japan )   2016年11月  日本低温・超伝導学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (IV) 国際会議

    N. Iguchi*, Y. Suzuki*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki**, Tomoyoshi Motohiro, N. Sugimoto**, シュ　ジャウェイ, R. Sato**, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa**

    1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan   ( Kanazawa,Japan )   2016年11月  日本低温・超伝導学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 皮膚を介して形成される容量に基づくウェアラブル呼吸センサ 国際会議

    佐々木　実

    応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会  ( 東京理科大学 森戸記念館 )   2016年11月  応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化 国際会議

    佐々木　実, 和田祐樹 マイクロメカトロニクス*, 延永尚記 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 石原裕己 矢崎総業*, 石居真 矢崎総業*

    第8回集積化MEMSシンポジウム  ( 平戸市、長崎県 )   2016年10月  応用物理学会集積化MEMS研究会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Stepped Micro-trenches Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing 国際会議

    佐々木　実, シュ　ジャウェイ, 佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    第 33 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 平戸市、長崎県 )   2016年10月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Si Micro-Optical-Bench Combining with Fiber and Flow Channel for Absorption Spectroscopy of Cells in Suspension 国際会議

    Minoru Sasaki, M. Yoshimi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Yasutake Ohishi

    International Conference on Solid State Devices and Materials  ( 筑波 )   2016年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • フォトリソグラフィとUVキュア処理によるナノギャップ電極アレイ形成 国際会議

    粂内 真子 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 趙 亨峻 名古屋大学*, 近藤 博基 名古屋大学*, 石川 健治 名古屋大学*, 堀 勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  ( 新潟 )   2016年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Plasma-on-Chip Device: Plasma Treatment for Cells in Microwells 国際会議

    Shinya Kumagai, Tomohiro Okada マイクロメカトロニクス*, Koichi Ishikawa マイクロメカトロニクス*, Mime Kobayashi Nara Institute of Science and Technology*, Tetsuji Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki

    KJF-ICOMEP 2016  ( ACROS Fukuoka, Fukuoka )   2016年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • A micro plasma chip using dielectric barrier discharge 国際会議

    Tomohiro Okada*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( National University of Singapore, Singapore )   2016年8月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Silicon MEMS for Two Different Light Sources 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Singapore )   2016年8月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 3D devices realized by photolithography using spray coating of photoresist 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    2016 Collaborative Conference on 3D & Materials Research  ( Incheon, Korea )   2016年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Activating Biological Reactions with A Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma 国際会議

    Yuto Nakayama マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Hiroshi Hashizume Nagoya University*, Takayuki Ohta Meijo University*, Masafumi Ito Meijo University*, Masaru Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

    IEEE-NEMS2016  ( Matsushima, Sendai, Japan )   2016年4月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Effect of Grating Profile on the Infrared Wavelength Coupled with Surface Plasmon Polariton 国際会議

    Shuga Yahagi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

    IEEE-NEMS2016  ( Matsushima, Sendai, Japan )   2016年4月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 容量計測型呼吸センサにおける電極配置と信号の安定化 国際会議

    佐々木　実, 寺澤槙恵 マイクロメカトロニクス*, 苅田桃子 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    第63回　応用物理学会　春季学術講演会  ( 東京工業大学 )   2016年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    21p-P17-16

  • Meacurement of Reactive Species for the Development of Plasma-on-Chip 国際会議

    J.-S. Oh Kochi Univeristy of Technology*, S. Kojima Micromechatronics*, A. Hatta Kochi Univesity of Technology*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    第63回応用物理学会春季学術講演会  ( 東京工業大学　大岡山キャンパス )   2016年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Plasma-on-Chip: Evidence of Reactive Species Through Through-holes 国際会議

    J.-S. Oh Kochi University of Technology*, S. Kojima Micromechatronics*, A. Hatta Kochi University of Technology*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    ISPlasma2016/IC-PLANTS2016  ( Nagoya University, Japan )   2016年3月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Plasma-on-chip device for analyzing interactions between plasma gas and individual cells 国際会議

    C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies 2015  ( Honolulu, HI, USA )   2015年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Membrane-Type Microheater for Wavelength Selective Infrared Emitter and CO2 gas Sensing 国際会議

    Minoru Sasaki, Hiroki Ishihara Yazaki Corp.*, Katsuya Masuno Yazaki Corp.*, Makoto Ishii Yazaki Corp.*, Shinya Kumagai

    International Display Workshops '15  ( 大津 )   2015年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    Proceedings of the International Display Workshops Volume 22, MEET3-2, 1226-1229.

  • Unconstrained Wearable Respiratory Sensor Across Skin 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    The 9th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2015)  ( 静岡大学、浜松 )   2015年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Wavelength Selective IR Emitter Using MEMS Microheater for CO2 Monitoring 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    The 5th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2015)  ( Vung Tau, Vietnam )   2015年11月  Vietnam National University Ho Chi Minh City

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 密着型呼吸センサ 国際会議

    佐々木　実, 寺澤槙恵 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  ( 新潟 )   2015年10月  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    健康診断・ヘルスケアのためのマイクロシステム応用-II【電気・機械学会合同】
    30pm1-C-5.

  • フォトリソグラフィと UV キュア処理によるナノギャップ電極形成 国際会議

    佐々木　実, 粂内真子 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 趙享峻 名古屋大学*, 今井駿 名古屋大学*, 近藤博基 名古屋大学*, 石川健治 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*

    第 32 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 新潟 )   2015年10月  平成 27 年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    30am2-PS-006

  • Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin 国際会議

    Minoru Sasaki, M. Terasawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    2015 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( 北海道 )   2015年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    F-7-5,（2015.9.30）pp.858-859.

  • Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application 国際会議

    Minoru Sasaki, Y. Nakayama マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, H. Hashizume Nagoya Univ.*, T. Ohta Meijo Univ.*, M. Ito Meijo Univ.*, M. Hori Nagoya Univ.*

    2015 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( 北海道 )   2015年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    PS-11-2 2015.9.29）pp.376-377.

  • Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application 国際会議

    Y. Nakayama Micromechatronics*, Shinya Kumagai, H. Hashizume Nagoya University*, T. Ohta Meijo University*, M. Ito Meijo University*, M. Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

    2016 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Sapporo Convention Center )   2015年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Resonant Floating Electrode in Inductively Coupled Micro-Plasma Source for Power Efficiency 国際会議

    Minoru Sasaki, K. Tsukasaki マイクロメカトロニクス*, D. Yasumatsu マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Takeda Nagoya Univ.*, M. Hori Nagoya Univ.*

    The 10th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering  ( Jeju Island, Korea )   2015年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    Proc. the 10th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering, 22amB[5]

  • 微細パターン形成のためのフォトレジストのUVキュア処理 国際会議

    佐々木　実, 岩本拓也 マイクロメカトロニク*, 熊谷　慎也

    電気学会マイクロマシン・センサシステム技術委員会 研究会  ( 立命館大学, 大阪 )   2015年9月  ナノスケール現象の MEMS 応用に関する調査専門委員会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    MSS-15-036.

  • ギャップクロージング型電極を利用した絶縁型電圧センサ 国際会議

    佐々木　実, 延永尚記 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 石原裕己 矢崎総業*, 石居真 矢崎総業*

    第76回 応用物理学会 秋季学術講演会  ( 名古屋 )   2015年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    14a-1C-5

  • Plasma-on-Chip for Treatment of Individual Cells Cultured in Medium 国際会議

    C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  ( 名古屋国際会議場 )   2015年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Irradiating Cells Cultured in Microwells with Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma 国際会議

    Shinya Kumagai, C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki

    The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)  ( Jeju, Korea )   2015年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices 招待 国際会議

    Shinya Kumagai, I. Yamashita NAIST*, Y. Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

    15th International Meeting on Information Display  ( Daegu, Korea )   2015年8月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 研究者・技術者のためのE部門の活用方法を考えよう 招待 国際会議

    佐々木　実

    平成27年　電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　20周年企画　パネルディスカッション  ( 九州大学医学部百年講堂 )   2015年7月  平成27年　電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 次世代天文学観測装置用の新しい高分散回折格子 国際会議

    佐々木　実, 海老塚昇 理化学研究所*, 岡本隆之 理化学研究所*, 森田晋也 理化学研究所*, 山形豊 理化学研究所*, 魚本幸 東北大学*, 橋本信幸 シチズンホールディングス（株）*, 桐野宙治 （株）クリスタル光学開発部*, 尾崎忍夫 国立天文台TMT推進室*, 青木和光 国立天文台TMT推進室*

    第40回光学シンポジウム  ( 東京大学　生産技術研究所 )   2015年6月  一般社団法人　日本光学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • POWER EFFICIENT MICROHEATER FOR WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMITTER AND CO2 GAS SENSING 国際会議

    Minoru Sasaki, H. Ishihara Yazaki Corp.*, K. Masuno Yazaki Corp.*, M. Ishii Yazaki Corp.*, Shinya Kumagai

    The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)  ( Anchorage, Alaska, USA )   2015年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    T1B.003, pp.200-203.

  • Characterization of Vibration-type Infrared Thermal Detector on Temperature, Light, and Thermal Infrared 国際会議

    ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita*, Yukiharu Uraoka*, Minoru Sasaki

    18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2015  ( Dena'ina Convention Center, 600 West 7th Avenue Anchorage, Alaska 99501, USA )   2015年6月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Collecting biological samples for accurate optical absorption spectroscopy 国際会議

    Y. Matsuura Micromechatronics*, Shinya Kumagai, ディンハン　デン, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

    Eighth International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE8)  ( Funabori, Tokyo, Japan )   2015年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • IRRADIATING LOW-TEMPERATURE ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA TO CELLS USING MEMS NOZZLE 国際会議

    Y. Nakayama Micromechatronics*, R. Shimane Micromechatronics*, Shinya Kumagai, H. Hashizume Nagoya University*, T. Ohta Meijo Univeristy*, M. Ito Meijo University*, M. Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

    Transducers 2015  ( Anchorage, Alaska, USA )   2015年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 運動時の呼吸リズム観察への新しい呼吸モニターの応用 国際会議

    佐々木　実, 齊藤満 愛知学院大学*, 水藤弘吏 愛知学院大学*

    第18回日本体力医学会東海地方会学術集会  ( あいち健康の森健康科学総合センター )   2015年3月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 室内CO2モニタリングのための波長選択赤外光源 国際会議

    佐々木　実, 熊谷　慎也

    第62回　応用物理学会　春季学術講演会  ( 東海大学 )   2015年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 容量計測型呼吸センサのための衣服組み込み電極 国際会議

    佐々木　実, 寺澤槙恵 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    第62回　応用物理学会　春季学術講演会  ( 東海大学 )   2015年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • THERMOCOUPLES ON TRENCH SIDEWALL IN CHANNEL FRONTING ON FLOWING MATERIAL 国際会議

    Minoru Sasaki, Masahiro Shibata マイクロメカトロニクス*, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2015)  ( Estoril, Portugal )   2015年1月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS Plasma Source and Combinations with Microfluidic Functions 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    International Conference on Small Science (ICSS 2014)   ( 香港 )   2014年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Resonator-Type Infrared Detector Released by Plasmaless Sacrificial Si Etching
 国際会議

    Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, S. Tajima 名古屋大学*, T. Hayashi 名古屋大学*, K. Yamakawa 片桐エンジニアリング*

    International Display Workshops Volume 21  ( 新潟 )   2014年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 3D processing using resist spray coating or microplasma nozzle 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    The 8th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2014)  ( 浜松 )   2014年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 逆テーパをもつバイアススプリングによる光ファイバ固定とマイクロ流路デバイス中でのスペクトル測定 国際会議

    佐々木　実, 飯村ひかる マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, 熊谷　慎也, 大石　泰丈

    第6回集積化MEMSシンポジウム  ( 松江 )   2014年10月  応用物理学会　集積化MEMS研究会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 容量計測による衣服型呼吸センサ 国際会議

    佐々木　実, クンドウ スブラタ クマル マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 松江 )   2014年10月  電気学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(II) 国際会議

    佐々木　実, 田嶋聡美 名古屋大学*, 林俊雄 名古屋大学*, 石川健治 名古屋大学*, 関根誠 名古屋大学*, 山川晃司 片桐エンジニアリング*, 堀勝 名古屋大学*

    第75回 応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大学 )   2014年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 次世代天文学観測装置用の新しい回折格子 国際会議

    佐々木　実, 海老塚昇　ら 理化学研究所*

    精密工学会秋季大会学術講演会  ( 鳥取大学 )   2014年9月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 壁面に熱電対を配置したマイクロ流路デバイス 国際会議

    佐々木　実, 柴田真宏 マイクロメカトロニクス*, 山口貴大 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    第75回 応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大学 )   2014年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 国際会議

