日本機械学会 東北支部 情報・知能・精密機器部門 代議員

THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS

THE JAPAN SOCIETY FOR TECHNOLOGY OF PLASTICITY

THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

光集積技術フィージビリティ調査委員会

光集積化ナノ計測システム技術調査専門委員会

SPIE Micromachining and Microfabrication

IEEE (The Institute of Electrical and Electronics Engineers)

令和３年度電気学会全国大会（2021.3.9-11 電気学会初のオンライン開催）   11グループ主査  

2020.6 - 2021.6   

令和２年度センサ・マイクロマシン部門 総合研究会 2020.7.6-7（電気学会E部門初のオンライン研究会）   実施責任者  

2019.10 - 2020.10   

電気学会E部門   マイクロマシン・センサシステム技術委員会 委員長  

2018.4 - 2023.5   

MDPI Micromachines   Guest Editor of Special Issue for Advanced MEMS/NEMS Technology  

2017 - 2018.12   

応用物理学会 集積化MEMS研究会   プログラム編集委員 シンポジウム企画委員  

2016.4 - 2020.3   

International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems (Transducers 2017)   Technical Program Committee  

2016 - 2017.6   

電気学会 センサ・マイクロマシン部門 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会 共同主催   日本・台湾国際交流シンポジウム コーディネータ  

2015.9 - 2016.10   

8th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2016)   Technical Program Committee  

2015 - 2016.6   

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma) / the International Conference on PLAsma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS)   Organizing Committee, Program Committee  

2014.4   

The 28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015)   Executive Technical Program Committee  

2014 - 2015.4   

IEEE of International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics   General Chair  

2011.8 - 2013.8   

International Conference on Solid State Devices and Materials   Program Committee  

2007.10 - 2018.9   

光集積化ナノ計測システム技術調査専門委員会   幹事  

2005   

精密工学会 東北支部   商議員, 幹事  

2002   

SPIE Micromachining and Microfabrication   Program Committee  

2002   

精密工学会主催 10th ICPE   校閲委員会委員  

2000   

Fine Grating on Thin Metal Wire or Foil Filament for Controlling Its Thermal Radiation Reviewed

Yuta Yamada*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

The 13th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT2021) and The 3rd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity (APSTP2021)   2021.11

Uniform resist film on chip substrate prepared by bonding film coated on sheet Reviewed

Tomoya Onuki*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration   6P - 08   2021.10

Respiration monitoring during 6 min walk using wearable sensor measuring capacitance built across skin Reviewed

Momoko Karita*, Shinya Kumagai **, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   61   SA1010   2021.8

Microtextured die using silicon stencil mask for micro-machining of stainless steel Reviewed

Han Gang, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   61 ( SA )   SA1012   2021.8 （   ISSN:0021-4922 ）

赤外線センサ向け静電ねじり振動子の共振周波数電気測定 Reviewed

畠垣 知弥*, 熊谷 慎也 **, 佐々木　実

電気学会論文誌E   141 ( 7 )   265 - 266   2021.7

FINE PATTERNING ON 3D SAMPLE WITH CURVATURE AND DEPTH USING RESIST SHEET WITH LATENT IMAGE Reviewed

Takayuki Kuroyanagi*, Shigenori Saito **, Minoru Sasaki

The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, B6-6A4   521 - 524   2021.6

Estimation of the Electricity Storage Volume Density of Compact SMESs of a New Concept Based on Si Microfabrication Technologies Reviewed

Tomoyoshi Motohiro **, Minoru Sasaki, Joo-Hyong Noh **, Osamu Takai **

Magnetochemistry   7 ( 3 )   44   2021.3

Patterning vertical sidewall for optical assembly Reviewed

Taichi Yamamoto*, Hironori Kubo*, Shinya Kumagai **, Shigenori Saito **, Fumitaka Sahara **, Minoru Sasaki

Journal of Optical Microsystems   1 ( 2 )   023501   2021.2

Structure-Based Huge Hard-Spring Torsional Resonator Coupled with Thermal Bending for Infrared Sensor Reviewed

Masaki Okamoto*, Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai **, Minoru Sasaki

電気学会論文誌E   140 ( 9 )   240 - 245   2020.9

一細胞に非熱平衡プラズマを照射するPlasma-on-Chipデバイス：誘電体バリア放電方式による動作特性の改善 Reviewed

熊谷慎也 **, 小林未明 **, 清水鉄司 **, 佐々木　実

電気学会論文誌C   140 ( 4 )   452 - 456   2020.4

Formation of spherical Sn particles by reducing SnO2 film in floating wire-assisted H2/Ar plasma at atmospheric pressure Reviewed

Thi-Thuy-Nga Nguyen **, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi **, Hidefumi Odaka **, Kenji Ishikawa **, Masaru Hori **

Scientific Reports, Article number 17770   10   17770   2020

Novel gratings for astronomical observation Reviewed

Noboru Ebizuka **, Takayuki Okamoto **, Masahiro Takeda **, Takuya Hosobata **, Yutaka Yamagata **, Minoru Sasaki, Ichi Tanaka **, Takashi Hattori **, Shinobu Ozaki **, Wako Aoki **

CEAS Space Journal   s12567 - 019   2019.11

Estimation of electricity storage capacity of compact SMESs composed of stacks of Si-wafers loaded with superconducting thin film coils in spiral trenches formed by MEMS process Reviewed

Y. Ichiki **, A. Ichiki **, T. Hioki **, Minoru Sasaki, J.-H. Noh **, O. Takai **, H. Honma **, T. Motohiro **

Journal of Physics: Conf. Series   1293   012058   2019.9

フォトリソグラフィ加工による圧延ロール面への微細パターン形成　― テクスチャリング用レリーフの一括形成 ― Reviewed

佐々木　実, 弓削英翔*, 鈴木大瑛*

塑性と加工   60 ( 702 )   192 - 202   2019.7

Electrostatically Driven Isolated Voltage Sensor. Reviewed

グエン ハイ ミン, Minoru Sasaki

MSS.マイ クロマシン・センサシステム研究会   23 - 26   2019.2

Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass Reviewed

Minoru Sasaki, T.-T.-N. Nguyen*, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

Journal of Applied Physics   125   063304   2019.2

Batch Fabrication of Nano-Gap Electrode Array Using Photo-Patterning and Resist UV-curing Reviewed

グエン ハイ ミン, Mako Kumeuchi*, Shinya Kumagai*, Kenji Ishikawa*, Masaru Hori*, Minoru Sasaki

電気学会論文誌E   139 ( 1 )   27 - 28   2019.1

Remotely floating wire-assisted generation of high-density atmospheric pressure plasma and SF6-added plasma etching of quartz glass Reviewed

Minoru Sasaki

Journal of Applied Physics   125   063304   2019

Grating Fabrication for Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton. Reviewed

グエン ハイ ミン, Minoru Sasaki

DPS 2018 Proseeding of international sumposium of dry process.   237 - 238   2018.11

Fabrication of 3-stepped Spiral Trench with Smooth Sidewall at Nano-level to Deposit Superconducting Material for Energy Storage Reviewed

Minoru Sasaki, Che-Wei Hsu*, Yasuhiro Suzuki*, Tatsumi Hioki*, Joo-hyong Noh*, Osamu Takai*, Hideo Watanabe*, Hideyuki Doy*, Tomoyoshi Motohiro*

International Journal of Nanotechnology   15 ( 11/12 )   858 - 872   2018.11

Respiratory Motion Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin in Daily Activities Reviewed

Makie Terazawa*, Momoko Karita*, Shinya Kumagai*, Minoru Sasaki

Micromachines   9 ( 11 )   543   2018.10

Optofluidic Device for Measuring Cell Response Against Mechanical Stimulation. Reviewed

Motohide Yoshimi*, Shinya Kumagai*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials.   667 - 668   2018.9

Processing thin-film membrane and dry etching release of torsional resonator for uncooled infrared sensor Reviewed

Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018)   08aB02O   2018.3

A Novel Designed High-Density Atmospheric Pressure Inductively Coupled Plasma Remotely Generated at the Downstream Side of a Quartz Tube Using a Floating Wire Reviewed

Thi-Thuy-Nga Nguyen **, Minoru Sasaki, Hidefumi Odaka **, Takayoshi Tsutsumi **, Kenji Ishikawa **, Masaru Hori **

Proceedings of International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2018)   2018.3

Lifted Bottom of Microfluidic Channel for Cell Absorption Spectroscopy Using Optical Fibers Reviewed

Minoru Sasaki

Sensors and Materials   29 ( 3 )   273 - 280   2018.3

PATTERNING VERTICAL SIDEWALL USING STANDARD ALIGNER Reviewed

Kenji Wasa **, Shigenori Saito **, Fumitaka Sahara **, Minoru Sasaki

The 31th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2018)   475 - 478   2018.1

Replacement of NbN by YBa2Cu3O7-δ in Superconducting Thin Film Coil in a Spiral Trench on a Si-Wafer for Compact SMESs Reviewed

Yushi Ichiki **, Kazuhiro Adachi **, Yasuhiro Suzuki **, Masami Kawahara **, Akihisa Ichiki **, Tatsumi Hioki **, Che-Wei Hsu*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Tomoyoshi Motohiro*

Proceedings of the 30th International Symposium on Superconductivity (ISS2017) EDP2-10   2017.12

Insulated Voltage Sensor Using Resonator Withstanding Higher Voltage Reviewed

Y. Wada*, N. Nobunaga*, Shinya Kumagai , H. Ishihara*, M. Ishii*, Minoru Sasaki

Proceedings of the 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2017)   8P - 7   2017.11

Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for CO₂ Gas Sensing Reviewed

Hiroki Ishihara **, Katsuya Masuno **, Makoto Ishii **, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Materials 2017, 10, 1085   10 ( 9 )   1085   2017.10

Respiratory Sensor Continuously Attached on the Abdomen Reviewed

M. Terasawa*, M. Karita*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Extended Abstracts of the 2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017), F-2-02   265 - 266   2017.9

Cu Thin Film Polyimide Heater for Nerve-Net Tactile Sensor Reviewed

Yusuke Suganuma **, Minoru Sasaki, Takahiro Nakayama **, Masanori Muroyama **, Yutaka Nonomura **

Proceedings of Eurosensors 2017   1 ( 4 )   303   2017.9

Uncooled Infrared Sensor Using Torsional Resonator and Electrostatic Detection Reviewed

Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai , Kyu Chang Park **, Minoru Sasaki

2017 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN2017)   2017.8

Photolithography Based Nano-Gap Formation Realized by Additional Pattern Transfer on UV-Cured Resist Reviewed

グエン ハイ ミン, M. Kumeuchi*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

The 24th Congress of the International Commission for Optics (ICO-24), Optical MEMS and Nanophotonics II, Th2G-06   2017.8

Plasma cell treatment device Plasma-on-Chip: Monitoring plasma-generated reactive species in microwells Reviewed

Jun-Seok Oh **, Shinya Kojima*, Minoru Sasaki, Akimitsu Hatta **, Shinya Kumagai

Scientific Reposrts   7   41953   2017.2

Diffraction Gratings for the Latest Visible and Infrared Astronomical Observations Reviewed

Noboru Ebizuka **, Takayuki Okamoto **, Miyuki Uomoto **, Takehito Shimatsu **, Minoru Sasaki, Andrea Bianco **, Chris Packham **, Wako Aoki **

日本赤外線学会誌   26 ( 2 )   32 - 39   2017.2

Lifted Bottom of microfluidic Channel for Cell Absorption Spectroscopy Using Optical Fibers Reviewed

Motohide Yoshimi*, Shinya Kumagai , Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

Sensors and Materials   29 ( 3 )   273 - 280   2017.1

Light-absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical sidewalls Reviewed

Shinya Kumagai , Hironori Kubo **, Minoru Sasaki

Journal of Micromechanics and Microengineering   27 ( 025016 )   1 - 9   2017.1

Outline Fine Pattern Generation Using Partial UV Curing of Photoresist Reviewed

Takuya Iwamoto*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

電気学会論文誌E   137 ( 1 )   44 - 45   2017.1

Complete Fabrication of a Traversable 3um Thick NbN Film Superconducting Coil with Cu plated layer of 42m in Length in a Spiral Three-Storied Trench Engraved in a Si Wafer of 76.2 mm in Diameter Formed by MEMS Technology Reviewed

Y. Suzuki **, N. Iguchi **, K. Adachi **, A. Ichiki **, T. Hioki **, C.-W. Hsu*, R. Sato*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Tomoyoshi Motohiro **

IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series   897   012019   2017

MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化 Reviewed

和田祐樹*, 延永尚記*, 熊谷　慎也, 石原裕己 **, 石居真 **, 佐々木　実

電気学会論文誌E   137 ( 8 )   239 - 244   2017

Plasma-on-chip device for stable irradiation of cells cultured in media with a low-temperature atmospheric pressure plasma Reviewed

Tomohiro Okada*, Chun-Yao Chang*, Mime Kobayashi **, Tetsuji Shimizu +*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

