2024/07/22 更新

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ヤナセ アキヒサ
栁瀬 明久
Akihisa Yanase
所属
特任教員部門 栁瀬明久特任准教授研究室 特任准教授   
学位
工学博士 ( 1991年1月   東京大学 )
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研究分野

  • ナノテク・材料 / 応用物性

  • ナノテク・材料 / 結晶工学

  • ナノテク・材料 / 複合材料、界面

  • ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性

主な研究論文

  • Stranski-Krastanov growth of CuCl on MgO(001)

    A. Yanase and Y. Segawa

    Surf. Sci.   367   L1   1996年

    Optical selection rule and oscillator strength of confined exciton system in CuCl thin films

    Z.K. Tang, A. Yanase, T. Yasui, Y. Segawa and K. Cho

    Phys. Rev. Lett.   71 ( 9 )   1431   1993年

    In situ optical observation of oxygen-adsorption-induced reversible change in the shape of small supported silver particles

    Surf. Sci.   264   147   1992年

    In situ observation of oxidation and reduction of small supported copper particles using optical absorption and x-ray diffraction

    A. Yanase and H. Komiyama

    Surf. Sci.   248   11   1991年

    Adsorbate-induced lattice relaxation of small supported silver particles observed by an in situ x-ray diffraction technique

    A. Yanase, H. Komiyama and K. Tanaka

    Surf. Sci. Lett.   226   L65   1990年

経歴

  • 豊田工業大学   特任教員部門 栁瀬明久特任准教授研究室   特任准教授

    2022年4月 - 現在

  • 豊田工業大学   工学部先端工学基礎学科   助教授・准教授

    1999年4月 - 2022年3月

  • 理化学研究所   フロンティア研究システム・フォトダイナミクス研究センター   フロンティア研究員

    1994年10月 - 1999年3月

  • 理化学研究所   フロンティア研究システム・フォトダイナミクス研究センター   基礎科学特別研究員

    1991年10月 - 1994年9月

  • 理化学研究所   フロンティア研究システム・フォトダイナミクス研究センター   フロンティア研究員

    1991年4月 - 1991年9月

  • 理化学研究所   フロンティア研究システム   フロンティア研究員

    1990年4月 - 1991年3月

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学歴

  • 東京大学大学院   工学系研究科   化学工学

    1987年4月 - 1991年3月

      詳細

    国名: 日本国

  • 東京大学大学院   工学系研究科   化学工学

    1985年4月 - 1987年3月

      詳細

    国名: 日本国

所属学協会

  • 日本物理学会

  • 日本化学会

  • 応用物理学会

研究テーマ

  • 薄膜パターン作製用親水性高分子ゲルテンプレートの作製

    栁瀬 明久

    2018年度 - 現在

     詳細

    本研究の目的は、リフトオフ用フォトレジストパターンを出発点として親水性高分子ゲルテンプレートを経由して有機高分子薄膜パターンへ変換する簡便な方法を明らかにすることである。このプロセスは、パッチ状Ge薄膜作製プロセスにおける試料作製に応用するために研究を進めているが、汎用的な技術として意義が大きいと考える。親水性高分子ゲルは基本的に多孔質体であり、細孔内に多くの水を含むため、細孔内の水分量を調節することで表面の親水性の程度を調整できる。そのため、疎水性の有機高分子塗布液が脱ぬれし、有機高分子薄膜パターンを形成するためのテンプレート材料として有用である。また、親水性高分子ゲルは水を用いて比較的容易に除去できることも利点である。

    成果:

    2023年度
    本プロセスに用いる親水性高分子ゲル材料として、冷水魚魚皮由来ゼラチンと低融点アガロースを比較検討した。冷水魚魚皮由来ゼラチンについては、室温でゲル化しないため水溶液が安定でコーティングによる薄膜形成が容易であること、基板への付着性が高いことが利点であるが、得られた薄膜の細孔構造が不安定なことが欠点である。低融点アガロースは、ゲルが安定で、濃度が低くてもゲル化するため、安定な多孔構造が得られやすい利点をもつ。欠点として、ゲル化が速いため、薄膜形成が比較的困難であることが挙げられる。

  • Ge薄膜の微小球化に与える基板のナノ凹凸構造の効果

    栁瀬 明久

    2017年度 - 2022年度

     詳細

    研究の目的は、基板表面に形成したナノ凹凸構造が、パッチ状Ge薄膜の粒子化過程に与える効果、特に、溶融したパッチ状薄膜全体の収縮速度に与える効果を明らかにすることである。加えて、基板表面の凹凸構造によって、ぬれる系はよりぬれ、ぬれない系はさらにぬれなくなる。SiO2上の溶融Geの接触角は120~150°と報告されており、SiO2表面のナノ凹凸構造は溶融Geのみかけの接触角を大きくすると予想され、得られた粒子の真球性の向上に寄与すると考えられる。

    成果:

    2022年度
    ナノ凹凸構造の作製に関して、ポリスチレン(PS)とポリメタクリル酸メチル(PMMA)のジブロック共重合体(PS-b-PMMA)のラメラ構造を利用し、ラメラ構造が形成されたPS-b-PMMA膜に紫外線を照射し、その後酢酸によってPMMA相を除去した。これによって、SiO2/Si基板上に100 nm以下のサイズの構造からなるエッチング用マスクを作製した。AFM像によると、得られたパターンの高さは15 nmほどであった。

科学研究費補助金

教育内容・方法の工夫

  • 実験・実習科目におけるグループ面談の実施

     詳細

    「工学リテラシー1 半導体微細加工」(1年前期)と「物質工学実験」(3年後期)において、学生の理解を深めるために、実験・実習後にグループ面談を実施した。

作成した教材

  • 「無機化学」(3年前期)参考資料

     詳細

    授業を通して使用する参考資料(A4紙60ページ程度)を年度ごとに修正・改訂して内容の充実を図った。

その他教育活動及び特記事項

  • サイエンス体験プログラム体験授業の実施
    「液体の形はどのように決まるのか」という題目で、高校生を対象とする界面科学に関する体験授業を実施した。
  • サイエンス体験プログラム体験授業の実施
    「液体の形はどのように決まるのか」という題目で、高校生を対象とする界面科学に関する体験授業を実施した。