    佐々木　実, 柄崎克樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    第75回 応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大 )   2014年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • A Micro-Machined IR Thermal Detector Using Torsional Oscillation: Improvement of Resonator Profile for High Sensitivity 国際会議

    ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita NAIST*, Yukiharu Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

    2014 International Conference on Solid Stae Devices and Materials  ( Tsukuba, Ibaraki )   2014年9月  The Japan Society of Applied Physics

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    A micro-machined infrared thermal detector using torsional resonators has been studied to achieve high sensitivity. The resonators have bimaterial structure consisted of a tense Si thin film (resonator body, torsion bars) and a metal film (IR absorber). IR incidence in-duces the out-of-plane displacement of the resonator. The displacement generates spring hardening in the torsion bars increasing the resonant frequency of tor-sional oscillation. To achieve larger shift, the resonator should have high inner tension and be flat before IR incidence. We fabricated a flat resonator with a tense poly-Si film obtained by metal-induced lateral crystal-lization (MILC) using biomineralized Ni nanoparticles. For the IR absorber, a light metal was deposited onto the resonator reducing the load on the resonator. Owing to the tense Si film realized by MILC and the light metal film, the resonator showed large resonant frequency shift. The sensor was characterized by heat and light incidence. Optical sensitivity was discussed.

  • DESIGNING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN Si THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES 国際会議

    Takashi Tomikawa マイクロメカトロニクス*, Jonghyeon Jeong マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita Nara Institute of Scence and Technology*, Yukiharu Uraoka Nara Institute of Sicence and Technology*, Minoru Sasaki

    2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( University of Strathclyde )   2014年8月  IEEE Photonics Society

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • SHIELD EFFECT OF FLOATING ELECTRODE FOR POWER EFFICIENT MICRO-PLASMA VUV LIGHT SOURCE 国際会議

    Minoru Sasaki, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Daisuke Yasumatsu マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Masaru Hori 名古屋大学*

    2014 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Glasgow, UK )   2014年8月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Vibrational IR MEMS Sensor: Applicationof Torsion-Bars Tension-Enhanced by Bio-Nano Crystallization for Highly Sensitive Detection 国際会議

    ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita NAIST*, Yukiharu Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

    2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Glasgow, Scotland )   2014年8月  University of Strathclyde

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    A thin-film MEMS infrared (IR) sensor using torsional resonators was developed to achieve high sensitivity. The torsional resonators consisted of bimaterial; a tense Si thin-film and a metal film for IR absorption. Light incidence induced out-of-plane displacement of the resonators thereby shifting the resonant frequency of torsional vibration. To improve the response of the frequency shift, tension in the Si thin-film was enhanced by metal-induced lateral crystallization using biomineralized Ni nanoparticles and a lightweight metal was deposited onto the resonator to obtain flat profile. Response to heat and light incidence were discussed for the fabricated devices.

  • Thermocouples Fabricated on Microfluidic Trench Sidewall Capped with Film 国際会議

    Minoru Sasaki, Masahiro Shibata マイクロメカトロニクス*, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)  ( 東京大学　本郷キャンパス )   2014年7月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 3D lithography and micro-plasma possibilities for combining with precision machining 国際会議

    Minoru Sasaki

    International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing（ISMNM2014）  ( Xi'an International Conference Center, 西安, 中国 )   2014年4月  平成26年度日本学術振興会二国間交流事業セミナーJSPS・NSFC主催

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(I) 国際会議

    佐々木　実, 田嶋聡美 名古屋大学*, 林俊雄 名古屋大学*, 石川健治 名古屋大学*, 関根誠 名古屋大学*, 山川晃司 片桐エンジニアリング*, 堀勝 名古屋大学*

    第61回応用物理学会春季学術講演会  ( 青山学院大学, 相模原市 )   2014年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS大気圧プラズマ光源の省電力化 国際会議

    佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    第61回応用物理学会春季学術講演会  ( 青山学院大学　相模原キャンパス )   2014年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 国際会議

    佐々木　実, 柄崎克樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

    日本機械学会 東海支部 第63期総会・講演会  ( 大同大学, 滝春校舎, 名古屋市 )   2014年3月  日本機械学会 東海支部

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • バイオナノプロセスのMEMS応用 招待 国際会議

    熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

    第61回応用物理学会春季学術講演会　  ( 青山学院大学　相模原キャンパス )   2014年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • 水リフトオフ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜のサブミクロンパターニング 国際会議

    丹羽貴大 金沢大学*, 中西一浩 金沢大学*, 熊谷　慎也, 川江健 金沢大学*, 森本章治 金沢大学*, 佐々木　実

    第61回応用物理学会春季学術講演会  ( 青山学院大学　相模原キャンパス )   2014年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • The relationship between the pressure and the Si etch rate using the reaction of F2 + NO → F + FNO 国際会議

    Minoru Sasaki, S. TAJIMA 名古屋大学*, T. HAYASHI 名古屋大学*, K. ISHIKAWA 名古屋大学*, M. SEKINE 名古屋大学*, K. YAMAKAWA 片桐エンジニアリング*, M. HORI 名古屋大学*

    International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2014/IC-PLANTS2014)  ( 名古屋 )   2014年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Delay Masking Process Using UV Cured Resist Layer Combined with Deep Reactive Ion Etching for Multiple Height Microstructures 国際会議

    佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014  ( Meijo University, Japan )   2014年3月  The Japan Society of Applied Physics, ISPlasma 2014/IC-PLANT2014 Organizing Committee

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS Nozzle for Localized Irradiation of Atmospheric Pressure Plasma Trapping Micro-Samples 国際会議

    島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 橋爪博司 名城大学*, 太田貴之 名城大学*, 伊藤昌文 名城大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014  ( Meijo University, Japan )   2014年3月  The Japan Society of Applied Physics, ISPlasma 2014/IC-PLANT2014 Organizing Committee

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Length Effect of Floating Wire Electrode In Transportable 144mhz Inductively Coupled Micro-Plasma Source 国際会議

    安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 武田圭吾 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014  ( Meijo University, Japan )   2014年3月  The Japan Society of Applied Physics, ISPlasma 2014/IC-PLANT2014 Organizing Committee

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS Infrared Approaches to Detector Based on Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    Photonics West 2014  ( San Francisco, California, United States )   2014年2月  SPIE MOEMS-MEMS

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • A Microplasma Reactor Chip for Utilizing Gas-Gas Interface 国際会議