Archives of Biochemistry and Biophysics   605   11 - 18   2016.4

Frequency Response Based Analysis of Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin Reviewed

Makie Terasawa*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   55 ( 4 )   04EM13   2016.4

Design of microplasma electrodes for plasma-on-chip devices Reviewed

C.-Y. Chang 台湾 中興大*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , G.-J. Wang 台湾 中興大*

J. Phys. D: Appl. Phys.   49   155203   2016.3

Liquid Immersion Angled Exposure for 3D Photolithography Reviewed

Takafumi Hosono*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

電気学会論文誌E   136 ( 3 )   90 - 91   2016.3

Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media Reviewed

Shinya Kumagai , C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   55 ( 1S )   01AF01   2015.10

Collecting biological samples for accurate optical absorption spectroscopy Reviewed

Yuichiro Matsuura*, Shinya Kumagai , Dinghuan Deng*, Yasutake Ohishi*, Minoru Sasaki

M&BE8 2015   2015.6

Micromechanical IR thermal detector using torsional oscillation: Improvement of resonator profile for high sensitivity Reviewed

Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai , Ichiro Yamashita*, Yukiharu Uraoka*

Japanese Journal of Applied Physics   54 ( 04 )   04DE07   2015.4

Micromechanical IR thermal detector using torsional oscillation: Improvement of resonator profile for high sensitivity Reviewed

ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai , Ichiro Yamashita NAIST*, Yukiharu Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   54   04DE07   2015.3

Effect of Shielding a Floating Electrode on the Power Efficiency of a Micro-plasma VUV Light Source Reviewed

Ryoto Sato 豊田工業大学*, Daisuke Yasumatsu 豊田工業大学*, Shinya Kumagai , Masaru Hori 名古屋大学*, Minoru Sasaki

電気学会論文誌E   135 ( 3 )   114 - 115   2015.3

Thermocouples fabricated on trench sidewall in micro fluidic channel bonded with film cover Reviewed

Takahiro Yamaguchi 豊田工大*, Masahiro Shibata 豊田工大*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   54   030219   2015.3

THERMOCOUPLES ON TRENCH SIDEWALL IN CHANNEL FRONTING ON FLOWING MATERIAL Reviewed

Minoru Sasaki, Masahiro Shibata マイクロメカトロニクス*, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

The 28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2015)   841 - 844   2015.1

A microfluidic chip for generating reactive plasma at gas-gas interface formwd in laminar flow Reviewed

Masahiro Hashimoto 豊田工大*, Katsuki Tsukasaki 豊田工大*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   54 ( 1 )   01AA09   2015.1

Localized plasma irradiation through a micronozzle for individual cell treatment Reviewed

Ryutaro Shimane マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Hiroshi Hashizume Meijo University*, Takayuki Ohta Meijo University*, Masafumi Ito Meijo University*, Masaru Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   53   11RB03   2014.10

Multiple-height microstructure fabricated by deep reactive ion etching and soft resist masks combined with UV curing Reviewed

Minoru Sasaki, R Sato マイクロメカトロニクス*, T Sawada マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

IOP Publishing Journal of Physics: Conference Series   518   012012   2014.6

A Novel Infrared Detector Using Highly Nonlinear Twisting Vibration Reviewed

Minoru Sasaki, Tatsuya Yamazaki 豊田工大*, Shouhei Ogawa 豊田工大*, Shinya Kumagai

Sensors and Actuators   A212   165 - 172   2014.6

A Novel Infrared Detector Using Highly Nonlinear Twisting Vibration Reviewed

Tatsuya Yamazaki マイクロメカトロニクス*, Shouhei Ogawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Sensors and Actuators: A   2014.3

Etching Profile Control of Alignment Spring for Combining MEMS Micro-Channel Device and Optical Fibers Reviewed

Minoru Sasaki, Hikaru IIMURA マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, Yasutake Ohishi, Shinya Kumagai

Proceedings of the 12th Asia Pacific Physics Conference JPS Conf. Proc.   015071   2014

Improving the Quality Factor of Polycrystalline Si Thin-Film Micromechanical Resonator by Metal-Induced Lateral Crystallization Using Biomineralized Ni Nanoparticles Reviewed

Shinya Kumagai , 冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, Minoru Sasaki

Applied Physics Letters   103 ( 22 )   223103   2013.11

An atmospheric pressure inductively coupled microplasma source of vacuum ultraviolet light Reviewed

Ryoto Sato*, Daisuke Yasumatsu*, Shinya Kumagai , Keigo Takeda*, Masaru Hori*, Minoru Sasaki

Sensors and Actuators A: Physical   2013.9

Micro-Channel Device for Spectrum Measurement Using Optical Fiber Aligned with Bias Spring with Reversely Tapered Profile. Reviewed

Hikaru Iimura*, ディンハン　デン, Shinya Kumagai , Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

Optical MEMS and Nanophotonics (OMN)   93 - 94   2013.8

Local micro-plasma irradiation using MEMS nozzles Reviewed

Minoru Sasaki, 堀勝 名古屋大学*, Shinya Kumagai

Proceedings of the 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science   P - H11   2013.2

Theoretical Electromagnetic Field Calculation of a Floating Metal Wire for Inductively Coupled Micro Plasma Using Spiral Coil Reviewed

ユン キヨル, Keisuke Fujisaki, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   52 ( 1 )   01AA02   2013.1

A MICROPLASMA CHIP FOR VUV LIGHT SOURCE Reviewed

佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 安松大輔 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 堀勝 名古屋大学*, Minoru Sasaki

Proceeding of MEMS 2013   705 - 708   2013.1

Non-Contact Voltage Measurement Using a Micro-Resonator Reviewed

Satoshi Hasegawa*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）   133 ( 8 )   354 - 358   2013

Micro-Oscillator for Non-Contact Voltage Sensing Reviewed

Minoru Sasaki, 長谷川聡 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

Proceedings of the 19th International Display Workshops, MEET1-4   1419 - 1422   2012.12

Minimising plasma irradiation area by micronozzle device towards single-cell treatment Reviewed

島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 堀勝 名古屋大学*, Minoru Sasaki

Micro & Nano Letters   7 ( 12 )   1210 - 1212   2012.12

Improving Crystallinity of Thin Si Film for Low-Energy-Loss Micro-/Nano-Electromechanical Systems Devices by Metal-Induced Lateral Crystallization Using Biomineralized Ni Nanoparticles Reviewed

Shinya Kumagai , Hiromu Murase*, Syusuke Miyachi*, Nobuaki Kojima,Yoshio Ohshita, Masafumi Yamaguchi, Ichiro Yamashita*, Yukiharu Uraoka*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 11 )   11PA03   2012.11 （   ISSN:1347-4065 ）

Wearable Capacitive Breathing Sensor Reviewed

クンドゥスブラタクマル マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Wearable Capacitive Breathing Sensor   386 - 387   2012.9

Controlling Crystallized Domain Positions in Poly-Si Film by using Ni Ferritin for Low Energy Loss and High Efficiency MEMS/NEMS Devices Reviewed

冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 山下一郎 奈良先端大*, 浦岡行治 奈良先端大*, Minoru Sasaki

Extended Abstracts of the 2012 International Conference on Solid State Devices and Materials   1091 - 1092   2012.9

Infra-Red Absorption Spectrum Measurement Combining Si Microfluidic Trench and Supercontinuum Light from Fiber Reviewed

大羽祥平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 川島浩靖 光機能物質*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

Extended Abstracts of the 2012 International Conference on Solid State Devices and Materials   370 - 371   2012.9

Molecular Measurement Based on Infra-Red Absorption Spectrum Using Supercontinuum Light from Fiber Reviewed

大羽祥平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 川島 浩靖 光機能物質*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

Proceeding of Optical MEMS & Nano Photonics Conference 2012   89 - 90   2012.8

Molecular Measurement Based on Infra-Red Absorption Spectrum Using Supercontinuum Light from Fiber. Reviewed

S. Ohba*, S. Kumagai*, H. Kawashima*, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

Conferemce Digest (CD-ROM)   89 - 90   2012.8

A Spatial Light Modulator Fabricated with Bionano-Crystallized Poly-Si film Reviewed

Shinya Kumagai , 冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, 宮地修輔 マイクロメカトロニクス*, 山下一郎 奈良先端大*, 浦岡行治 奈良先端大*, Minoru Sasaki

Proceeding of Optical MEMS & Nanophotonics   128 - 129   2012.8

Micro-Power Source of Si Photo Cells Connected across Vertical Sidewalls for Light Receiving and High Voltage Generation Reviewed

山本太一 マイクロメカトロニクス*, 久保裕慎 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceeding of Optical MEMS &　Nanophotonics Conference   140 - 141   2012.8

Analysis of Hard Spring Effect of Tense Poly-Si Torsion Bar of Micromirror Reviewed

クンドゥ スブラタ クマル マイクロメカトロニクス*, 小川翔平 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 藤島正幸 東北大学*, 羽根一博 東北大学*, Minoru Sasaki

Proceeding of Optical MEMS & Nanophotonics Conference   162 - 163   2012.8

Macro Model Study for Nonlinear Spring of Tense Torsion Bar in Gap-Closing Type Electrostatic Micromirror Reviewed

Gyu Il Shim マイクロメカトロニクス*, Ryoichi Mimoto マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Journal of Mechanics Engineering and Automation   2 ( 7 )   446 - 454   2012.7

SURFACE FLATNESS OF DRUM-TYPE AND COLUMN-TYPE MICROMIRRORS IN STATIC AND DYNAMIC CONDITIONS Reviewed

クンドゥ スブラタ クマル, 疋田晃義 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies   ac12000140   2012.7

A MICRO NOZZLE DEVICE TOWARDS PLASMA TREATMENT OF A CELL Reviewed

島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 堀勝 名古屋大学*, Minoru Sasaki

The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies   ac12000186   2012.7

Infrared collecting lens having millimeter-size diameter integrated with Si photo cell Reviewed

青沼拓朗 マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

電気学会論文誌E   132-E ( 5 )   119 - 126   2012.5

Investigation of Optical Flatness of Stretched Membrane Drum-Type Micromirror Reviewed

クンドゥ スブラタ クマル, Akiyoshi Hikita*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Journal of Lightwave Technology   30 ( 10 )   1377 - 1385   2012.5

3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil Reviewed

Keisuke Fujisaki, ユン キヨル, Minoru Sasaki

ISPlasma2012   2012.3

Photoresist Spray Coating Using a Shield Plate with an Aperture for Uniform Deposition onto Trench-Type Three-Dimensional Microdevice Structures Reviewed

Shinya Kumagai , Fukuda Naoya*, Tajima Hisayoshi*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   51   02BL04   2012.2

Wireless Driving of a Micromirror Device by Electoromagnetic Excitation Tuned to Mechanical Resonance of Rotation Reviewed

Shinya Kumagai , Ohnishi Narimune*, Minoru Sasaki

Journal od Advanced Design, Systems, and Manufacturing   6 ( 1 )   179 - 188   2012.1

3-D WIRING ACROSS VERTICAL SIDEWALLS OF SI PHOTO CELLS FOR SERIES CONNECTION AND HIGH VOLTAGE GENERATION Reviewed

Shinya Kumagai , T. Yamamoto*, H. Kubo*, Minoru Sasaki

The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (2012.1.31, Paris, France), Oral Session IV - Fabrication   60 - 63   2012.1

Floating Wire for Enhancing Ignition of Atmospheric Pressure Inductively Coupled Microplasma Reviewed

Shinya Kumagai , Asano Hirotaka*, Hori Masaru Nagoya University*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   51   01AA01   2012.1

Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Selective Ashing of Resist Layer Combined with UV Curing Reviewed

Shinya Kumagai , Akiyoshi Hikita*, Takuya Iwamoto*, Takashi Tomikawa*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   51 ( 1 )   01AB04   2012.1

Evaluation of Stress Concentration and Deformation of Drum-Type Micromirror Reviewed

Minoru Sasaki, S. K. Kundu*, A. Hikita*, S. Kumagai*

Proceedings of the 18th International Display Workshops, MEET5-3 (2010.12.8, Nagoya, Japan)   2   1223 - 1226.   2011.12

Multi-Wavelength Selective IR Emission Using Surface Plasmon Polaritons for Gas Sensing Reviewed

Katsuya Masuno*, Takahiro Sawada*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Photonics Technology Letters   23 ( 22 )   1661 - 1663   2011.11

Dynamic Deformation of Stretched Membrane in Drum-Type Micromirror Reviewed

Subrata Kumar Kundu*, Akiyoshi Hikita*, Shinya Kumagai*, Minoru Sasaki

Proceedings of 2011 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   2011.11

Flow Analysis of Photoresist Spray Coating towards Improving Coverage on Three-Dimensional Structures Reviewed

Shinya Kumagai , Tajima Hisayoshi*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   50   2011   2011.10

Flow Analysis of Photoresist Spray Coating towards Improving Coverage Reviewed

Shinya Kumagai , 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   50   106501   2011.10