    Minoru Sasaki, Masahiro Hashimoto マイクロメカトロニクス*, Katsuki Tsukasaki マイクロメカトロニクス*, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)  ( Fukuoka )   2014年2月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Evaluation of the loss of F during the Si chemical dry etching using the reaction of F 2 + NO → F + FNO 国際会議

    Minoru Sasaki, Satomi Tajima 名古屋大学*, Toshio Hayashi 名古屋大学*, Koji Yamakawa 片桐エンジニアリング*, Kenji Ishikawa 名古屋大学*, Shoji Den 片桐エンジニアリング*, Makoto Sekine 名古屋大学*, Masaru Hori 名古屋大学*

    8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)  ( 福岡 )   2014年2月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Surface Plasmon Polariton Based Wavelength Selective IR Emitter Combined with MEMS Heater with Reduced Thermal Loss 国際会議

    Minoru Sasaki, T. Sawada マイクロメカトロニクス*, T. Chikuba マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Masuno 矢崎総業*, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

    8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)  ( 福岡 )   2014年2月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • ENHANCED WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMISSION USING SURFACE PLASMON POLARITON AND THERMAL ENERGY CONFINED IN MICRO-HEATER 国際会議

    Minoru Sasaki, T. Sawad マイクロメカトロニクス*, K. Masuno 矢崎総業*, Shinya Kumagai, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

    27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2014)  ( San Francisco,USA )   2014年1月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Birefringence Bragg Binary (3B) Grating, Quasi-Bragg Grating and Immersion Gratings 国際会議

    佐々木　実, N. Ebizuka ら 理化学研究所*

    Proc. SPIE  ( Montréal, Quebec, Canada )   2014年 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Localized Microplasma Generation in MEMS Gas Channel 国際会議

    Minoru Sasaki, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Daisuke Yasumatsu マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Masaru Hori 名古屋大学*

    20th International Display Workshops (IDW'13)  ( 札幌 )   2013年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Advanced Thermal MEMS for Resonant Infrared Detector Using Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    The 7th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2013)  ( 浜松 )   2013年12月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • MEMS Plasma Source and its Applications 招待 国際会議

    Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

    The 4th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2013)  ( Vung Tau, Vietnam )   2013年11月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Infrared Detection Based on Nonlinear Oscillation of Thin Film Resonator 国際会議

    Minoru Sasaki, Daisuke Momonoi マイクロメカトロニクス*, Tatsuya Yamazaki マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    2013 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science (MHS2013)  ( 名古屋 )   2013年11月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • マイクロ・ナノ構造を利用した大気圧プラズマ紫外光源とプラズモニック赤外光源 招待 国際会議

    佐々木　実

    第3回次世代ものづくり基盤技術産業展 Tech Biz Expo 2013  ( 名古屋メッセ )   2013年10月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • A Micro Plasma Reactor Chip: Using Interface in Micro-/Nano-Channels towards Materials Processing 国際会議

    橋本將寛 マイクロメカトロニクス*, 佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    IEEE Nanotechnology Meterials and Devices Conference  ( National Cheng Kung University, Taiwan )   2013年10月  IEEE

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature　of Microfluid 国際会議

    山口貴大 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    2013 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan )   2013年9月  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Microfluidic Device with Accurately Aligned Optical Fibers for Measuring Transmission Spectrum Using Supercontinuum Light 国際会議

    飯村ひかる マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン 光機能物質*, 熊谷　慎也, 大石　泰丈, 佐々木　実

    2013 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan )   2013年9月  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Localized Plasma Treatment for Individual Cells 国際会議

    島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    2013 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan )   2013年9月  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing 国際会議

    Minoru Sasaki, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26）  ( 九州大学 )   2013年9月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • A microfluidics device with thermocouples fabricated on sidewall for precise monitoring of biomolecule-dispersed solution 国際会議

    Minoru Sasaki, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    2013 JSAP-MRS Joint Symposia  ( 京都 )   2013年9月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 光電池垂直壁を介した配線による昇圧とマイクロミラーの静電駆動 国際会議

    山本太一 マイクロメカトロニクス*, 久保裕慎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    醍74回応用物理学会学術秋季学術講演会  ( 同志社大学　京田辺キャンパス )   2013年9月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Wavelength Selective Infrared Emission via Surface Plasmon Polariton from MEMS Heater for CO2 Gas Sensin 国際会議

    Minoru Sasaki, Katsuya Masuno 矢崎総業*, Takahiro Sawada マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Makoto Ishii 矢崎総業*, Shouichi Uematsu 矢崎総業*

    2013 JSAP-MRS Joint Symposia  ( 京都 )   2013年9月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Niフェリチンを用いたSi薄膜カンチレバー振動子の均一結晶化 国際会議

    冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

    第74回応用物理学会秋季学術講演会  ( 同志社大学　京田辺キャンパス )   2013年9月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • AN INFRARED DETECTOR BASED ON NONLINEAR OSCILLATION 国際会議

    桃井大輔 マイクロメカトロニクス*, 山崎辰也 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa, Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • AN INFRARED DETECTOR BASED ON NONLINEAR OSCILLATION 招待 国際会議

    桃井大輔 マイクロメカトロニクス*, 山崎辰也 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • MICRO-CHANNEL DEVICE FOR SPECTRUM MEASUREMENT USING OPTICAL FIBER ALIGNED WITH BIAS SPRING WITH REVERSELY TAPERED PROFILE 国際会議

    Minoru Sasaki, Hikaru Iimura マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, Shinya Kumagai, Yasutake Ohishi

    2013 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( 金沢 )   2013年8月  IEEE Photonics Society

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • INFRARED COLLECTING MICROLENS INTEGRATED WITH SI PHOTO CELL 国際会議

    青沼拓朗 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • INFRARED COLLECTING MICROLENS INTEGRATED WITH SI PHOTO CELL 招待 国際会議

    青沼拓郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • SURFACE PLASMON POLARITON BASED WAVELENGTH SELECTIVE IR EMITTER COMBINED WITH MICROHEATER 国際会議

    澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 桝野雄矢 矢崎総業株式会社*, 熊谷　慎也, 石居真 矢崎総業株式会社*, 植松彰一 矢崎総業株式会社*, 佐々木　実

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • A MICROPLASMA CHIP FOR RADICAL MONITOR 招待 国際会議

    佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • SURFACE PLASMON POLARITON BASED WAVELENGTH SELECTIVE IR EMITTER COMBINED WITH MICROHEATER 招待 国際会議

    澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 桝野雄矢 矢崎総業株式会社*, 熊谷　慎也, 石居真 矢崎総業株式会社*, 植松彰一 矢崎総業株式会社*, 佐々木　実

    Optical MEMS and NAnophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • A MICROPLASMA CHIP FOR RADICAL MONITOR 国際会議

    佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013年8月  IEEE

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Etching profile control of alignment spring for combining MEMS micro-channel device and optical fibers 国際会議

    Minoru Sasaki, H. Iimura マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, Shinya Kumagai, Yasutake Ohishi

    Abstracts of The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)  ( 幕張メッセ )   2013年7月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • ISOLATED VOLTAGE SENSING USING MICRO-RESONATOR 国際会議

    Minoru Sasaki, N. Nobunaga マイクロメカトロニクス*, S. Hasegawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Masuno 矢崎総業*, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013年6月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • A NOVEL INFRARED DETECTOR USING NONLINEAR VIBRATION FOR HIGH SENSITIVITY 国際会議

    Minoru Sasaki, T. Yamazaki マイクロメカトロニクス*, S. Ogawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013年6月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • EXCLUDING GRAIN BOUDARIES FROM THIN SI FILM MEMS/NEMS DEVICES 国際会議

    Minoru Sasaki, T. Tomikawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, I. Yamashita 奈良先端大*, Y. Uraoka 奈良先端大*

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013年6月 

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • INDIRECT WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED MICRO-EMITTER USING SURFACE PLASMON POLARITON FOR GAS SENSING 国際会議

    Minoru Sasaki, T. Sawada マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Masuno 矢崎総業*, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

    The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013年6月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • シリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり 国際会議

    佐々木　実, 梶原建 クリーンルーム*

    日本化学会　第93春季年会  ( 立命館大学 琵琶湖草津キャンパス )   2013年3月  日本化学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    発表形式：特別企画講演
    講演番号：　4S2-07

  • 電力分野へのセンサ・マイクロシステム応用の可能性について 国際会議

    佐々木　実, 柴﨑一郎 豊橋技術科学大学*

    平成25年 電気学会全国大会   ( 名古屋 )   2013年3月  電気学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    シンポジウム1-H3-6
    [Vol. 1, 1-H3(20)-(22)]

  • Ni フェリチンを用いたSi 薄膜振動子の高効率化 国際会議

    冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端大*, 浦岡行治 奈良先端大*, 佐々木　実

    第60回　応用物理学会学術講演会  ( 神奈川工科大学 )   2013年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • CO2 ガスセンサのための波長選択赤外放射 国際会議

    澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第60回応用物理学会学術講演会  ( 神奈川工科大学 )   2013年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 着衣可能な容量型呼吸センサ 国際会議

    熊谷　慎也, クンドゥスブラタクマル マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

    第60回応用物理学会学術講演会  ( 神奈川工科大学 )   2013年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Transportable micro-plasma VUV light source system 国際会議

    安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 竹田圭吾 名古屋大学*, 海老塚昇 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science  ( Gero, Japan )   2013年2月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    Proceedings, O-4
    D. Yasumatsu, H. Matsuyama, S. Kumagai, K. Takeda, N. Ebizuka, H. Hori, M. Sasaki

  • Local micro-plasma irradiation using MEMS nozzles 国際会議

    島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science  ( Gero, Japan )   2013年2月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    R. Shimane, H. Asano, S. Kumagai, M. Hori, M. Sasaki

  • MEMSノズルを利用した大気圧プラズマ照射によるマイクロ加工 国際会議

    島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 太田貴之 名城大学*, 伊藤昌文 名城大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    第30回プラズマプロセシング研究会 SPP-30  ( 静岡、浜松 )   2013年1月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    (2013.1.21-23) B6-04, pp.103-104.

  • MEMS plasma VUV light source 国際会議

    佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya Univeristy )   2013年1月  Aichi Science & Tenology Foundation

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 3D wiring of vertically etched photo cell islands high voltage generation 国際会議

    熊谷　慎也, 山本太一 マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

    5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya University )   2013年1月  Aichi Science & Technology Foudation

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • VUV emission from transportable micro plasma light source system 国際会議

    安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 竹田圭吾 名古屋大学*, 海老塚昇 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya University )   2013年1月  Aichi Science & Technology Foundation

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Indirect Plasmonic Thermal MEMS Emitter for Gas Sensing 招待 国際会議

    佐々木　実, 熊谷　慎也

    The 6th Internatinal Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2012)  ( Hamamatsu, Japan )   2012年12月 

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Micromachining techniques for wider variety of 3D devices 招待 国際会議

    佐々木　実, 熊谷　慎也

    The 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference  ( Kobe, Japan )   2012年11月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • ドラム型マイクロミラーの平面度評価 国際会議

    クンドゥ スブラタ クマル, 疋田晃義 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第4回集積化MEMS シンポジウム  ( 小倉 )   2012年10月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    IM1-2 (2012.10.24, 小倉)

  • 垂直壁を利用して直列接続したマイクロ光電池アレイ 国際会議

    山本太一 マイクロメカトロニクス*, 久保裕慎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」  ( 小倉 )   2012年10月  電気学会E部門

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    2B3-4, pp.160-164

  • マイクロ振動子を利用した非接触電圧測定 国際会議

    長谷川聡 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」  ( 小倉 )   2012年10月  電気学会E部門

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    SP4-2, pp.616-619

  • 可搬マイクロプラズマ光源システム 国際会議

    松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 竹田圭吾 名古屋大学*, 海老塚昇 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    第73回応用物理学会学術講演会  ( 松山 )   2012年9月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

    12a-PA5-4, p.22-004

  • MEMSノズルを利用したマイクロプラズマ照射 国際会議

    島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    日本機械学会2012年度年次大会  ( 金沢 )   2012年9月  日本機械学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    講演論文集 No.12-1, J164031 (2012.9.11, 金沢)

  • 3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil 国際会議

    ユン キヨル, 藤﨑　敬介, 佐々木　実

    ISPlasma2012  ( 中部大学 )   2012年3月 

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • レジストのスプレー成膜と斜め露光を用いた立体加工 招待 国際会議

    熊谷　慎也, 佐々木　実

    レーザー学会学術講演会第32回年次大会  ( ＴＫＰ仙台カンファレンスセンター )   2012年1月  レーザー学会

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Electromagnetically Energized Wireless Driving of Micromirror 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    Electromagnetically Energized Wireless Driving of Micromirror  ( Sanaru Hall, Shizuoka University )   2011年12月  Shizuoka University

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • Reflection-type Wavelength Selective IR Emitter Using Surface Plasmon Polariton for Gas Sensing 招待 国際会議

    Minoru Sasaki

    Reflection-type Wavelength Selective IR Emitter Using Surface Plasmon Polariton for Gas Sensing  ( Vung Tau, Vietnam )   2011年11月  The 3rd International Workshop on Nanotechnology and Application - IWNA 2011

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • UVキュアによるレジスト硬化を利用した多段階立体構造のエッチング加工 国際会議

    熊谷　慎也, 疋田晃義 マイクロメカトロニクス*, 岩本拓也 マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

    第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 傍熱型波長選択プラズモニック赤外光源 国際会議

    桝野雄矢 マイクロメカトロニクス*, 澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 3次元立体構造上にスプレー塗布されるレジスト膜厚の均一化 国際会議

    熊谷　慎也, 福田直也 マイクロメカトロニクス*, 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

    第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011年3月  応用物理学会

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • スパイラルコイル型マイクロICPに導入した浮遊電極による点火特性 国際会議

    浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011年3月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    講演予稿集 08-010

  • マイクロミラー用薄膜トーションバーの精密計測とハードスプリング効果に関する考察 国際会議

    小川翔平 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    日本機械学会　東海支部　第60期　総会・講演会  ( 豊橋技術科学大学 )   2011年3月  日本機械学会　東海支部

    　詳細

    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 赤外吸収式ガスセンサのための小型・省電力波長選択光源 国際会議

    澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    日本機械学会 東海学生会 第42回学生員卒業研究発表講演会  ( 豊橋技術科学大学 )   2011年3月  日本機械学会 東海学生会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Increasing tensile stress in poly-Si film structure by metal-induced　lateral crystallization　using ferritin supramolecules with Ni nanoparticles 国際会議

    Shinya Kumagai, Miyachi Shusuke マイクロメカトロニクス*, Yamashita Ichiro 奈良先端科学技術大学院大学*, Uraoka Yukiharu 奈良先端科学技術大学院大学*, Minoru Sasaki

    The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies  ( Hawaii convention center, Honolulu, Hawaii, USA )   2010年12月  Canadian Society for Chemistry (2010 Congress Host), American Chemical Society, Chemical Society of Japan, New Zealand Institute of Chemistry, Royal Australian Chemical Institute, Korean Chemical Society, Chinese Chemical Society

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror 招待 国際会議

    佐々木　実

    The 17th International Display Workshops, MEET2-3  ( Hakata, Japan )   2010年12月  Society for information display

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

  • スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化 国際会議

    佐々木　実, 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, 福田直也 マイクロメカトロニクス*, 熊谷慎也 マイクロメカトロニクス*

    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( くにびきメッセ、島根 )   2010年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集（2010.10.14、）B2-1, pp.72～75

  • Absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical side walls 国際会議

    Minoru Sasaki, Hironori Kubo マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai マイクロメカトロニクス*

    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( くにびきメッセ、島根 )   2010年10月  電気学会センサ・マイクロマシン部門

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集（2010.10.14）B2-2, pp.76～79

  • Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module 国際会議

    Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

    2010 International Conference of Solid State Devices and Materials  ( Tokyo Univerisity )   2010年9月  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source 国際会議

    Matsuyama Hiroki マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Hori Masaru 名古屋大学*, Minoru Sasaki

    2010 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Tokyo University )   2010年9月  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS化に適した大気圧プラズマ光源 国際会議

    熊谷　慎也, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

    第71回秋季 応用物理学会学術講演会  ( 長崎大学 文教キャンパス )   2010年9月  応用物理学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • MEMS 用Si 薄膜材料の内部応力増強に向けた 国際会議

    熊谷　慎也, 宮地修輔 マイクロメカトロニクス*, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

    日本機械学会 2010年度年次大会  ( 名古屋工業大学 )   2010年9月  日本機械学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • レジストのスプレー成膜におけるアパーチャの効 国際会議

    福田直也 マイクロメカトロニクス*, 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    日本機械学会　2010年度　年次大会  ( 名古屋工業大学 )   2010年9月  日本機械学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • 高輝度大気圧マイクロプラズマ 国際会議

    浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

    日本機械学会 2010年度年次大会  ( 名古屋工業大学 )   2010年9月  日本機械学会

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    会議種別：口頭発表（一般）  

  • Enhanced Contrast of Wavelength Selective Mid-IR Detector Stable against Temperature Change 国際会議

    Minoru Sasaki, Masuno Katsuya*, Kumagai Shinya*, Tashiro Kohji*

    2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Sapporo, Japan )   2010年8月  IEEE/LEOS

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    会議種別：口頭発表（一般）  

    Katsuya Masuno, Shinya Kumagai, Kohji Tashiro, Masaru Hori, Minoru Sasaki

  • 機械加工とリソグラフィ加工をつなぐ３次元リソグラフィ 招待 国際会議

    佐々木　実

    独立行政法人 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会 研究会  ( 四ッ谷, 弘済会館 )   2010年4月  独立行政法人 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会

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    会議種別：口頭発表（招待・特別）  

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受賞

  • Outstanding Presentation Award

    2021年11月   13th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology / The 3rd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity   "Fine Grating on Thin Metal Wire or Foil Filament for Controlling Its Thermal Radiation"

    Yuta Yamada*, Shigenori Saito*,Minoru Sasaki

  • Best Presentation Award（ISPlasma2020）

    2021年3月   Program committee of 13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  

    Thi-Thuy-Nga Nguyen *, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi *, Kenji Ishikawa *, Masaru Hori *

  • 優秀技術論文賞

    2020年10月   一般社団法人　電気学会センサ・マイクロマシン部門   第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムにて。

    岡本真輝 *, 畠垣知弥 *, 熊谷慎也 *, 佐々木　実

  • BEST PAPER AWARD（AWMFT2019）

    2019年7月   THE 12TH ASIAN WORKSHOP ON MICRO/NANO FORMING TECHNOLOGY(AWMFT2019)   Contents are reviewed. This award was selected 1 from overseas, and 1 from Japan.