Novel Atmospheric Pressure Inductively Coupled Micro Plasma Source Reviewed

Shinya Kumagai , Matsuyama Hiroki*, Yokoyama Yoshihiro*, Hori Masaru*, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   50   08JA02   2011.8

Enhanced Contrast of Wavelength-Selective Mid-Infrared Detectors Stable against Incident Angle and Temperature Changes Reviewed

Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , 田代　孝二, Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   50   037201 - 1   2011.3

Ignition characteristics of planer micro-plasma source using floating sheet electrode Reviewed

Y. YOKOYAMA*, H. MATSUYAMA*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1-005A   57   2011.3

Light-Weighted Micromirror Fabricated Using Stacked Photoresist Masks Realized by UV Curing Reviewed

A. Hikita*, T. Iwamoto*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of the 4th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science   O-06   2011.3

UV curing of photoresist for MEMS processes Reviewed

T. IWAMOTO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P3-093-LNA   Late News p.17   2011.3

Multiple-height Microstructure Fabricated by ICP-RIE and Masking Layers Using Only Photoresists Reviewed

A. HIKITA*, T. IWAMOTO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P2-009A   101   2011.3

Reflection-type wavelength-selective infrared emitter using surface plasmon polaritons Reviewed

Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

OPTICS LETTERS   36 ( 3 )   376 - 378   2011.1

Proposal of High-Density Packaging Construction and Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall Using Spray Coating Technology Reviewed

Morii Hiroki*, Oohira Fumikazu*, Suzuki Takaaki*, Terao Kyohei*, Minoru Sasaki, Ochi Toshihiko*, Yuzuriha Asumi*, Wani Katsuhito*

電気学会論文誌E   131 ( 1 )   40 - 44   2011.1

Infrared collecting lens having millimeter-size diameter integrated with Si photo cell Reviewed

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , Takuro Aonuma*

電気学会論文誌E   132 ( 5 )   2011

Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror Reviewed

Shouhei Ogawa*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of the 17th International Display Workshops, MEET2-3   1581 - 1584   2010.12

Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Patient Monitoring Outside the Hospital Reviewed

Katsuya Masuno*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of 2010 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   429 - 434   2010.11

Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Source with Floating Electrode Reviewed

Shinya Kumagai , Hiroki Matsuyama*, Masaru Hori*, Minoru Sasaki

Bulletin of American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, CTP206   52   2010.10

Enhanced Contrast of Wavelength Selective Mid-IR Detector Stable against Temperature Change Reviewed

Masuno Katsuya*, Kumagai Shinya*, Tashiro Kohji*, Hori Masaru*, Minoru Sasaki

Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, PO-19   137 - 138   2010.10

Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module Reviewed

Katsuya Masuno*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, G-8-4   1174 - 1175   2010.9

Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source towards Portable Spectrometry System Reviewed

Kumagai Shinya*, Matsuyama Hiroki*, Hori Masaru*, Minoru Sasaki

Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, G-8-3   1172 - 1173   2010.9

Absorbent liquid immersion angled exposure for 3D Photolithography Reviewed

Hironori Kubo*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, M4-4   39 - 40   2010.8

Large-size Infrared Reflow Microlens Based on Stacked Layers Reviewed

Takuro Aonuma*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, W1-5   93 - 94   2010.8

Contrast Enhancement of Wavelength-Selective Detection of Mid-Infrared Using Localized Atmospheric-Pressure Plasma Treatment Reviewed

Katsuya Masuno マイクロメカトロニクス*, 田代　孝二, Masaru Hori*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Japanese Journal of Applied Physics   49   04DL18 - 1   2010.4

Characteristics of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil Reviewed

H. ASANO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1-003A   56   2010.3

Buckled Bridges Using Film Stress for Three-Dimensional Structures, -Effects of lateral designs to vertical profiles and dynamic characteristics- Reviewed

Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane*, Danick Briand*, Wilfried Noell*, Nicolaas F. de Rooij*

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering   5 ( 2 )   131 - 136.   2010

Three-dimensional photolithography based on spray coating of photoresist Reviewed

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

3rd SJTU-Ritsumeikan University Micro/Nano Science and Technology Symposium   2009

Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Reviewed

Takuro AONUMA*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Motoki TABATA*, Kazuhiro HANE*

Japanese Journal of Applied Physics   48 ( 4 )   04C191   2009

Tensile Thin Film for MEMS Devices Reviewed

Minoru Sasaki

Taiwan-Japan Bilateral Symposium on Research of Nanotechnology   2009

Microactuator Using Tensile Thin Film Reviewed

Minoru Sasaki

2009 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science   2009

温度依存性の少ない分光機能集積型赤外線ディテクタ Reviewed

桝野雄矢*,熊谷　慎也 ,佐々木　実

第56回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集   ( 3 )   1029   2009

Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si Reviewed

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics   15 ( 5 )   1455 - 1462   2009

Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Reviewed

Takuro AONUMA*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Motoki TABATA*, Kazuhiro HANE*

Japanese Journal of Applied Physics   48 ( 4 )   04C191   2009

Atmospheric Pressure Plasma for Localized Material Deposition on IR Sensor Reviewed

K. MASUNO*, 田代　孝二, M. HORI*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2010) Poster, PB065C   209   2009

Extending Rotation Range Confirmed by Macro Model of Gap-closing Type Electrostatic Micromirror Controlling Non-linearity of Torsion Bar Reviewed

沈　規一, Ryoichi Mimoto*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

Proceedings of The 16th International Display Workshops (IDW ’09) ), MEMS5-3   1501 - 1504   2009

Nanomachining combined with bulk micromachining Reviewed

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

SECOND INTERNATIONAL WORKSHOP ON NANOTECHNOLOGY AND APPLICATION   135 - 139   2009

Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror Reviewed

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , Masayuki Fujishima*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials, J-6-3,   1328 - 1329   2009

Thermopile IR Detector Integrated with Wavelength Selective Filter Stable Against Temperature and Incident Angle Change Reviewed

Masuno Katsuya*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, 田代　孝二

Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials, P-11-8,   683 - 684   2009

Liquid Immersion Angled Exposure for 3D Photolithography Reviewed

Minoru Sasaki, Takafumi Hosono*, Shinya Kumagai

2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics   75 - 76   2009

Wireless Driving of Micromirror Using Electromagnetic Induction Reviewed

Minoru Sasaki, Narimune Ohnishi*, Shinya Kumagai , Kazuhiro Hane*

2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics   11 - 12   2009

Liquid immersion angled exposure technique for 3D photolithography Reviewed

TAKAFUMI HOSONO*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications   2008

Combination of LOCOS process and plasma Si etching using delayed mask for integrating sensor inside micromirror Reviewed

Shinya Kumagai , T. Aonuma*, Minoru Sasaki, M. Tabata*, K. Hane*

The 8th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop with Plasma Application Monodzukuri   2008

Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges Reviewed

Minoru Sasaki, Satoshi Endou*, Kazuhiro Hane*

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌   2008

Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control Reviewed

Takuro Aonuma*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*

Proceedings of the 7th International Conference on Machine Automation (ICMA2008)   279 - 282   2008

Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall using Spray Coating and Angled Exposure Technologies Reviewed

H. Morii*, F. Oohira*, Minoru Sasaki, T. Ochi*, A. Yuzuriha*

Final Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conference Optical MEMS and Nanophotonics, P30   156 - 157   2008

Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si Reviewed

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conference Optical MEMS and Nanophotonics, P12   120 - 121   2008

Micromirror Using Thin Film Torsion Bar with Crystallization-Induced Stress Reviewed

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima*, Hideo Miura*, Kazuhiro Hane*

The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs   149 - 152   2008

機器のヘルスモニタリング用ＭＥＭＳセンサについての考察 Reviewed

佐々木　実, 熊谷　慎也, 青沼　拓朗*, 上野 明*, 徐 超男 産業技術総合研究所*

電気学会研究会資料   53 - 57   2008

Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges Reviewed

Minoru Sasaki, Satoshi Endou*, Kazuhiro Hane*

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌   128 ( 6 )   271 - 276   2008

Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates Reviewed

Minoru Sasaki, Fuminori BONO*, Kazuhiro HANE*

Japanese Journal of Applied Physics   47 ( 4 )   3226 - 3231   2008

An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress Reviewed

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

Journal of Optics A: Pure and Applied Optics   10   044004   2008

MEMS用アッシング装置に開発 Reviewed

岩本拓也*, 佐々木　実, 熊谷　慎也

日本機械学会東海学生会、第４０回学生員卒業研究発表講演会 講演前刷集   116   29 - 30   2008

ギャップクロージング型静電マクロミラーのマクロモデルよるpull-in現象解析 Reviewed

味元良一*, 佐々木　実, 熊谷　慎也

日本機械学会東海学生会、第４０回学生員卒業研究発表講演会 講演前刷集   913   286 - 287   2008

Characteristics and Improved Design of Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Reviewed

T. Aonuma M1*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, M. Tabata 東北大学*, K. Hane 東北大学*

Japanese Journal of Applied Physics   2008

Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates Reviewed

Minoru Sasaki, Fuminori Bono*, Kazuhiro Hane*

Japanese Journal of Applied Physics   47 ( 4S )   2008

Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Reviewed

Takuro Aonuma*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*

Extended Abstracts of the 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tsukuba, 2008,,   ( D-7-3 )   932 - 933   2008

スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側壁への配線形成技術 Reviewed

森井裕貴*, 大平文和*, 佐々木　実, 越智寿彦*, 杠明日美*, 和爾克人*

第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム予稿集   A1-6   29 - 32   2008

スプレーコーティングしたレジスト膜の評価方法の検証 Reviewed

田嶋久義*, 佐々木　実

第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム予稿集   P-1-10   250 - 253   2008

Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress Reviewed

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

Journal of Optics A: Pure and Applied Optics   10   044004 - 8   2008

Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device Reviewed

T.Aonuma M1*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki, M.Tabata 東北大学*, H.Hane .東北大学*

Extended Abstracts of the 2008 International Conference on SOLID STATE DEVICES AND MATERIALS,   932 - 933   2008

Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching Reviewed

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , KAZUHIRO HANE*

First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications   143   2008

Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress Reviewed

Minoru Sasaki, K. Hane*, D. Briand*, W. Noell*, N. de Rooij*

Proceedings of The 15th International Display Workshops, MEMS3-4   1337 - 1340   2008

Nonlinear Rotational Spring with Tension for Stabilizing Electrostatically Driven Micromirror Reviewed

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai , K. Hane*

2008 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Organized Session: SA-2: Actuators   225 - 230   2008

DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR Reviewed

Minoru Sasaki, Motoki Tabata Tohoku University*, Kazuhiro Hane Tohoku University*

Digest of Technical Papers,   2151 - 2154   2007

Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress Reviewed

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, MC3   27 - 28   2007

Passivated Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Reviewed

Minoru Sasaki, Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*

Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, ThB2   193 - 194   2007

Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates Reviewed

Minoru Sasaki, Fuminori Bono*, Kazuhiro Hane*

Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, ,   ( D-2-2 )   88 - 89   2007

Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror Reviewed

Minoru Sasaki, Shinya Yuki*, Kazuhiro Hane*

Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, ,   ( D-2-4 )   92 - 93   2007

Development of MEMS Capacitive Sensor USING a MOSFET Structure Reviewed

Hayato Izumi*, Yohei Matsumoto*, Seiji Aoyagi*, Yusaku Harada*, Shoso Shingubara*, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane*, Hiroshi Tokunaga*

Proceedings of The 24th Sensor Symposium, 2007, Po-26   254 - 258   2007

Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress Reviewed

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki*, Kazuhiro Hane*, Hideo Miura*

Proceedings of 2007 IEEE LEOS Annual Meeting Conference, ThC2   709 - 710   2007

Anodic Wafer Bonding Realizing Ball Lens Assembly for Absolute Micro-encoder Reviewed

Minoru Sasaki, Fuki Nakai*, Kazuhiro Hane*

Proceedings of 1st International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration   387 - 388   2007

Micromirror Using Stretched Thin Film for Lower Electrostatic Driving Voltage and Higher Resonant Frequency Reviewed

Minoru Sasaki

Proceedings of The 14th International Display Workshops, MEMS5-1 Invited   1399 - 1402   2007

Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures Reviewed

Vijay Kumar SINGH*, Minoru Sasaki, Kazuhiro HANE*

Japanese Journal of Applied Physics.Part 1   46 ( 9B )   6449 - 6453   2007

Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure Reviewed

Hayato Izumi*, Yohei Matsumoto*, Seiji Aoyagi*, Yusaku Harada*, Shoso Shingubara.*, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane*, Hiroshi Tokunaga*

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌   128-E ( 3 )   102 - 107   2007

微細加工技術を用いた超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発における表面処理技術 Reviewed

元廣 友美*, 佐々木　実, 盧 柱亨*

工業材料   ( 2 )   66 - 74   2020.2

MEMSデバイスを活用した光源および分光分析素子 Reviewed

佐々木　実

オプトロニクス   ( 2 )   2016.2

太陽電池とMEMS技術 Reviewed

佐々木　実

電気学会論文誌E   133 ( 9 )   230 - 236   2013.9

国際会議報告16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2011 Reviewed

佐々木　実

電気学会論文誌E部門   131 ( 12 )   1   2011.12

レジストプロセスの基本 Reviewed

佐々木　実

電気学会論文誌E   131 ( 1 )   2 - 7   2011.1

２０１０年秋季 第71回応用物理学関係連合講演会 シンポジウム 「反応性プラズマの制御による先進プロセッシング～板谷良平先生追悼シンポジウム～」報告 Reviewed

佐々木　実

応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会会報   ( 53 )   20 - 22   2010.12

研究室だより　豊田工業大学工学部機械システム分野マイクロメカトロニクス研究室 Reviewed

佐々木　実

電気学会論文誌E   130 ( 10 )   505   2010.10

第５回分科内招待講演「プラズマが拓く新概念応用の可能性」 Reviewed

佐々木　実

プラズマエレクトロニクス分科会会報   ( 52 )   47   2010.7

マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

佐々木　実, 他*（第6章 ドライとウェットエッチングの組み合わせ pp.267-272）

シーエムシー出版  2009.10  （ ISBN:978-4-7813-0167-9 ）

MEMS/NEMS工学全集

佐々木　実, 他*（3. 3. 3 光励起エッチング pp.335-339 3. 6. 4 平面層状構造から製作する立体構造 pp.378-391 3. 11. 2 レジスト膜を利用した立体加工 pp.498-508 4. 1. 1変調、増幅、フィルタリング、復調 pp.511-515 5.27.1 マイクロ光学系 pp.783-792）

テクノシステム  2009.4  （ ISBN:978-4-9247-2859-2 ）

Service Robotics and Mechatronics

Takuro Aonuma*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, Motoki Tabata*, Kazuhiro Hane*（Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control ）

Springer  2009  （ ISBN:978-1-8488-2693-9 ）

Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs

佐々木　実, 他*（Part III, Micro Actuators, 11. Minoru Sasaki High-Performance Electrostatic Micromirrors, ）

Springer  2009  （ ISBN:978-1-8488-2990-9 ）

微細転写・加工技術全集

佐々木　実, 他*（第4章 第3 [3]節「MEMS用途フォトリソグラフィプロセス」）

技術情報協会  2008.8  （ ISBN:978-4-8610-4248-5 ）

次世代センサハンドブック

佐々木　実, 他*（第10章　アクチュエータ 10.3 静電アクチュエータ）

培風館  2008.7  （ ISBN:978-4-5630-6768-7 ）

講座ちょっとMEMS 第7回　アセンブリを支援するＭＥＭＳ構造（エレクトロニクス実装学会誌　第11巻第2号）

佐々木　実, 羽根一博 東北大学*（エレクトロニクス実装学会誌Vol. 11, No. 2, Feb. 2008, PP.164-167）

エレクトロニクス実装学会  2008.2 

講座ちょっとMEMS 第6回　MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み（エレクトロニクス実装学会誌　第11巻第1号）

佐々木　実, 羽根一博 東北大学*（エレクトロニクス実装学会誌Vol. 11, No. 1, Jan. 2008, PP.100-103）

エレクトロニクス実装学会  2008.1 

国際会議報告IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2007

佐々木　実（電気学会論文誌E, Vol.128, No.1 (2008) p.26）

電気学会  2008.1 

Comprehensive Microsystems : Fundamentals,technology and applications

Kazuhiro Hane*, Minoru Sasaki（3.01 Optical systems: Micro-mirrors (Volume Three, PP.1-63)）

Elsevier Science  2007.12  （ ISBN:978-0-4445-2194-1 ）

MEMSマテリアルの最新技術

佐々木　実（第2章 MEMSの製作　1. レジスト塗布・露光技術 PP.84-93）

シーエムシー出版  2007.11  （ ISBN:978-4-8823-1968-9 ）

Rounding MEMS nozzle corner for trapping pollens as microarray International conference

Qingyang Liu, Hiromasa Tanaka, Minoru Sasaki

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 17th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Nagoya )   2024.3 

Bipolar driving for accurate displacement control of electrostatic microactuator International conference

Binchun Tsai, Kenzo Yamaguchi, Kuang-Jau Fann, Minoru Sasaki

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 17th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Nagoya )   2024.3 

花粉細胞アレイの同時培地固定

杉山祥子, 劉慶陽, 韓剛, 佐々木実

第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 熊本 )   2023.11 

静電アクチュエータのための狭ギャップ構造形成

片山徹哉, 斉藤誠法, 佐々木実

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023.6 

リチウムイオン電池向けポーラス微細構造付きSi負極

時吉純平, 原正則, 吉村雅満, 斉藤誠法, 佐々木実

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023.6 

凹曲面への微細パターン転写における位置合わせと歪抑制

久木野陽充, 斉藤誠法, 佐々木実

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023.6 

撥水機能のためのマイクロテクスチャ付き圧延ロール

井坂太聞, 斉藤誠法, 佐々木実

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 名古屋 )   2023.6 

金型を目指したレンズ曲面への微細パターン転写とエッチング加工

黒柳貴之、斉藤誠法、佐々木実

2023年度塑性加工春季講演会テーマセッション1－Ⅱ【306】  ( 名古屋工業大学 )   2023.6 

三次元フォトリソグラフィによる円筒面への微細抗菌パターン形成と圧延転写 Invited

恩田拓、熊谷慎也、斉藤誠法、佐々木実

2023年度塑性加工春季講演会テーマセッション1－Ⅱ【307】  ( 名古屋工業大学 )   2023.6 

MEMS nozzle for capturing lily pollen in array and fixing on culture media International conference

Sachiko Sugiyama, Gang Han, Takayoshi Tsutsumi, Hiromasa Tanaka, Minoru Sasaki

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 16th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Gifu )   2023.3 

Deep micro-textured die realized by mutiple-patterning and etching for press-transferring water-repellent function to the fin of the heat exchanger International conference

Seiya Fujita, Gang Han, Shigenori Saito, Minoru Sasaki

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 16th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Gifu )   2023.3 

シリコン貫通格子の細線化 International conference

久野友滉*, Han Gang, 佐々木　実

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 14P4-D-3  ( 徳島 )   2022.11  電気学会

三次元フォトリソグラフィ加工技術の話題提供 #1 International conference

佐々木　実

「三次元リソグラフィと精密加工技術の融合」研究会  ( on line )   2022.7  公益財団法人 科学技術交流財団

レジスト膜接合による曲⾯３次元リソグラフィの研究現況 International conference

佐々木　実

電子実装工学研究所 接合界面創成技術研究会 第39回研究会  ( 名古屋およびオンライン )   2022.6 

正・逆熱電効果を利⽤した薄膜デバイス International conference

伊東⼋重*, 佐々木　実

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-22-043, pp.93-96  ( 金沢 )   2022.6  電気学会

⾚外線レンズ⽤モスアイ微細構造付き凹曲⾯⾦型 International conference

阪井拓*, 佐々木　実

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-22-028, pp.13-18  ( 金沢 )   2022.6  電気学会

翼用リブレット形成のためのプレス金型曲面の微細加工 ―三次元フォトリソグラフィによる曲面加工― International conference

池ヶ谷巧*, 佐々木　実

2022年度塑性加工春季講演会[511] pp.183-184  ( on line )   2022.6  日本塑性加工学会

Solid Lubricant Film on Deep Micro-textured Die to Transfer Pyramidal Structure on Metal Element for Generating Lotus Effect International conference

G. Han*, S. Fujita*, M. Watanabe*, Minoru Sasaki

10th Asia-Pacific Conf. Transducers and Micro-Nano Technology, A0131, pp.51-52  ( on line )   2022.5 

Transferring Fine Pattern to Pipe Inner Wall for Reducing Flow Resistance International conference

Masafumi Miyake*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

10th Asia-Pacific Conf. Transducers and Micro-Nano Technology, A0148  ( on line )   2022.5 

電力管理のための絶縁型MEMSリング電圧センサ International conference

佐々木　実

令和4年電気学会全国大会  ( オンライン )   2022.3  電気学会

Deposition of PFCs Films on Die with Microstructures using CF4 Gas International conference

Gang Han*, Masaya Watanabe*, Seiya Fujita*, Minoru Sasaki

14th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials(ISPlasma2022)/ 15th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science(IC-PLANT2022)  ( Online )   2022.3 

皮膚の性質を利用したウェアラブル呼吸センサと、曲面・立体への微細加工 Invited International conference

佐々木　実

第34回マルチモーダルバイオイメージセンサ研究会  ( on line )   2021.11  科学技術交流財団

Fine Grating on Thin Metal Wire or Foil Filament for Controlling Its Thermal Radiation International conference

Yuta Yamada*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

The 13th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT2021) and The 3rd Asian Pacific Symposium on Technology of Plasticity (APSTP2021)  ( Online )   2021.11 

Uniform resist film on chip substrate prepared by bonding film coated on sheet International conference

Tomoya Onuki*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration  ( on line )   2021.10 

超電導電力貯蔵装置を小型化するための100m超かつ平滑な渦巻溝形成 International conference

盧柱亨*, 高井治*, 元廣友美*, 佐々木　実

令和3年度E部門総合研究会  ( オンライン )   2021.7  電気学会

FINE PATTERNING ON 3D SAMPLE WITH CURVATURE AND DEPTH USING RESIST SHEET WITH LATENT IMAGE International conference

Takayuki Kuroyanagi*, Shigenori Saito*, Minoru Sasaki

The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems  ( on line )   2021.6 

LITHOGRAPHY ON NON-FLAT 3-D SURFACE Invited International conference

佐々木　実

The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Short Course 1: Key Technologies Available in Nanofabrication Centers Worldwide SC1-1T5  ( Online )   2021.6 

ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 International conference

山田雄大*, 佐々木　実

2021年度塑性加工春季講演会  ( オンライン )   2021.6 

Respiration Sensing Measuring Capacitance Built Across Skin Stabilized Against Twisting Motion While Walking International conference

Momoko Karita*, Shinya Kumagai 名城大学**, Minoru Sasaki

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021.3 

Design of removal process of SnO2 on glass by H2/Ar plasma at atmospheric pressure and medium pressure International conference

Thi-Thuy-Nga Nguyen 名古屋大学**, Minoru Sasaki, Takayoshi Tsutsumi 名古屋大学**, Kenji Ishikawa 名古屋大学**, Masaru Hori 名古屋大学**

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021.3 

Additional pattern etching of microtextured die for higher aspect ratio International conference

Seiya Fujita*, Minoru Sasaki

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021.3 

Microtextured Die Using Silicon Stencil Mask for Antibacterial Effect International conference

Gang Han*, Minoru Sasaki

13th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 14th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science  ( Online )   2021.3 

ウェアラブル呼気センサ Invited International conference

佐々木　実

第２ 回「新産業創出に向けたマイクロセンサデバイス 」 研究会  ( on line )   2020.12  （公財） 科学技術交流財団　研究会

Respiration Sensor Sewn Inside Belly Band Measuring Capacitance Built Across Skin Allowing Walking Activity Invited International conference

Minoru Sasaki

31st IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science  ( on line )   2020.12  IEEE

Interactions of floating-wire-assisted atmospheric-pressure H2/Ar plasma with SnO2 film on glass substrate forming spherical Sn particles International conference

Thi-Thuy-Nga Nguyen 名古屋大学**, Minoru Sasaki, Hidefumi Odaka AGC株式会社**, Takayoshi Tsutsumi 名古屋大学**, Kenji Ishikawa 名古屋大学**, Masaru Hori 名古屋大学**

73rd Annual Gaseous Electronics Virtual Conference  ( Online )   2020.10  American Physical Society

マイクロマシン・センサシステム技術委員会の活動について International conference

佐々木　実

令和2年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会  ( Online )   2020.9  電気学会

フォトリソグラフィ加工したプレス金型による高精度ロータリー金属スケールの試作 International conference

山田雄大*, 佐々木　実

令和2年度E部門総合研究会  ( Online )   2020.7  電気学会

マイクロテクスチャ付き金型を利用した熱交換器フィン材への超撥水構造形成 International conference

藤田聖也*, 佐々木　実

令和2年度E部門総合研究会  ( Online )   2020.7  電気学会

フォトリソグラフィ一括加工した微細パターン付き圧延ロールによるアルミ板の表面処理 International conference

弓削英翔*, 鈴木大瑛*, 佐々木　実

令和２年電気学会全国大会  ( 予稿集のみ )   2020.3  電気学会

Microtextured die for forming super water-repellent structure International conference

Seiya Fujita*, Minoru Sasaki

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya )   2020.3  The Japan Society of Applied Physics

STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR International conference

Masaki Okamoto*, Tomoya Hatagaki **, Shinya Kumagai **, Minoru Sasaki

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya )   2020.3  The Japan Society of Applied Physics

曲面・立体への３次元フォトリソグラフィ微細加工 Invited International conference

佐々木　実

2019 年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム シンポジウム  ( 東京大学　武田先端知ビル )   2020.3  微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム

マイクロヒータを用いた波長選択赤外光源 International conference

纐纈真一*, Chang Yen-Wei*, 矢作秀賀*, 佐々木　実

第17回赤外放射応用関連学会年会  ( 東京工科大学 蒲田キャンパス )   2020.1  (一社)日本赤外線学会 ／ (一社)映像情報メディア学会

CELL TRAPPING AND MECHANICAL STIMULATION IN MICROFLUIDIC SENSOR COMBINED WITH OPTICAL FIBER COMPONENTS International conference

Motohide Yoshimi **, Shinya Kumagai **, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

The 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)  ( Canada )   2020.1  IEEE

Estimatin of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Stacks of Si-wafers Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches formed by MEMS Process under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density International conference

Tomoyoshi Motohiro **, Minoru Sasaki, Joo-Hyong Noh **, Osamu Takai **, Hideo Honma **

The 32nd International Symposium on Superconductivity (ISS 2019)  ( Kyoto )   2019.12 

MEMS-Approaches for Controlling Infrared Thermal Energy in Light Source and Detector Invited International conference

Minoru Sasaki

The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2019)  ( Phan Thiet, Vietnam )   2019.11  Institute for Nanotechnology, Vietnam National University - Ho Chi Minh City

MEMS-BASED INFRARED LIGHT SOURCE AND DETECTOR Invited International conference

Minoru Sasaki

3rd International Conference on Photonics Research (Inter Optics 2019)  ( Antalya, Turkey )   2019.11  Kocaeli University, Laser Technologies Research and Application Center (LATARUM)

フォトリソグラフィ加工を用いたアルミ表面加工のための圧延ロール面への微細パターン転写 International conference

弓削英翔*, 鈴木大瑛*, 佐々木　実

第70回塑性加工連合講演会  ( 日本大学 生産工学部 津田沼キャンパス )   2019.10  一般社団法人日本塑性加工学会

微細加工した圧延ロールによるアルミ材の艶消しパターン転写 International conference

弓削英翔*, 鈴木大瑛*, 佐々木　実

第80回応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大学　札幌キャンパス )   2019.9  応用物理学会

Wearable Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin Allowing Walking Motion Invited International conference

Minoru Sasaki

2019 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)  ( Nagoya )   2019.9  The Japan Society of Applied Physics

容量計測型ウェアラブル呼吸センサと無線計測 International conference

寺澤槙恵 **, Subrata Kumar Kundu **, 熊谷慎也 **, 佐々木　実

マイクロマシン・センサシステム／バイオ・マイクロシステム合同研究会   ( 機械振興会館 )   2019.8  電気学会

Photolithography fine patterning on mold surface for the metal scale of rotary encoder International conference

Yuta Yamada*, Jiwang Yan **, Minoru Sasaki

The 12th Asian Workshop on Micro/Nano Forming Technology (AWMFT 2019)  ( Tokyo Big Sight Conference Tower, Japan )   2019.8  日本塑性加工学会と中国、韓国、台湾の学会

金型曲面のフォトリソグラフィ微細加工 Invited International conference

佐々木　実

(公財)金型技術振興財団　令和元年度　研究成果発表会（第１９回）  ( ホテルスプリングス幕張 )   2019.7  (公財)金型技術振興財団

ロータリーエンコーダ金属スケール用金型のフォトリソグラフィ微細加工 International conference

山田雄大*, 閻紀旺 **, 佐々木　実

電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会  ( 東京工業大学すずかけ台キャンパス )   2019.7  電気学会

SOLATED VOLTAGE SENSOR USING RING RESONATOR FOR BATTERY POWER MANAGEMENT International conference

Naoki Nobunaga*, Shinya Kumagai*, Katsuya Masuno*, Hiroki Ishihara*, Makoto Ishii*, Minoru Sasaki

The 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019)  ( Berlin, Germany )   2019.6 

Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage International conference

Minoru Sasaki, Y. Suzuki*, T. Hioki*, T. Motohiro*

6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)  ( Kanazawa )   2019.6 

Over 100m Length Single Spiral Silicon Micro-Trench with 3-Step Smooth Sidewalls to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage International conference

Minoru Sasaki, Y. Suzuki*, K. Adachi*, T. Hioki*, T. Motohiro*

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( 名古屋 )   2019.3 

Floating-wire-assisted atmospheric pressure plasma for high-speed and large-area glass treatment International conference

T.-T.-N. Nguyen*, Minoru Sasaki, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( 名古屋 )   2019.3 

波長選択赤外光源用マイクロヒータ International conference

Y.-W. Chang*, 矢作秀賀*, H. M. Nguyen*, 佐々木　実

電気学会全国大会  ( 北海道 )   2019.3  電気学会

絶縁に適した静電駆動型MEMS電圧センサ International conference

グエン ハイ ミン, 延永尚記*, 桝野雄矢*, 杉山洋貴*, 石居真*, 佐々木　実

電気学会研究会 交通・電気鉄道 マイクロマシン・センサシステム 合同研究会  ( 名古屋 )   2019.2  電気学会

STRUCTURE-BASED LARGE HARD-SPRING TORSIONAL RESONATOR COUPLED WITH THERMAL BENDING FOR INFRARED SENSOR International conference

M. Okamoto*, T. Hatagaki*, S. Kumagai*, Minoru Sasaki

The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2019)  ( 韓国 )   2019.1  IEEE

Grating Fabrication for Wavelength Selective Infrared Emitter Using Surface Plasmon Polariton International conference

S. Yahagi*, グエン ハイ ミン, S. Kumagai*, Minoru Sasaki

The 40th International Symposium on Dry Process (DPS2018)  ( 名古屋 )   2018.11 

Floating-Wire-Assisted Remote Generation of High-Density Atmospheric Pressure Inductively Coupled Plasma International conference

T.-T.-N. Nguyen*, Minoru Sasaki, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

The 71st Annual Gaseous Electronics Conference (GEC2018)  ( Portland, USA )   2018.11 

Etching of glass by floating-wire assisted atmospheric pressure plasma International conference

T.-T.-N. Nguyen*, Minoru Sasaki, H. Odaka*, T. Tsutsumi*, K. Ishikawa*, M. Hori*

応用物理学会秋季学術講演会  ( 名古屋 )   2018.9  応用物理学会

静電動作ねじり振動型非冷却赤外線センサ International conference

畠垣知弥*, 熊谷慎也*, 佐々木　実

応用物理学会秋季学術講演会  ( 名古屋 )   2018.9  応用物理学会

Optofluidic Device for Measuring Cell Response Against Mechanical Stimulation International conference

M. Yoshimi*, S. Kumagai*, Y. Ohishi*, Minoru Sasaki

2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018)  ( 東京 )   2018.9  応用物理学会

Wavelength Selective Plasmonic Grating for CO2 Gas Sensing Based on Nondispersive Infrared International conference

S. Yahagi*, S. Kumagai*, K. Masuno*, M. Ishii*, Minoru Sasaki

2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018)  ( 東京 )   2018.9  応用物理学会

熱輻射を制御する表面機能付き金属細線ヒータの製作 International conference

山田雄大*, 佐々木　実

マイクロマシン・センサシステム研究会  ( 奈良 )   2018.7 

Enhanced Plasmonic Wavelength Selective Infrared Emission Combined with Microheater for Gas Sensing Invited International conference

Minoru Sasaki

The 13th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2018)  ( Singapore )   2018.4  IEEE

MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサ Invited International conference

佐々木　実

第65回 応用物理学会春季学術講演会　特別シンポジウム  ( 早稲田大学⻄早稲田キャンパス )   2018.3  応用物理学会

大気圧プラズマジェットによって生成されるOHラジカルの液体中での可視化 International conference

石川孝一*, 佐々木　実, 熊谷　慎也

第65回応用物理学会春季学術講演会  ( 早稲田大学 )   2018.3 

触覚熱流センサのための薄膜サーミスタ作製 International conference

菅沼雄介 **, 大橋祐也 **, 佐々木　実, 野々村裕 **

平成30年 電気学会全国大会  ( 九州大学伊都キャンパス )   2018.3  電気学会

Measurement of Plasma-Generated Reactive Oxygen/Nitrogen Species in Liquid Delivered via a Microthrough-hole International conference

Jun-Seok Oh **, Koichi Ishikawa*, Minoru Sasaki, Masafumi Ito **, Shinya Kumagai

2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2)  ( 名城大学 )   2018.3 

Localized Plasma Treatment of Biological Sample Using MEMS Nozzle Device International conference

Yuto Nakayama*, Ryutaro Shimane*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

2nd International Workshop on Plasma Agriculture (IWOPA2)  ( 名城大学 )   2018.3 

Processing thin-film membrane and dry etching release of torsional resonator for uncooled infrared sensor International conference

Tomoya Hatagaki*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

ISPlasma2018/IC-PLANTS2018  ( 名城大学 )   2018.3 

Visualization of plasma-generated reactive species delivered in liquid via a micro through-hole International conference

Koichi Ishikawa*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

ISPlasma2018/IC-PLANTS2018  ( 名城大学 )   2018.3 

Plasma-on-Chip: single-cell analysis using a non-thermal atmospheric pressure plasma International conference

Shinya Kumagai, Mime Kobayashi **, Tetsuji Shimizu **, Minoru Sasaki

The first International Workpshop by the 174th Committee JSPS "Symbiosis of Biology and Nanodevice"  ( 名城大学 )   2017.12 

MEMS技術（曲面への反射防止微細パターン転写、他） Invited International conference

佐々木　実

第７回　可視赤外線観測装置技術ワークショップ  ( 京都大学　北部キャンパス　益川ホール )   2017.11  国立天文台研究集会

Fabrication of Trench Having Smooth Sidewall at Nano-level Invited International conference

Minoru Sasaki

The 6th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA)  ( Phan Thiet, Vietnam )   2017.11  Institute for Nanotechnology, Vietnam National University - Ho Chi Minh City

超電導電力貯蔵装置を小型化するための 渦巻溝形成と壁面の低スキャロップ化 International conference

許 哲瑋*, 熊谷　慎也, 佐々木　実, 鈴木 康広 **, 日置 辰視 **, 元廣 友美 **, 盧 柱亨 **, 高井 治 **

第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 広島県広島市 広島国際会議場 )   2017.11  電気学会 センサ・マイクロマシン部門

細胞サンプル搬送機能を持つプラズマ処理デバイス International conference

柄﨑克樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第78回応用物理学会春季学術講演会  ( 福岡 )   2017.9 

（Ｅ部門）-日本・台湾国際交流シンポジウムを中心として- International conference

佐々木　実

電気学会全国大会シンポジウム H3 学会の国際化に向けたビジョンと取り組み  ( 富山 )   2017.3  電気学会

ウェアラブルセンサによる着席状態での呼吸計測 International conference

Kundu Suburata マイクロメカトロニクス*, 寺澤 槙恵 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第64回春季応用物理学学術講演会  ( パシフィコ横浜 )   2017.3  応用物理学会

Analyzing Activities of L929 Cells Irradiated with An Atmospheric Pressure Plasma International conference

Shinya Kojima マイクロメカトロニクス*, Mime Kobayashi **, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

第64回春季応用物理学学術講演会  ( 横浜 )   2017.3  応用物理学会

Multi-Stepped Silicon Micro-Trenches with Smooth Sidewalls to Deposite Superconducting Material for Magnetic Energy Storage International conference

シュ　ジャウェイ, Shinya Kumagai, Yasuhiro Suzuki Nagoya University*, Tatsumi Hioki Nagoya University*, Tomohiro Motoyoshi Nagoya University*, Minoru Sasaki

ISPlasma2017/IC-PLANTS2017  ( 中部大学 )   2017.3 

Analysis of Plasma-Generated Reactive Species in Liquid International conference

Yusuke Nakanishi*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

ISPlasma2017/IC-PLANTS2017  ( Chubu University )   2017.3 

BIPOLAR ELECTROSTATIC DRIVING FOR HIGH-RESOLUTION ISOLATED BATTERY VOLTAGE SENSOR International conference

Minoru Sasaki, Naoki Nobunaga マイクロメカトロニクス*, Hiroki Ishihara Yazaki Corporation*, Makoto Ishii Yazaki Corporation*, Shinya Kumagai

The 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems  ( Las Vegas, USA )   2017.1  IEEE

3次元フォトリソグラフィ（マイクロコイル形成などへの応用） International conference

佐々木　実

第４回日本磁気学会超高感度マイクロ磁気センサ専門研究会  ( 名古屋ビジネス・インキュベータ nabi / 白金 )   2016.11  日本磁気学会

Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (III) International conference

Y. Suzuki*, N. Iguchi*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki**, Tomoyoshi Motohiro, N. Sugimoto**, シュ　ジャウェイ, R. Sato**, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa**

1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan   ( Kanazawa,Japan )   2016.11  日本低温・超伝導学会

Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries (IV) International conference