    Yuta Yamada*, Jiwang Yan*, Minoru Sasaki

  • 第40回応用物理学会論文賞

    2018年9月   応用物理学会  

    Shinya Kumagai *, Chon-Yao Chang *, Jonghyeon Jeong *, Mime Kobayashi *, Tetsuji Shimizu *, Minoru Sasaki

  • 第40回応用物理学会論文賞

    2018年   応用物理学会   Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media

    S. Kumagai*, M. Kobayashi*, T. Shimizu*, Minoru Sasaki

    　詳細

    以前発表した論文“Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media”, Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 55 (2016) 01AF01.の価値を認められた。

  • IWSBN2017 Poster Award

    2017年12月   The 174th Committee JSPS   日本学術振興会 分子ナノテクノロジー 174委員会が主催する国際ワークショップ The first International Workshop by the 174th Committee JSPS on Symbiosis of Biology and Nanodevices において、ポスター発表した研究 "Plasma-on-Chip: single-cell analysis using a non-thermal atmospheric pressure plasma" が評価されたため。

    Shinya Kumagai , Mime Kobayashi *, Tetsuji Shimizu *, Minoru Sasaki

  • Excellent Poster Presentation Award

    2016年3月   ISPlasma2016/IC-PLANTS2016   ISPlasma2016/IC-PLANTS2016にて、ポスター発表した論文「Gas-Sealed Inductively Coupled Plasma VUV Light Source」が評価されたため。

    Y. Nakai NU Global Corp.*, H. Suzumura Micromechatronics*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

  • 注目講演　第62回　応用物理学会　春季学術講演会　東海大学

    2015年   応用物理学会  

    佐々木　実

  • 第5回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞（応用物理学会）

    2014年3月   応用物理学会   第5回集積化ＭＥＭＳシンポジウムにおいて発表した論文が該当

    柄埼克樹*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

  • 平成24年度ナノテクノロジープラットフォーム利用6大成果賞

    2014年1月   ナノテクノロジープラットフォームセンター   平成24年度のナノテクノロジープラットフォームを利用した日本全体の研究成果の中から、内容、装置共用、研究者間の連携が評価された。

    佐々木　実, 田嶋聡美 名古屋大学*, 林俊雄 名古屋大学*

  • Best Paper Award(MHS2013)

    2013年11月   IEEE  

    Daisuke Momonoi*, Tatsuya Yamazaki*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

  • The 74th JSAP Autumn Meeting 2013, Poster Award

    2013年10月   応用物理学会  

    冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

  • 応用物理学会 学術講演会　注目論文

    2013年3月   応用物理学会   2013年 応用物理学会春季学術講演会, 応用物理 Vol. 82, No.3, p.195. 合同セッションL, 29p-PA4-9「着衣可能な容量型呼吸センサ」 講演者 佐々木実

    佐々木　実

  • Best Paper Award in 2010 International symposium (MHS2010)

    2010年11月   IEEE   国際会議 MHS2010に投稿した論文 "Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Patient Monitoring Outside the Hospital" by Katsuya Masuno, Shinya Kumagai and Minoru Sasaki, Toyota Technological Institute,Japan が評価されたため。

    Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

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科学研究費補助金

受託研究・共同研究 ※本学入職以降の業績のみ

  • マテリアル先端リサーチインフラ事業（スポーク機関）

    受託研究 2021年4月 - 現在

    文部科学省研究振興局（東北大学からの再委託）

    佐々木　実

  • 三次元フォトリソグラフィ加工技術の開発

    受託研究 2020年6月 - 2022年2月

    公益財団法人科学技術交流財団

    佐々木　実

  • ナノテクノロジープラットフォーム「微細加工プラットフォーム実施機関」

    受託研究 2012年6月 - 2022年3月

    文部科学省研究振興局（京都大学からの再委託）

    佐々木　実

奨学寄付金・研究助成金 ※本学入職以降の業績のみ

  • 表面機能を持つ微細構造付き曲面金型の創成

    公益財団法人金型技術振興財団 2023年4月 - 2024年3月

    佐々木　実

  • 圧延ロール面への高アスペクト比機能構造の微細加工

    公益財団法人天田財団 2021年9月 - 2024年3月

    佐々木　実

  • 一般財団法人東海産業技術振興財団 2019年4月 - 2021年3月

    佐々木　実

  • 小水力発電むけサメ肌リブレット微細構造付き低抵抗パイプの加工技術

    公益財団法人八洲環境技術振興財団 2019年4月 - 2020年3月

    佐々木　実

  • 金型曲面のフォトリソグラフィ微細加工

    公益財団法人金型技術振興財団 2018年4月 - 2019年3月

    佐々木　実

  • ナノ/マイクロ工学と分子システムに関する第13回年次IEEE国際会議

    公益財団法人大幸財団 2018年4月

    佐々木　実

  • 圧延ロール面への表面色調均一化パターンのフォトリソグラフィ微細加工

    公益財団法人天田財団 2017年10月 - 2020年3月

    佐々木　実

  • 電気配線と着心地機能を安定両立する衣服型呼吸センサ

    公益財団法人豊秋奨学会 2013年9月 - 2015年9月

    佐々木　実

  • ３次元フォトリソグラフィを応用した垂直壁への 液浸斜め露光による立体配線パターニング

    公益財団法人電子回路基板技術振興財団 2009年1月 - 2009年12月

    佐々木　実

  • 公益財団法人大幸財団

    佐々木　実

  • フォトリソグラフィを利用した局所プラズマ３Dプリンティングみよる高精度高耐久プレスパンチの創製

    公益財団法人大澤科学技術財団

    佐々木　実

  • 回転角センサを集積化したマイクロミラーの開発とその制御

    公益財団法人メカトロニクス技術高度化財団

    佐々木　実

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担当科目（学内） ※授業フィードバックは学内ネットワークからのみ閲覧可能です。

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教育内容・方法の工夫

  • マイクロメカトロニクスセミナー

    　詳細

    修士学生（ダブルディグリー学生を含む）の研究テーマに合わせて、基礎となる学術部分の学習を行った。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

  • 創造性開発セミナー

    　詳細

    創造性開発セミナーを進める学生に、付き添う形でコメント等をした。担当となった機構学の知見が、アドバイス内容に関係するようになた。

  • 微小機械学 aおよびb

    　詳細

    微小機械学の授業内容を更新した。2017年度からaとbの各々1単位科目に分け、クオーター制に対応した。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

  • 機械力学特論

    　詳細

    前半は英語テキストを使い、後半は日本語テキストとMatlabを利用した。各人の計算機を利用してFEM解析の基礎を学ぶ。少しずつ後半の内容を充実させた。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