N. Iguchi*, Y. Suzuki*, K. Adachi*, T. Hioki*, A. Ichiki**, Tomoyoshi Motohiro, N. Sugimoto**, シュ　ジャウェイ, R. Sato**, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Y. Sakurahara*, K. Okabe*, O. Takai*, H. Honma*, H. Watanabe*, H. Sakoda*, H. Sasagawa*, H. Doy*, S. Zhou*, T. Nozaki*, H. Hori*, S. Nishikawa**

1st Asian International Cryogenic Materials Conference-50th Anniversary Conference of Cryogenics and Superconductivity Society Japan   ( Kanazawa,Japan )   2016.11  日本低温・超伝導学会

皮膚を介して形成される容量に基づくウェアラブル呼吸センサ International conference

佐々木　実

応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会講習会  ( 東京理科大学 森戸記念館 )   2016.11  応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会

MEMS振動子を用いた絶縁型電圧センサの高耐圧化 International conference

佐々木　実, 和田祐樹 マイクロメカトロニクス*, 延永尚記 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 石原裕己 矢崎総業*, 石居真 矢崎総業*

第8回集積化MEMSシンポジウム  ( 平戸市、長崎県 )   2016.10  応用物理学会集積化MEMS研究会

Stepped Micro-trenches Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing International conference

佐々木　実, シュ　ジャウェイ, 佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

第 33 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 平戸市、長崎県 )   2016.10  電気学会

Si Micro-Optical-Bench Combining with Fiber and Flow Channel for Absorption Spectroscopy of Cells in Suspension International conference

Minoru Sasaki, M. Yoshimi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Yasutake Ohishi

International Conference on Solid State Devices and Materials  ( 筑波 )   2016.9  応用物理学会

フォトリソグラフィとUVキュア処理によるナノギャップ電極アレイ形成 International conference

粂内 真子 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 趙 亨峻 名古屋大学*, 近藤 博基 名古屋大学*, 石川 健治 名古屋大学*, 堀 勝 名古屋大学*, 佐々木　実

第77回応用物理学会秋季学術講演会  ( 新潟 )   2016.9  応用物理学会

Plasma-on-Chip Device: Plasma Treatment for Cells in Microwells International conference

Shinya Kumagai, Tomohiro Okada マイクロメカトロニクス*, Koichi Ishikawa マイクロメカトロニクス*, Mime Kobayashi Nara Institute of Science and Technology*, Tetsuji Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki

KJF-ICOMEP 2016  ( ACROS Fukuoka, Fukuoka )   2016.9 

A micro plasma chip using dielectric barrier discharge International conference

Tomohiro Okada*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( National University of Singapore, Singapore )   2016.8  IEEE

Silicon MEMS for Two Different Light Sources Invited International conference

Minoru Sasaki

2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Singapore )   2016.8  IEEE

3D devices realized by photolithography using spray coating of photoresist Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

2016 Collaborative Conference on 3D & Materials Research  ( Incheon, Korea )   2016.6 

Activating Biological Reactions with A Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma International conference

Yuto Nakayama マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Hiroshi Hashizume Nagoya University*, Takayuki Ohta Meijo University*, Masafumi Ito Meijo University*, Masaru Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

IEEE-NEMS2016  ( Matsushima, Sendai, Japan )   2016.4  IEEE

Effect of Grating Profile on the Infrared Wavelength Coupled with Surface Plasmon Polariton International conference

Shuga Yahagi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

IEEE-NEMS2016  ( Matsushima, Sendai, Japan )   2016.4  IEEE

容量計測型呼吸センサにおける電極配置と信号の安定化 International conference

佐々木　実, 寺澤槙恵 マイクロメカトロニクス*, 苅田桃子 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

第63回　応用物理学会　春季学術講演会  ( 東京工業大学 )   2016.3  応用物理学会

Meacurement of Reactive Species for the Development of Plasma-on-Chip International conference

J.-S. Oh Kochi Univeristy of Technology*, S. Kojima Micromechatronics*, A. Hatta Kochi Univesity of Technology*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

第63回応用物理学会春季学術講演会  ( 東京工業大学　大岡山キャンパス )   2016.3  応用物理学会

Plasma-on-Chip: Evidence of Reactive Species Through Through-holes International conference

J.-S. Oh Kochi University of Technology*, S. Kojima Micromechatronics*, A. Hatta Kochi University of Technology*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

ISPlasma2016/IC-PLANTS2016  ( Nagoya University, Japan )   2016.3 

Plasma-on-chip device for analyzing interactions between plasma gas and individual cells International conference

C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies 2015  ( Honolulu, HI, USA )   2015.12 

Membrane-Type Microheater for Wavelength Selective Infrared Emitter and CO2 gas Sensing International conference

Minoru Sasaki, Hiroki Ishihara Yazaki Corp.*, Katsuya Masuno Yazaki Corp.*, Makoto Ishii Yazaki Corp.*, Shinya Kumagai

International Display Workshops '15  ( 大津 )   2015.12 

Unconstrained Wearable Respiratory Sensor Across Skin Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

The 9th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2015)  ( 静岡大学、浜松 )   2015.12 

Wavelength Selective IR Emitter Using MEMS Microheater for CO2 Monitoring Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

The 5th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2015)  ( Vung Tau, Vietnam )   2015.11  Vietnam National University Ho Chi Minh City

密着型呼吸センサ International conference

佐々木　実, 寺澤槙恵 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  ( 新潟 )   2015.10  日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門

フォトリソグラフィと UV キュア処理によるナノギャップ電極形成 International conference

佐々木　実, 粂内真子 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 趙享峻 名古屋大学*, 今井駿 名古屋大学*, 近藤博基 名古屋大学*, 石川健治 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*

第 32 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 新潟 )   2015.10  平成 27 年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会

Respiratory Sensor Measuring Capacitance Constructed Across Skin International conference

Minoru Sasaki, M. Terasawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

2015 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( 北海道 )   2015.9 

Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application International conference

Minoru Sasaki, Y. Nakayama マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, H. Hashizume Nagoya Univ.*, T. Ohta Meijo Univ.*, M. Ito Meijo Univ.*, M. Hori Nagoya Univ.*

2015 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( 北海道 )   2015.9 

Temperature-Lowered Plasma Treatment by Controlling Direction of Supplying Reactive Species for Biological Application International conference

Y. Nakayama Micromechatronics*, Shinya Kumagai, H. Hashizume Nagoya University*, T. Ohta Meijo University*, M. Ito Meijo University*, M. Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

2016 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Sapporo Convention Center )   2015.9 

Resonant Floating Electrode in Inductively Coupled Micro-Plasma Source for Power Efficiency International conference

Minoru Sasaki, K. Tsukasaki マイクロメカトロニクス*, D. Yasumatsu マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Takeda Nagoya Univ.*, M. Hori Nagoya Univ.*

The 10th Asian-European International Conference On Plasma Surface Engineering  ( Jeju Island, Korea )   2015.9 

微細パターン形成のためのフォトレジストのUVキュア処理 International conference

佐々木　実, 岩本拓也 マイクロメカトロニク*, 熊谷　慎也

電気学会マイクロマシン・センサシステム技術委員会 研究会  ( 立命館大学, 大阪 )   2015.9  ナノスケール現象の MEMS 応用に関する調査専門委員会

ギャップクロージング型電極を利用した絶縁型電圧センサ International conference

佐々木　実, 延永尚記 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 石原裕己 矢崎総業*, 石居真 矢崎総業*

第76回 応用物理学会 秋季学術講演会  ( 名古屋 )   2015.9  応用物理学会

Plasma-on-Chip for Treatment of Individual Cells Cultured in Medium International conference

C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

第76回応用物理学会秋季学術講演会  ( 名古屋国際会議場 )   2015.9  応用物理学会

Irradiating Cells Cultured in Microwells with Low-Temperature Atmospheric Pressure Plasma International conference

Shinya Kumagai, C.-H. Chang Micromechatronics*, ジョン　ゾン　ヒョン, M. Kobayashi NAIST*, T. Shimizu terraplasma, GmbH*, Minoru Sasaki

The 10th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE2015)  ( Jeju, Korea )   2015.9 

Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices Invited International conference

Shinya Kumagai, I. Yamashita NAIST*, Y. Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

15th International Meeting on Information Display  ( Daegu, Korea )   2015.8 

研究者・技術者のためのE部門の活用方法を考えよう Invited International conference

佐々木　実

平成27年　電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会　20周年企画　パネルディスカッション  ( 九州大学医学部百年講堂 )   2015.7  平成27年　電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会

次世代天文学観測装置用の新しい高分散回折格子 International conference

佐々木　実, 海老塚昇 理化学研究所*, 岡本隆之 理化学研究所*, 森田晋也 理化学研究所*, 山形豊 理化学研究所*, 魚本幸 東北大学*, 橋本信幸 シチズンホールディングス（株）*, 桐野宙治 （株）クリスタル光学開発部*, 尾崎忍夫 国立天文台TMT推進室*, 青木和光 国立天文台TMT推進室*

第40回光学シンポジウム  ( 東京大学　生産技術研究所 )   2015.6  一般社団法人　日本光学会

POWER EFFICIENT MICROHEATER FOR WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMITTER AND CO2 GAS SENSING International conference

Minoru Sasaki, H. Ishihara Yazaki Corp.*, K. Masuno Yazaki Corp.*, M. Ishii Yazaki Corp.*, Shinya Kumagai

The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015)  ( Anchorage, Alaska, USA )   2015.6 

Characterization of Vibration-type Infrared Thermal Detector on Temperature, Light, and Thermal Infrared International conference

ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita*, Yukiharu Uraoka*, Minoru Sasaki

18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2015  ( Dena'ina Convention Center, 600 West 7th Avenue Anchorage, Alaska 99501, USA )   2015.6  IEEE

Collecting biological samples for accurate optical absorption spectroscopy International conference

Y. Matsuura Micromechatronics*, Shinya Kumagai, ディンハン　デン, Yasutake Ohishi, Minoru Sasaki

Eighth International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE8)  ( Funabori, Tokyo, Japan )   2015.6 

IRRADIATING LOW-TEMPERATURE ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA TO CELLS USING MEMS NOZZLE International conference

Y. Nakayama Micromechatronics*, R. Shimane Micromechatronics*, Shinya Kumagai, H. Hashizume Nagoya University*, T. Ohta Meijo Univeristy*, M. Ito Meijo University*, M. Hori Nagoya University*, Minoru Sasaki

Transducers 2015  ( Anchorage, Alaska, USA )   2015.6 

運動時の呼吸リズム観察への新しい呼吸モニターの応用 International conference

佐々木　実, 齊藤満 愛知学院大学*, 水藤弘吏 愛知学院大学*

第18回日本体力医学会東海地方会学術集会  ( あいち健康の森健康科学総合センター )   2015.3 

室内CO2モニタリングのための波長選択赤外光源 International conference

佐々木　実, 熊谷　慎也

第62回　応用物理学会　春季学術講演会  ( 東海大学 )   2015.3  応用物理学会

容量計測型呼吸センサのための衣服組み込み電極 International conference

佐々木　実, 寺澤槙恵 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

第62回　応用物理学会　春季学術講演会  ( 東海大学 )   2015.3  応用物理学会

THERMOCOUPLES ON TRENCH SIDEWALL IN CHANNEL FRONTING ON FLOWING MATERIAL International conference

Minoru Sasaki, Masahiro Shibata マイクロメカトロニクス*, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

28th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2015)  ( Estoril, Portugal )   2015.1 

MEMS Plasma Source and Combinations with Microfluidic Functions Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

International Conference on Small Science (ICSS 2014)   ( 香港 )   2014.12 

Resonator-Type Infrared Detector Released by Plasmaless Sacrificial Si Etching
 International conference

Minoru Sasaki, ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, S. Tajima 名古屋大学*, T. Hayashi 名古屋大学*, K. Yamakawa 片桐エンジニアリング*

International Display Workshops Volume 21  ( 新潟 )   2014.12 

3D processing using resist spray coating or microplasma nozzle Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

The 8th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2014)  ( 浜松 )   2014.12 

逆テーパをもつバイアススプリングによる光ファイバ固定とマイクロ流路デバイス中でのスペクトル測定 International conference

佐々木　実, 飯村ひかる マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, 熊谷　慎也, 大石　泰丈

第6回集積化MEMSシンポジウム  ( 松江 )   2014.10  応用物理学会　集積化MEMS研究会

容量計測による衣服型呼吸センサ International conference

佐々木　実, クンドウ スブラタ クマル マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( 松江 )   2014.10  電気学会

NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(II) International conference

佐々木　実, 田嶋聡美 名古屋大学*, 林俊雄 名古屋大学*, 石川健治 名古屋大学*, 関根誠 名古屋大学*, 山川晃司 片桐エンジニアリング*, 堀勝 名古屋大学*

第75回 応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大学 )   2014.9  応用物理学会

次世代天文学観測装置用の新しい回折格子 International conference

佐々木　実, 海老塚昇　ら 理化学研究所*

精密工学会秋季大会学術講演会  ( 鳥取大学 )   2014.9 

壁面に熱電対を配置したマイクロ流路デバイス International conference

佐々木　実, 柴田真宏 マイクロメカトロニクス*, 山口貴大 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

第75回 応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大学 )   2014.9  応用物理学会

MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 International conference

佐々木　実, 柄崎克樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

第75回 応用物理学会秋季学術講演会  ( 北海道大 )   2014.9  応用物理学会

A Micro-Machined IR Thermal Detector Using Torsional Oscillation: Improvement of Resonator Profile for High Sensitivity International conference

ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita NAIST*, Yukiharu Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

2014 International Conference on Solid Stae Devices and Materials  ( Tsukuba, Ibaraki )   2014.9  The Japan Society of Applied Physics

DESIGNING POSITIONS OF GRAIN BOUNDARIES IN Si THIN-FILM FOR LOW-ENERGY-LOSS OPTICAL MEMS/NEMS DEVICES International conference

Takashi Tomikawa マイクロメカトロニクス*, Jonghyeon Jeong マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita Nara Institute of Scence and Technology*, Yukiharu Uraoka Nara Institute of Sicence and Technology*, Minoru Sasaki

2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( University of Strathclyde )   2014.8  IEEE Photonics Society

SHIELD EFFECT OF FLOATING ELECTRODE FOR POWER EFFICIENT MICRO-PLASMA VUV LIGHT SOURCE International conference

Minoru Sasaki, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Daisuke Yasumatsu マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Masaru Hori 名古屋大学*

2014 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Glasgow, UK )   2014.8 

Vibrational IR MEMS Sensor: Applicationof Torsion-Bars Tension-Enhanced by Bio-Nano Crystallization for Highly Sensitive Detection International conference

ジョン　ゾン　ヒョン, Shinya Kumagai, Ichiro Yamashita NAIST*, Yukiharu Uraoka NAIST*, Minoru Sasaki

2014 Interrnational Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Glasgow, Scotland )   2014.8  University of Strathclyde

Thermocouples Fabricated on Microfluidic Trench Sidewall Capped with Film International conference

Minoru Sasaki, Masahiro Shibata マイクロメカトロニクス*, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)  ( 東京大学　本郷キャンパス )   2014.7 

3D lithography and micro-plasma possibilities for combining with precision machining International conference

Minoru Sasaki

International Symposium on Micro/Nano Mechanical Machining and Manufacturing（ISMNM2014）  ( Xi'an International Conference Center, 西安, 中国 )   2014.4  平成26年度日本学術振興会二国間交流事業セミナーJSPS・NSFC主催

NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(I) International conference

佐々木　実, 田嶋聡美 名古屋大学*, 林俊雄 名古屋大学*, 石川健治 名古屋大学*, 関根誠 名古屋大学*, 山川晃司 片桐エンジニアリング*, 堀勝 名古屋大学*

第61回応用物理学会春季学術講演会  ( 青山学院大学, 相模原市 )   2014.3  応用物理学会

MEMS大気圧プラズマ光源の省電力化 International conference

佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

第61回応用物理学会春季学術講演会  ( 青山学院大学　相模原キャンパス )   2014.3  応用物理学会

MEMSによるマイクロ流体界面での反応性プラズマ形成 International conference

佐々木　実, 柄崎克樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也

日本機械学会 東海支部 第63期総会・講演会  ( 大同大学, 滝春校舎, 名古屋市 )   2014.3  日本機械学会 東海支部

バイオナノプロセスのMEMS応用 Invited International conference

熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

第61回応用物理学会春季学術講演会　  ( 青山学院大学　相模原キャンパス )   2014.3  応用物理学会

水リフトオフ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜のサブミクロンパターニング International conference

丹羽貴大 金沢大学*, 中西一浩 金沢大学*, 熊谷　慎也, 川江健 金沢大学*, 森本章治 金沢大学*, 佐々木　実

第61回応用物理学会春季学術講演会  ( 青山学院大学　相模原キャンパス )   2014.3  応用物理学会

The relationship between the pressure and the Si etch rate using the reaction of F2 + NO → F + FNO International conference

Minoru Sasaki, S. TAJIMA 名古屋大学*, T. HAYASHI 名古屋大学*, K. ISHIKAWA 名古屋大学*, M. SEKINE 名古屋大学*, K. YAMAKAWA 片桐エンジニアリング*, M. HORI 名古屋大学*

International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials / International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma2014/IC-PLANTS2014)  ( 名古屋 )   2014.3  応用物理学会

Delay Masking Process Using UV Cured Resist Layer Combined with Deep Reactive Ion Etching for Multiple Height Microstructures International conference

佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014  ( Meijo University, Japan )   2014.3  The Japan Society of Applied Physics, ISPlasma 2014/IC-PLANT2014 Organizing Committee

MEMS Nozzle for Localized Irradiation of Atmospheric Pressure Plasma Trapping Micro-Samples International conference

島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 橋爪博司 名城大学*, 太田貴之 名城大学*, 伊藤昌文 名城大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014  ( Meijo University, Japan )   2014.3  The Japan Society of Applied Physics, ISPlasma 2014/IC-PLANT2014 Organizing Committee

Length Effect of Floating Wire Electrode In Transportable 144mhz Inductively Coupled Micro-Plasma Source International conference

安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 武田圭吾 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

ISPlasma 2014 / IC-PLANTS 2014  ( Meijo University, Japan )   2014.3  The Japan Society of Applied Physics, ISPlasma 2014/IC-PLANT2014 Organizing Committee

MEMS Infrared Approaches to Detector Based on Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

Photonics West 2014  ( San Francisco, California, United States )   2014.2  SPIE MOEMS-MEMS

Evaluation of the loss of F during the Si chemical dry etching using the reaction of F 2 + NO → F + FNO International conference

Minoru Sasaki, Satomi Tajima 名古屋大学*, Toshio Hayashi 名古屋大学*, Koji Yamakawa 片桐エンジニアリング*, Kenji Ishikawa 名古屋大学*, Shoji Den 片桐エンジニアリング*, Makoto Sekine 名古屋大学*, Masaru Hori 名古屋大学*

8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)  ( 福岡 )   2014.2 

A Microplasma Reactor Chip for Utilizing Gas-Gas Interface International conference

Minoru Sasaki, Masahiro Hashimoto マイクロメカトロニクス*, Katsuki Tsukasaki マイクロメカトロニクス*, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)  ( Fukuoka )   2014.2 

Surface Plasmon Polariton Based Wavelength Selective IR Emitter Combined with MEMS Heater with Reduced Thermal Loss International conference

Minoru Sasaki, T. Sawada マイクロメカトロニクス*, T. Chikuba マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Masuno 矢崎総業*, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing (ICRP-8/SPP-31)  ( 福岡 )   2014.2 

ENHANCED WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMISSION USING SURFACE PLASMON POLARITON AND THERMAL ENERGY CONFINED IN MICRO-HEATER International conference

Minoru Sasaki, T. Sawad マイクロメカトロニクス*, K. Masuno 矢崎総業*, Shinya Kumagai, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2014)  ( San Francisco,USA )   2014.1  IEEE

Birefringence Bragg Binary (3B) Grating, Quasi-Bragg Grating and Immersion Gratings International conference

佐々木　実, N. Ebizuka ら 理化学研究所*

Proc. SPIE  ( Montréal, Quebec, Canada )   2014 

Localized Microplasma Generation in MEMS Gas Channel International conference

Minoru Sasaki, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Daisuke Yasumatsu マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Masaru Hori 名古屋大学*

20th International Display Workshops (IDW'13)  ( 札幌 )   2013.12 

Advanced Thermal MEMS for Resonant Infrared Detector Using Nonlinear Oscillation and Wavelength Selective Emitter Using Surface Plasmon Polariton Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

The 7th International Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2013)  ( 浜松 )   2013.12 

MEMS Plasma Source and its Applications Invited International conference

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

The 4th International Workshop on Nanotechnology and Application (IWNA 2013)  ( Vung Tau, Vietnam )   2013.11 

Infrared Detection Based on Nonlinear Oscillation of Thin Film Resonator International conference

Minoru Sasaki, Daisuke Momonoi マイクロメカトロニクス*, Tatsuya Yamazaki マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

2013 International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science (MHS2013)  ( 名古屋 )   2013.11 

マイクロ・ナノ構造を利用した大気圧プラズマ紫外光源とプラズモニック赤外光源 Invited International conference

佐々木　実

第3回次世代ものづくり基盤技術産業展 Tech Biz Expo 2013  ( 名古屋メッセ )   2013.10 

A Micro Plasma Reactor Chip: Using Interface in Micro-/Nano-Channels towards Materials Processing International conference

橋本將寛 マイクロメカトロニクス*, 佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

IEEE Nanotechnology Meterials and Devices Conference  ( National Cheng Kung University, Taiwan )   2013.10  IEEE

A Thermocouple Device Fabricated on Trench Sidewall for Measuring Accurate Temperature　of Microfluid International conference

山口貴大 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

2013 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan )   2013.9  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

Microfluidic Device with Accurately Aligned Optical Fibers for Measuring Transmission Spectrum Using Supercontinuum Light International conference

飯村ひかる マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン 光機能物質*, 熊谷　慎也, 大石　泰丈, 佐々木　実

2013 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan )   2013.9  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

Localized Plasma Treatment for Individual Cells International conference

島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

2013 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka, Japan )   2013.9  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Soft Resist Masks Combined with UV Curing International conference

Minoru Sasaki, Ryoto Sato マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

第26回プラズマ材料科学シンポジウム（SPSM26）  ( 九州大学 )   2013.9 

A microfluidics device with thermocouples fabricated on sidewall for precise monitoring of biomolecule-dispersed solution International conference

Minoru Sasaki, Takahiro Yamaguchi マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

2013 JSAP-MRS Joint Symposia  ( 京都 )   2013.9  応用物理学会

光電池垂直壁を介した配線による昇圧とマイクロミラーの静電駆動 International conference

山本太一 マイクロメカトロニクス*, 久保裕慎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

醍74回応用物理学会学術秋季学術講演会  ( 同志社大学　京田辺キャンパス )   2013.9  応用物理学会

Wavelength Selective Infrared Emission via Surface Plasmon Polariton from MEMS Heater for CO2 Gas Sensin International conference

Minoru Sasaki, Katsuya Masuno 矢崎総業*, Takahiro Sawada マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Makoto Ishii 矢崎総業*, Shouichi Uematsu 矢崎総業*

2013 JSAP-MRS Joint Symposia  ( 京都 )   2013.9  応用物理学会

Niフェリチンを用いたSi薄膜カンチレバー振動子の均一結晶化 International conference

冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

第74回応用物理学会秋季学術講演会  ( 同志社大学　京田辺キャンパス )   2013.9  応用物理学会

AN INFRARED DETECTOR BASED ON NONLINEAR OSCILLATION International conference

桃井大輔 マイクロメカトロニクス*, 山崎辰也 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa, Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

AN INFRARED DETECTOR BASED ON NONLINEAR OSCILLATION Invited International conference

桃井大輔 マイクロメカトロニクス*, 山崎辰也 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

MICRO-CHANNEL DEVICE FOR SPECTRUM MEASUREMENT USING OPTICAL FIBER ALIGNED WITH BIAS SPRING WITH REVERSELY TAPERED PROFILE International conference

Minoru Sasaki, Hikaru Iimura マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, Shinya Kumagai, Yasutake Ohishi

2013 IEEE International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( 金沢 )   2013.8  IEEE Photonics Society

INFRARED COLLECTING MICROLENS INTEGRATED WITH SI PHOTO CELL International conference

青沼拓朗 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

INFRARED COLLECTING MICROLENS INTEGRATED WITH SI PHOTO CELL Invited International conference

青沼拓郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

SURFACE PLASMON POLARITON BASED WAVELENGTH SELECTIVE IR EMITTER COMBINED WITH MICROHEATER International conference

澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 桝野雄矢 矢崎総業株式会社*, 熊谷　慎也, 石居真 矢崎総業株式会社*, 植松彰一 矢崎総業株式会社*, 佐々木　実

Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

A MICROPLASMA CHIP FOR RADICAL MONITOR Invited International conference

佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

SURFACE PLASMON POLARITON BASED WAVELENGTH SELECTIVE IR EMITTER COMBINED WITH MICROHEATER Invited International conference

澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 桝野雄矢 矢崎総業株式会社*, 熊谷　慎也, 石居真 矢崎総業株式会社*, 植松彰一 矢崎総業株式会社*, 佐々木　実

Optical MEMS and NAnophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

A MICROPLASMA CHIP FOR RADICAL MONITOR International conference

佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

Optical MEMS and Nanophotonics 2013  ( Kanazawa Bunka Hall, Japan )   2013.8  IEEE

Etching profile control of alignment spring for combining MEMS micro-channel device and optical fibers International conference

Minoru Sasaki, H. Iimura マイクロメカトロニクス*, ディンハン　デン, Shinya Kumagai, Yasutake Ohishi

Abstracts of The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12)  ( 幕張メッセ )   2013.7 

ISOLATED VOLTAGE SENSING USING MICRO-RESONATOR International conference

Minoru Sasaki, N. Nobunaga マイクロメカトロニクス*, S. Hasegawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Masuno 矢崎総業*, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013.6 