  • 特別講義（エネルギー関係）

    　詳細

    特別講義2回分（台湾 中興大と共同web配信）の授業内容を更新し、レポート課題を毎回新しくした。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

  • 機構学

    　詳細

    2019年度から新しく授業担当となった。学生の興味を出させること、理解を促進させること、を目指して教科書を変更した。中間テストも用意して、歯車機構までを授業でカバーした。出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

  • 工学実験

    　詳細

    「連続体の振動」を担当した。機械振動学の内容と接続を高め、理解し易くした。2020年の学生が出校不可になった時期でも、自宅で手配できる広告紙を用いて、振動モードの節について妥当な実験結果が得られることで実験を行った。出校可になった後は、振動子の材料バリエーションを増やす工夫を加えた。

  • 機械振動学

    　詳細

    2014年度から立ち上げた機械振動学の授業を改善してきた。中間テストは解答を詳細に説明して、後半の学びに支障が生じ難いように配慮した。また、過去問に解答例を示すことで、考え方を明示した。コロナ禍にてオンライン授業を組み合わせるようになったこともあり、毎回の授業のポイントを明示し、出席代わりの小問題を出すことで、学びの道しるべとした。

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作成した教材

  • 微小機械学 aおよびb（2019-2021年度）

    　詳細

    学生に配布する講義資料を推敲した。2020年以降は主にGoogle classに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

  • 機械力学特論（2019-2021年度）

    　詳細

    2020年以降は主にGoogle classに、試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

  • 特別講義（エネルギー関係）（2019-2021年度）

    　詳細

    学生に配布する講義資料を推敲した。2022年度は、学生が解けなかった課題に対して、解答を台湾の中興大にも示した。

  • 機構学（2019-2021年度）

    　詳細

    2020年以降は主にGoogle classに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。

  • 工学実験（2019-2021年度)

    　詳細

    「連続体の振動」実験テキストを推敲した。高校レベルからの前提となる基礎を復習して実験に臨むことで位置付けを明確にした。振動を引き起こす力の強いアクチュエータを見つけたことで、振動振幅が大きくなり、学生には見易くなった。

  • 機械振動学（2019-2021年度）

    　詳細

    2020年以降は主にGoogle classに、教育的に良質な参考資料・動画を紹介した。試験問題と解答例を掲示した。毎年、問題と解答例が増えている。

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その他教育活動及び特記事項

  • マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）学生研修（2022年度）
    他大学学生（徳島大学の学生１名）向けの実習を３日間受け入れた。
  • サマーセミナー（オンライン形式）にて「MEMS sensors and microfabrication」のテーマで講演とオンラインごしにスマートフォンを使った実験を実施（2022年度）
  • 高校生向け授業と実験 2019は7/23と10/19、2022は9/24（2019, 2022年度）
    2015年度に「加速度センサ」実験テーマを立ち上げたが、これを大幅改良した。以前は、市販の加速度センサを電気配線して利用する内容で、高校生向け実験としては長時間の用意とコストがかかった。これを、スマートフォンに内蔵されているものでできるようにした。スマートフォンは中古品を入手し、フリーWifiを使ってアプリをインストールした。より良いアプリに変えるなど、高校生にとって、より馴染み易いテーマに変更できた。
  • 文科省ナノテクPF微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
    第10回技術セミナー（2021.11.24）チュートリアル「マイクロアクチュエータの基礎」講師
  • 文科省ナノテクPF微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
    第8回技術セミナー（2021.8.25）「SiのCVDと薄膜利用MEMS」講師
  • １年生（Eグループ）むけアカデミックアドバイザー（2021年度）
  • 文科省ナノテクPF微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
    文科省ナノテクPF微細加工シンポジウムにて「曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工」を発表。（2020年3月6日）
  • 社会人向け実習・講習会（有料、2019年度は3/4-5の1回）
    マスクレスリソグラフィによる小規模講習会を行った。試作サンプルのCADデザインを工夫することで、撥水パターンの領域をほぼウェハ全面に用意できるように改良した。また、利用する撥水剤の薬品を、新しいものを試して使った。毎回、受講者の要望を汲取って、実習内容を改善している。
  • 応用物理学会春季学術講演会における、半導体Bからの分科企画シンポジウム世話人代表（2019年度）
    シンポジウムタイトル「生産現場での活用が進むIoTデバイス技術(2020.3.12)」は新型コロナ感染症拡大防止で予稿集配布で発表扱い、「IoTの発展を支える集積化システム (2019. 3. 10)」では自身も発表。
  • ナノテクPF技術支援員（新人）の技術指導（2019-2021年度）
    2018年6月に入職した、アルバイト雇用の技術支援員を技術指導した。週2-3日ながら、毎回の仕事内容を設定した。特に、ナノテクの代表である電子ビーム描画装置の操作を習得してもらい、名古屋大学や企業向け支援に対応できるようにした。その後も、技能を高め、2020年度に専門技術者の称号を付与された。
  • サマーセミナーでのベトナム学生１名を受け入れ（2019年度）
    「振動計測（微小振動子の応用を目指して）」のテーマで、実験と考察を指導した。
  • ナノテクPFのナノ・マイクロ加工実践セミナー実習コース（無料、2020年の2/27, 3/3, コロナ対策で実験キット送付の３回）（2019年度）
    バイオ応用向けマイクロ流路試作に本学が対応できるようにするため、小規模講習会を行った。企業から２名、他大学教員１名が参加。
  • 社会人向け実習・講習会（有料、例年9月開催、定員約40名満員）（2019年度）
    熱電対デバイスの試作テーマを立ち上げ、毎年少しずつ内容とテキストを改善した。「MEMSセンサと製作プロセス －車載･人検出センサ－」のテーマにて講演を行う。関係教員が減ったため、講演だけでなく実習でも電子ビーム蒸着の担当をこなした（2019年度は名古屋大学の支援員の協力を受けた。実習のための事前指導を行った。）。
  • 電気学会E部門 マイクロマシン・センサシステム（MSS）技術委員会 委員長（2018から2023年度まで）
    年4回程度開催する研究会いは、実行委員として参画。特に、2020.7.6-7のE部門総合研究会は、電気学会でも早期のオンライン開催の研究会となり、その最高責任者である実行委員長を担った。2023年度では豊田工業大学にてリアル開催を目指して準備中。
  • オープンキャンパスでの授業と実験（7/14）（2018年度）
    オープンキャンパスの中で「小さなセンサが拓く世界」の授業を行った。加速度センサの簡単な実験を合わせて実施した。

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