A NOVEL INFRARED DETECTOR USING NONLINEAR VIBRATION FOR HIGH SENSITIVITY International conference

Minoru Sasaki, T. Yamazaki マイクロメカトロニクス*, S. Ogawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai

The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013.6 

EXCLUDING GRAIN BOUDARIES FROM THIN SI FILM MEMS/NEMS DEVICES International conference

Minoru Sasaki, T. Tomikawa マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, I. Yamashita 奈良先端大*, Y. Uraoka 奈良先端大*

The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013.6 

INDIRECT WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED MICRO-EMITTER USING SURFACE PLASMON POLARITON FOR GAS SENSING International conference

Minoru Sasaki, T. Sawada マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, K. Masuno 矢崎総業*, M. Ishii 矢崎総業*, S. Uematsu 矢崎総業*

The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'13)  ( Barcelona, Spain )   2013.6 

シリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり International conference

佐々木　実, 梶原建 クリーンルーム*

日本化学会　第93春季年会  ( 立命館大学 琵琶湖草津キャンパス )   2013.3  日本化学会

電力分野へのセンサ・マイクロシステム応用の可能性について International conference

佐々木　実, 柴﨑一郎 豊橋技術科学大学*

平成25年 電気学会全国大会   ( 名古屋 )   2013.3  電気学会

Ni フェリチンを用いたSi 薄膜振動子の高効率化 International conference

冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端大*, 浦岡行治 奈良先端大*, 佐々木　実

第60回　応用物理学会学術講演会  ( 神奈川工科大学 )   2013.3  応用物理学会

CO2 ガスセンサのための波長選択赤外放射 International conference

澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第60回応用物理学会学術講演会  ( 神奈川工科大学 )   2013.3  応用物理学会

着衣可能な容量型呼吸センサ International conference

熊谷　慎也, クンドゥスブラタクマル マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

第60回応用物理学会学術講演会  ( 神奈川工科大学 )   2013.3  応用物理学会

Transportable micro-plasma VUV light source system International conference

安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 竹田圭吾 名古屋大学*, 海老塚昇 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science  ( Gero, Japan )   2013.2 

Local micro-plasma irradiation using MEMS nozzles International conference

島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

The 6th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science  ( Gero, Japan )   2013.2 

MEMSノズルを利用した大気圧プラズマ照射によるマイクロ加工 International conference

島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 太田貴之 名城大学*, 伊藤昌文 名城大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

第30回プラズマプロセシング研究会 SPP-30  ( 静岡、浜松 )   2013.1 

MEMS plasma VUV light source International conference

佐藤龍仁 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya Univeristy )   2013.1  Aichi Science & Tenology Foundation

3D wiring of vertically etched photo cell islands high voltage generation International conference

熊谷　慎也, 山本太一 マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya University )   2013.1  Aichi Science & Technology Foudation

VUV emission from transportable micro plasma light source system International conference

安松大輔 マイクロメカトロニクス*, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 竹田圭吾 名古屋大学*, 海老塚昇 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

5th International Sympojiumu on Advanced Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials  ( Nagoya University )   2013.1  Aichi Science & Technology Foundation

Indirect Plasmonic Thermal MEMS Emitter for Gas Sensing Invited International conference

佐々木　実, 熊谷　慎也

The 6th Internatinal Nanotechnology/MEMS Seminar (INMS2012)  ( Hamamatsu, Japan )   2012.12 

Micromachining techniques for wider variety of 3D devices Invited International conference

佐々木　実, 熊谷　慎也

The 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference  ( Kobe, Japan )   2012.11  応用物理学会

ドラム型マイクロミラーの平面度評価 International conference

クンドゥ スブラタ クマル, 疋田晃義 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第4回集積化MEMS シンポジウム  ( 小倉 )   2012.10  応用物理学会

垂直壁を利用して直列接続したマイクロ光電池アレイ International conference

山本太一 マイクロメカトロニクス*, 久保裕慎 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」  ( 小倉 )   2012.10  電気学会E部門

マイクロ振動子を利用した非接触電圧測定 International conference

長谷川聡 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」  ( 小倉 )   2012.10  電気学会E部門

可搬マイクロプラズマ光源システム International conference

松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 竹田圭吾 名古屋大学*, 海老塚昇 名古屋大学*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

第73回応用物理学会学術講演会  ( 松山 )   2012.9  応用物理学会

MEMSノズルを利用したマイクロプラズマ照射 International conference

島根竜太郎 マイクロメカトロニクス*, 浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

日本機械学会2012年度年次大会  ( 金沢 )   2012.9  日本機械学会

3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil International conference

ユン キヨル, 藤﨑　敬介, 佐々木　実

ISPlasma2012  ( 中部大学 )   2012.3 

レジストのスプレー成膜と斜め露光を用いた立体加工 Invited International conference

熊谷　慎也, 佐々木　実

レーザー学会学術講演会第32回年次大会  ( ＴＫＰ仙台カンファレンスセンター )   2012.1  レーザー学会

Electromagnetically Energized Wireless Driving of Micromirror Invited International conference

Minoru Sasaki

Electromagnetically Energized Wireless Driving of Micromirror  ( Sanaru Hall, Shizuoka University )   2011.12  Shizuoka University

Reflection-type Wavelength Selective IR Emitter Using Surface Plasmon Polariton for Gas Sensing Invited International conference

Minoru Sasaki

Reflection-type Wavelength Selective IR Emitter Using Surface Plasmon Polariton for Gas Sensing  ( Vung Tau, Vietnam )   2011.11  The 3rd International Workshop on Nanotechnology and Application - IWNA 2011

UVキュアによるレジスト硬化を利用した多段階立体構造のエッチング加工 International conference

熊谷　慎也, 疋田晃義 マイクロメカトロニクス*, 岩本拓也 マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011.3  応用物理学会

傍熱型波長選択プラズモニック赤外光源 International conference

桝野雄矢 マイクロメカトロニクス*, 澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011.3  応用物理学会

3次元立体構造上にスプレー塗布されるレジスト膜厚の均一化 International conference

熊谷　慎也, 福田直也 マイクロメカトロニクス*, 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, 佐々木　実

第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011.3  応用物理学会

スパイラルコイル型マイクロICPに導入した浮遊電極による点火特性 International conference

浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

第58回応用物理学関係連合講演会  ( 神奈川工科大学 )   2011.3  応用物理学会

マイクロミラー用薄膜トーションバーの精密計測とハードスプリング効果に関する考察 International conference

小川翔平 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

日本機械学会　東海支部　第60期　総会・講演会  ( 豊橋技術科学大学 )   2011.3  日本機械学会　東海支部

赤外吸収式ガスセンサのための小型・省電力波長選択光源 International conference

澤田貴裕 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

日本機械学会 東海学生会 第42回学生員卒業研究発表講演会  ( 豊橋技術科学大学 )   2011.3  日本機械学会 東海学生会

Increasing tensile stress in poly-Si film structure by metal-induced　lateral crystallization　using ferritin supramolecules with Ni nanoparticles International conference

Shinya Kumagai, Miyachi Shusuke マイクロメカトロニクス*, Yamashita Ichiro 奈良先端科学技術大学院大学*, Uraoka Yukiharu 奈良先端科学技術大学院大学*, Minoru Sasaki

The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies  ( Hawaii convention center, Honolulu, Hawaii, USA )   2010.12  Canadian Society for Chemistry (2010 Congress Host), American Chemical Society, Chemical Society of Japan, New Zealand Institute of Chemistry, Royal Australian Chemical Institute, Korean Chemical Society, Chinese Chemical Society

Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror Invited International conference

佐々木　実

The 17th International Display Workshops, MEET2-3  ( Hakata, Japan )   2010.12  Society for information display

スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化 International conference

佐々木　実, 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, 福田直也 マイクロメカトロニクス*, 熊谷慎也 マイクロメカトロニクス*

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( くにびきメッセ、島根 )   2010.10  電気学会センサ・マイクロマシン部門

Absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical side walls International conference

Minoru Sasaki, Hironori Kubo マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai マイクロメカトロニクス*

第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム  ( くにびきメッセ、島根 )   2010.10  電気学会センサ・マイクロマシン部門

Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module International conference

Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

2010 International Conference of Solid State Devices and Materials  ( Tokyo Univerisity )   2010.9  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source International conference

Matsuyama Hiroki マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai, Hori Masaru 名古屋大学*, Minoru Sasaki

2010 International Conference on Solid State Devices and Materials  ( Tokyo University )   2010.9  THE JAPAN SOCIETY OF APPLIED PHYSICS

MEMS化に適した大気圧プラズマ光源 International conference

熊谷　慎也, 松山弘樹 マイクロメカトロニクス*, 堀勝 名古屋大学*, 佐々木　実

第71回秋季 応用物理学会学術講演会  ( 長崎大学 文教キャンパス )   2010.9  応用物理学会

MEMS 用Si 薄膜材料の内部応力増強に向けた International conference

熊谷　慎也, 宮地修輔 マイクロメカトロニクス*, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

日本機械学会 2010年度年次大会  ( 名古屋工業大学 )   2010.9  日本機械学会

レジストのスプレー成膜におけるアパーチャの効 International conference

福田直也 マイクロメカトロニクス*, 田嶋久義 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

日本機械学会　2010年度　年次大会  ( 名古屋工業大学 )   2010.9  日本機械学会

高輝度大気圧マイクロプラズマ International conference

浅野博敬 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

日本機械学会 2010年度年次大会  ( 名古屋工業大学 )   2010.9  日本機械学会

Enhanced Contrast of Wavelength Selective Mid-IR Detector Stable against Temperature Change International conference

Minoru Sasaki, Masuno Katsuya*, Kumagai Shinya*, Tashiro Kohji*

2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics  ( Sapporo, Japan )   2010.8  IEEE/LEOS

機械加工とリソグラフィ加工をつなぐ３次元リソグラフィ Invited International conference

佐々木　実

独立行政法人 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会 研究会  ( 四ッ谷, 弘済会館 )   2010.4  独立行政法人 日本学術振興会 将来加工技術第136委員会

第40回応用物理学会論文賞

2018   応用物理学会   Development of plasma-on-chip: Plasma treatment for individual cells cultured in media

S. Kumagai*, M. Kobayashi*, T. Shimizu*, Minoru Sasaki

IWSBN2017 Poster Award

2017.12   The 174th Committee JSPS   日本学術振興会 分子ナノテクノロジー 174委員会が主催する国際ワークショップ The first International Workshop by the 174th Committee JSPS on Symbiosis of Biology and Nanodevices において、ポスター発表した研究 "Plasma-on-Chip: single-cell analysis using a non-thermal atmospheric pressure plasma" が評価されたため。

Shinya Kumagai , Mime Kobayashi *, Tetsuji Shimizu *, Minoru Sasaki

Excellent Poster Presentation Award

2016.3   ISPlasma2016/IC-PLANTS2016   ISPlasma2016/IC-PLANTS2016にて、ポスター発表した論文「Gas-Sealed Inductively Coupled Plasma VUV Light Source」が評価されたため。

Y. Nakai NU Global Corp.*, H. Suzumura Micromechatronics*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

注目講演　第62回　応用物理学会　春季学術講演会　東海大学

2015   応用物理学会  

佐々木　実

第5回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞（応用物理学会）

2014.3   応用物理学会   第5回集積化ＭＥＭＳシンポジウムにおいて発表した論文が該当

柄埼克樹*, 熊谷　慎也, 佐々木　実

平成24年度ナノテクノロジープラットフォーム利用6大成果賞

2014.1   ナノテクノロジープラットフォームセンター   平成24年度のナノテクノロジープラットフォームを利用した日本全体の研究成果の中から、内容、装置共用、研究者間の連携が評価された。

佐々木　実, 田嶋聡美 名古屋大学*, 林俊雄 名古屋大学*

Best Paper Award(MHS2013)

2013.11   IEEE  

Daisuke Momonoi*, Tatsuya Yamazaki*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki

The 74th JSAP Autumn Meeting 2013, Poster Award

2013.10   応用物理学会  

冨川崇 マイクロメカトロニクス*, 熊谷　慎也, 山下一郎 奈良先端科学技術大学院大学*, 浦岡行治 奈良先端科学技術大学院大学*, 佐々木　実

応用物理学会 学術講演会　注目論文

2013.3   応用物理学会   2013年 応用物理学会春季学術講演会, 応用物理 Vol. 82, No.3, p.195. 合同セッションL, 29p-PA4-9「着衣可能な容量型呼吸センサ」 講演者 佐々木実

佐々木　実

Best Paper Award in 2010 International symposium (MHS2010)

2010.11   IEEE   国際会議 MHS2010に投稿した論文 "Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Patient Monitoring Outside the Hospital" by Katsuya Masuno, Shinya Kumagai and Minoru Sasaki, Toyota Technological Institute,Japan が評価されたため。

Masuno Katsuya マイクロメカトロニクス*, Shinya Kumagai , Minoru Sasaki